付録 A - データアイテムリファレンス¶

概要¶

この付録は、本装置インターフェースで使用されるすべてのSECS-IIデータアイテムのリファレンスを提供します。

データタイプコード¶

フォーマットコード	タイプ	説明	バイト
L	List	アイテムのリスト	可変
B	Binary	8ビットバイナリ	1
Boolean	Boolean	True/False	1
A	ASCII	ASCII文字列	可変
J	JIS-8	JIS-8文字列	可変
I1	Integer	符号付き8ビット	1
I2	Integer	符号付き16ビット	2
I4	Integer	符号付き32ビット	4
I8	Integer	符号付き64ビット	8
U1	Unsigned	符号なし8ビット	1
U2	Unsigned	符号なし16ビット	2
U4	Unsigned	符号なし32ビット	4
U8	Unsigned	符号なし64ビット	8
F4	Float	32ビットIEEE浮動小数点	4
F8	Float	64ビットIEEE浮動小数点	8

標準データアイテム¶

ACKC5 - アラーム確認コード¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00 = 受諾

ACKC6 - 収集イベント確認コード¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00 = 受諾, 0x01-0x3F = エラーコード

ACKC7 - プロセスプログラム確認コード¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	S7F4メッセージ定義を参照

ACKC10 - ターミナル確認コード¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00 = 受諾, 0x01 = 使用不可, 0x02 = 表示されず

ALCD - アラームコード¶

属性	値
フォーマット	B[1]
構造	Bit 7 = 設定/解除, Bits 6-0 = カテゴリ
カテゴリ	1-8（アラームの章を参照）

ALED - アラーム有効化/無効化¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00 = 無効化, 0x01 = 有効化

ALID - アラームID¶

属性	値
フォーマット	U4
範囲	装置定義

ALTX - アラームテキスト¶

属性	値
フォーマット	A[120]
最大長	120文字

CEED - 収集イベント有効化/無効化¶

属性	値
フォーマット	Boolean
値	True = 有効化, False = 無効化

CEID - 収集イベントID¶

属性	値
フォーマット	U4
範囲	装置定義

COMMACK - 通信確認¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00 = 受諾, 0x01 = 拒否

CPNAME - コマンドパラメータ名¶

属性	値
フォーマット	A[n]
最大長	40文字

CPVAL - コマンドパラメータ値¶

属性	値
フォーマット	可変
説明	タイプはパラメータに依存

DATAID - データID¶

属性	値
フォーマット	U4
説明	データトランザクションの一意識別子

DRACK - レポート定義確認¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00 = OK, 0x01-0x04 = エラー

EAC - 装置確認コード¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00 = OK, 0x01-0x04 = エラー

ECID - 装置定数ID¶

属性	値
フォーマット	U4
範囲	装置定義

ECNAME - 装置定数名¶

属性	値
フォーマット	A[40]

ECV - 装置定数値¶

属性	値
フォーマット	可変
説明	タイプは定数に依存

ERACK - レポート有効化確認¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00 = OK, 0x01 = 無効なCEID

HCACK - ホストコマンド確認¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00-0x06（S2F42を参照）

LENGTH - データ長¶

属性	値
フォーマット	U4
単位	バイト

LRACK - レポートリンク確認¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00-0x04（S2F36を参照）

MDLN - 装置モデル¶

属性	値
フォーマット	A[20]

OFLACK - オフライン確認¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00 = 受諾

ONLACK - オンライン確認¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00-0x02（S1F18を参照）

PPBODY - プロセスプログラム本体¶

属性	値
フォーマット	B[n]
説明	バイナリレシピデータ

PPGNT - プロセスプログラム許可¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00-0x05（S7F2を参照）

PPID - プロセスプログラムID¶

属性	値
フォーマット	A[n]
最大長	64文字

RCMD - リモートコマンド¶

属性	値
フォーマット	A[n]
最大長	40文字

RPTID - レポートID¶

属性	値
フォーマット	U4
範囲	装置定義

SOFTREV - ソフトウェアリビジョン¶

属性	値
フォーマット	A[20]

SV - ステータス変数値¶

属性	値
フォーマット	可変
説明	タイプは変数に依存

SVID - ステータス変数ID¶

属性	値
フォーマット	U4
範囲	装置定義

SVNAME - ステータス変数名¶

属性	値
フォーマット	A[40]

TEXT - テキスト¶

属性	値
フォーマット	A[n]
最大長	120文字

TID - ターミナルID¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0 = デフォルトターミナル

TIME - 日時¶

属性	値
フォーマット	A[12-16]
構造	YYYYMMDDHHmmss または YYYYMMDDHHmmsscc

TIACK - 時刻設定確認¶

属性	値
フォーマット	B[1]
値	0x00 = OK, 0x01 = エラー

UNITS - 単位¶

属性	値
フォーマット	A[n]
最大長	20文字

VID - 変数ID¶

属性	値
フォーマット	U4
説明	SVID、ECID、またはDVIDが可能

GEM 300 データアイテム¶

ACCESSMODE - アクセスモード¶

属性	値
フォーマット	U1
値	0 = MANUAL, 1 = AUTO

CARRIERACTION - キャリアアクション¶

属性	値
フォーマット	U1
値	1-5（S3F17を参照）

CARRIERID - キャリアID¶

属性	値
フォーマット	A[n]
最大長	40文字

CJCMD - コントロールジョブコマンド¶

属性	値
フォーマット	U1
値	1-9（S14F3を参照）

OBJSPEC - オブジェクト指定子¶

属性	値
フォーマット	A[n]
構造	"ObjectType:ObjectID"

PORTID - ポートID¶

属性	値
フォーマット	U1
範囲	1からポート数まで

PRCMD - プロセスジョブコマンド¶

属性	値
フォーマット	U1
値	1-7（S16F17を参照）

PRJOBID - プロセスジョブID¶

属性	値
フォーマット	A[n]
最大長	40文字

PRMTLTYPE - マテリアルタイプ¶

属性	値
フォーマット	U1
値	0 = キャリア, 1 = 基板

SUBSTRATEID - 基板ID¶

属性	値
フォーマット	A[n]
最大長	40文字