概要
1. 目的
このドキュメントは、[装置モデル名]のSECS/GEMインターフェース仕様を定義します。ホストシステム統合に必要な完全な情報を提供します：
- 通信設定
- GEM機能準拠
- 変数定義（ステータス変数、装置定数、データ変数）
- 収集イベントと関連レポート
- アラーム定義
- リモートコマンド仕様
- SECS-IIメッセージフォーマット
2. 適用範囲
この仕様は以下に適用されます：
- 装置モデル：
[装置モデル名]
- ソフトウェアバージョン：
[バージョン番号]
- GEM準拠レベル：SEMI E30 / SEMI E30.x (GEM 300)
2.1 GEM 200機能
| 機能 |
サポート |
| 状態モデル |
はい |
| ホスト開始 S1,F13/F14 シナリオ |
はい |
| 装置開始 S1,F13/F14 シナリオ |
はい |
| 装置定数 |
はい |
| ステータス変数 |
はい |
| データ収集/トレース |
はい |
| アラーム管理 |
はい |
| リモート制御 |
はい |
| プロセスプログラム管理 |
はい |
| スプーリング |
はい |
| 制御状態モデル |
はい |
2.2 GEM 300機能（該当する場合）
| 機能 |
SEMI規格 |
サポート |
| キャリア管理 |
E87 (CMS) |
[はい/いいえ] |
| プロセスジョブ管理 |
E40 (PJM) |
[はい/いいえ] |
| コントロールジョブ管理 |
E94 (CJM) |
[はい/いいえ] |
| 基板追跡 |
E90 |
[はい/いいえ] |
| 装置ターミナルサービス |
E116 (ETS) |
[はい/いいえ] |
3. 参照規格
| 規格 |
タイトル |
版 |
| SEMI E4 |
SEMI装置通信規格1 メッセージ転送 (SECS-I) |
最新 |
| SEMI E5 |
SEMI装置通信規格2 メッセージ内容 (SECS-II) |
最新 |
| SEMI E30 |
製造装置の通信と制御のための汎用モデル (GEM) |
最新 |
| SEMI E37 |
高速SECSメッセージサービス (HSMS) 汎用サービス |
最新 |
| SEMI E37.1 |
高速SECSメッセージサービス シングルセッションモード (HSMS-SS) |
最新 |
| SEMI E40 |
処理管理規格 |
最新 |
| SEMI E87 |
キャリア管理仕様 (CMS) |
最新 |
| SEMI E90 |
基板追跡仕様 |
最新 |
| SEMI E94 |
コントロールジョブ管理仕様 |
最新 |
| SEMI E116 |
装置パフォーマンス追跡仕様 |
最新 |
4. 用語と略語
| 用語 |
定義 |
| CE |
収集イベント (Collection Event) |
| CJ |
コントロールジョブ (Control Job) |
| CMS |
キャリア管理システム (Carrier Management System) |
| DV |
データ変数 (Data Variable) |
| EC |
装置定数 (Equipment Constant) |
| EQP |
装置 (Equipment) |
| GEM |
汎用装置モデル (Generic Equipment Model) |
| HSMS |
高速SECSメッセージサービス (High-Speed SECS Message Services) |
| PJ |
プロセスジョブ (Process Job) |
| PP |
プロセスプログラム/レシピ (Process Program/Recipe) |
| RPTID |
レポートID (Report ID) |
| SECS |
SEMI装置通信規格 (SEMI Equipment Communications Standard) |
| SV |
ステータス変数 (Status Variable) |
| VID |
変数ID (Variable ID) |
5. ドキュメント構成
| 章 |
内容 |
| 1-2 |
ドキュメント管理、概要 |
| 3-4 |
通信設定、通信状態 |
| 5 |
GEM準拠声明 |
| 6-8 |
状態モデル（制御、処理、スプーリング） |
| 9-13 |
変数、イベント、アラーム、コマンド、プロセスプログラム |
| 14+ |
メッセージシナリオ |
| 20+ |
GEM 300拡張 |
| 付録 |
メッセージリファレンス、データアイテム、エラーコード |