付録 C - 用語集¶
A¶
ALCD - Alarm Code（アラームコード）。アラームカテゴリと設定/解除状態を示すコード。
ALID - Alarm ID（アラームID）。アラームの一意識別子。
ALTX - Alarm Text（アラームテキスト）。アラームの人間が読める説明。
AMHS - Automated Material Handling System（自動マテリアルハンドリングシステム）。キャリア/FOUPの自動搬送システム。
C¶
CE - Collection Event（収集イベント）。データ収集とレポートをトリガーするイベント。
CEID - Collection Event ID（収集イベントID）。収集イベントの一意識別子。
CJ - Control Job（コントロールジョブ）。プロセスジョブを管理する上位ジョブ (E94)。
CJM - Control Job Management（コントロールジョブ管理）。SEMI E94 コントロールジョブ管理規格。
CMS - Carrier Management System（キャリア管理システム）。SEMI E87 キャリア管理規格。
COMMACK - Communication Acknowledge（通信確認）。通信確立の応答コード。
D¶
DATAID - Data ID（データID）。データトランザクションの一意識別子。
DV - Data Variable（データ変数）。プロセスデータを含む変数。
DVVAL - Data Variable Value（データ変数値）。
E¶
EAC - Equipment Acknowledge Code（装置確認コード）。装置定数変更への応答。
EC - Equipment Constant（装置定数）。設定可能な装置パラメータ。
ECID - Equipment Constant ID（装置定数ID）。装置定数の一意識別子。
ECV - Equipment Constant Value（装置定数値）。
ETS - Equipment Terminal Services（装置ターミナルサービス）。SEMI E116規格。
F¶
FOUP - Front Opening Unified Pod（フープ）。300mmウェハの標準キャリア。
FOSB - Front Opening Shipping Box（フロントオープニングシッピングボックス）。ウェハ輸送用キャリア。
G¶
GEM - Generic Equipment Model（汎用装置モデル）。SEMI E30 装置通信規格。
GEM 200 - 200mmウェハ装置向けGEM規格実装。
GEM 300 - 300mmウェハ装置向け拡張GEM規格。
H¶
HCACK - Host Command Acknowledge（ホストコマンド確認）。リモートコマンドの応答コード。
HSMS - High-Speed SECS Message Services（高速SECSメッセージサービス）。TCP/IPベースの通信プロトコル (E37)。
HSMS-SS - HSMS Single-Session（HSMSシングルセッション）。HSMSの単一接続モード。
L¶
LP - Load Port（ロードポート）。キャリアを搭載/取り外す位置。
LRACK - Link Report Acknowledge（レポートリンク確認）。レポートをイベントにリンクする応答。
M¶
MDLN - Model Name（モデル名）。装置モデル識別子。
MES - Manufacturing Execution System（製造実行システム）。工場制御システム。
O¶
OBJACK - Object Acknowledge（オブジェクト確認）。オブジェクトサービス操作の応答コード。
OFLACK - Offline Acknowledge（オフライン確認）。オフライン要求への応答。
ONLACK - Online Acknowledge（オンライン確認）。オンライン要求への応答。
P¶
PJ - Process Job（プロセスジョブ）。基板処理を定義するジョブ (E40)。
PJM - Process Job Management（プロセスジョブ管理）。SEMI E40規格。
PP - Process Program（プロセスプログラム）。レシピ。
PPBODY - Process Program Body（プロセスプログラム本体）。レシピデータ内容。
PPID - Process Program ID（プロセスプログラムID）。レシピ識別子。
R¶
RCMD - Remote Command（リモートコマンド）。ホストから装置に送信されるコマンド。
RPTID - Report ID（レポートID）。レポート定義の一意識別子。
S¶
SECS - SEMI Equipment Communications Standard（SEMI装置通信規格）。
SECS-I - SECSシリアル通信プロトコル (E4)。
SECS-II - SECSメッセージ内容規格 (E5)。
SEMI - Semiconductor Equipment and Materials International（国際半導体製造装置材料協会）。
SOFTREV - Software Revision（ソフトウェアリビジョン）。装置ソフトウェアバージョン。
SV - Status Variable（ステータス変数）。読み取り専用の装置状態値。
SVID - Status Variable ID（ステータス変数ID）。ステータス変数の一意識別子。
T¶
T3 - Reply Timeout（応答タイムアウト）。メッセージ応答を待つ時間。
T5 - Connection Separation Time（接続分離時間）。接続試行間の時間。
T6 - Control Transaction Timeout（制御トランザクションタイムアウト）。HSMS制御メッセージの時間。
T7 - Not Selected Timeout（未選択タイムアウト）。未選択状態での時間。
T8 - Network Intercharacter Timeout（ネットワーク文字間タイムアウト）。文字受信タイムアウト。
TID - Terminal ID（ターミナルID）。オペレータターミナルの識別子。
V¶
VID - Variable ID（変数ID）。任意の変数タイプの汎用識別子。
SEMI規格リファレンス¶
| 規格 | タイトル |
|---|---|
| SEMI E4 | SECS-Iメッセージ転送 |
| SEMI E5 | SECS-IIメッセージ内容 |
| SEMI E30 | GEM（汎用装置モデル） |
| SEMI E37 | HSMS汎用サービス |
| SEMI E37.1 | HSMSシングルセッション |
| SEMI E39 | オブジェクトサービス |
| SEMI E40 | プロセスジョブ管理 |
| SEMI E87 | キャリア管理 (CMS) |
| SEMI E90 | 基板追跡 |
| SEMI E94 | コントロールジョブ管理 |
| SEMI E116 | 装置性能追跡 |
メッセージ方向表記¶
| 記号 | 意味 |
|---|---|
| H→E | ホストから装置 |
| E→H | 装置からホスト |
| H↔E | 双方向 |
| W | ウェイトビット（応答期待） |
状態略語¶
| 略語 | 正式名称 |
|---|---|
| CTRL | 制御状態 |
| COMM | 通信状態 |
| PROC | 処理状態 |
| LP | ロードポート |
| PM | プロセスモジュール |
| TM | 搬送モジュール |