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ドキュメント管理

ドキュメント識別

項目
ドキュメントタイトル SECS/GEM インターフェースマニュアル
ドキュメント番号 SECSGEM-IF-001
ドキュメント種類 インターフェース仕様書
セキュリティ分類 機密

ドキュメント属性

項目 説明
装置モデル [装置モデル名]
装置サプライヤ Gathertech Co., Ltd.
顧客 [顧客名]
プロジェクトコード [プロジェクトコード]
GEM準拠 SEMI E30.8-0817 (GEM)
GEM 300準拠 SEMI E30.8-0817, E40, E87, E90, E94, E116
HSMS準拠 SEMI E37.1-0109

改訂履歴

Rev 日付 作成者 説明 レビュー者 承認者
1.0 [日付] [作成者] 初版リリース [レビュー者] [承認者]
1.1 [日付] [作成者] GEM 300セクション追加 [レビュー者] [承認者]

ドキュメント承認

役割 氏名 署名 日付
作成者 [作成者名] ______ __
技術レビュー [レビュー者名] ______ __
品質レビュー [QA担当者名] ______ __
顧客承認 [顧客代表者] ______ __
最終承認 [管理者名] ______ __

承認必須

このドキュメントは、必要なすべての署名が取得されるまで有効ではありません。会社のドキュメント管理手順に従い、電子署名が受け入れられます。


配布リスト

コピー 保持者 部門/組織 形式 発行日
01 [氏名] [会社] エンジニアリング PDF [日付]
02 [氏名] [顧客] インテグレーション PDF [日付]
03 [氏名] [会社] 品質保証 PDF [日付]
04 [氏名] [顧客] MESチーム PDF [日付]
マスター ドキュメント管理 [会社] 原本 [日付]

参照ドキュメント

ドキュメントID タイトル バージョン
SEMI E4-0699 SEMI装置通信規格1 メッセージ転送 (SECS-I) 0699
SEMI E5-0712 SEMI装置通信規格2 メッセージ内容 (SECS-II) 0712
SEMI E30.8-0817 製造装置の通信と制御のための汎用モデル (GEM) 0817
SEMI E37.1-0109 高速SECSメッセージサービス (HSMS) 汎用サービス 0109
SEMI E40-0218 処理管理規格 0218
SEMI E87.7-0418 キャリア管理仕様 (CMS) 0418
SEMI E90-1115 基板追跡仕様 1115
SEMI E94-0218 コントロールジョブ管理仕様 0218

ドキュメント変更依頼プロセス

flowchart LR A[変更依頼] --> B{技術レビュー} B -->|承認| C[ドキュメント更新] B -->|却下| D[依頼者に通知] C --> E{顧客レビュー} E -->|承認| F[新バージョンリリース] E -->|変更必要| C F --> G[保持者へ配布]

変更依頼手順

  1. 依頼提出:詳細な説明を含む変更依頼フォーム (CRF) を記入
  2. 技術レビュー:エンジニアリングチームが影響と実現可能性を評価
  3. 顧客通知:提案された変更を顧客に通知(該当する場合)
  4. ドキュメント更新:承認された変更を実装し、改訂を追跡
  5. レビューサイクル:更新されたドキュメントの技術および品質レビュー
  6. 承認:承認マトリックスに従って必要な署名を取得
  7. リリース:新しいバージョン番号とリリース日を割り当て
  8. 配布:登録されたすべてのドキュメント保持者に配布

ドキュメント管理情報

マスタードキュメントの場所

場所 パス/URL
電子マスター [SharePoint/サーバーパス]
Webバージョン [内部URL]
物理マスター ドキュメント管理アーカイブ

ドキュメント所有者

役割 氏名 メール
ドキュメント所有者 [氏名] [email]
技術担当者 [氏名] [email]
ドキュメント管理 [氏名] [email]

機密保持通知

機密ドキュメント

このドキュメントには、Gathertech Co., Ltd.に属する専有および機密情報が含まれています。

本書に含まれる情報は、装置インターフェースの実装とサポートに関連して、許可された担当者のみが使用することを目的としています。

制限事項:

  • 書面による許可なしに複製または配布することは禁止されています
  • 情報は第三者に開示してはなりません
  • プロジェクト完了時にすべてのコピーを返却または破棄する必要があります
  • 違反は法的措置につながる可能性があります

文書管理基準

このドキュメントは、バージョンの一貫性とトレーサビリティを確保するため、社内の文書管理規定に基づいて管理されています。


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このドキュメントは予告なく変更されることがあります。最新版はドキュメント管理から入手可能です。