GEM 準拠宣言

1. 概要

本章では、[装置モデル名] の GEM (SEMI E30) 準拠状況を記載します。以下の準拠マトリックスは、各 GEM 基本要件および追加機能のサポート状況を示しています。

2. GEM 準拠サマリー

カテゴリ	準拠レベル
基本要件	完全準拠
追加機能	下記マトリックスを参照
状態モデル	SEMI E30 準拠

3. 基本要件準拠マトリックス

#	機能	ステータス	備考
1	状態モデル	サポート	制御状態、処理状態
2	ホスト起動 S1,F13/F14 シナリオ	サポート
3	イベント通知	サポート	S6F11/F12
4	オンライン識別	サポート	S1F1/F2
5	エラーメッセージ	サポート	S9Fx
6	ドキュメント	サポート	本ドキュメント
7	制御（オペレータ起動）	サポート	S1F15/F16, S1F17/F18

4. 追加機能準拠マトリックス

#	機能	ステータス	備考
8	通信確立	サポート	装置起動 S1F13/F14
9	動的イベントレポート設定	サポート	S2F33-F36
10	変数データ収集	サポート	S1F3/F4, S6F15/F16
11	トレースデータ収集	サポート	S2F23/F24, S6F1/F2
12	ステータスデータ収集	サポート	S1F3/F4
13	アラーム管理	サポート	S5F1-F8
14	リモート制御	サポート	S2F41/F42
15	装置定数	サポート	S2F13-F16, S2F29/F30
16	プロセスプログラム管理	サポート	S7F1-F6, S7F17-F20
17	材料搬送	[サポート/非サポート]	S3Fx
18	装置端末サービス	[サポート/非サポート]	S10Fx
19	クロック	サポート	S2F17/F18, S2F31/F32
20	制限監視	[サポート/非サポート]	S2F45-F48
21	スプーリング	サポート	S2F43/F44
22	制御（ホスト起動）	サポート	S1F15-F18

5. 状態モデル準拠

5.1 制御状態モデル

状態	サポート	備考
OFF-LINE	はい	装置オフライン・サブ状態をサポート
ON-LINE LOCAL	はい	オペレータ制御モード
ON-LINE REMOTE	はい	ホスト制御モード

5.2 処理状態モデル

状態	サポート	備考
IDLE	はい	処理準備完了
INIT	はい	初期化中
EXECUTING	はい	処理中
PAUSE	はい	一時停止中
ABORTING	はい	中断処理中

6. サポート SECS-II ストリーム

ストリーム	説明	サポートメッセージ
S1	装置ステータス	F1-F4, F11-F18
S2	装置制御	F13-F18, F23-F24, F29-F42
S5	アラーム管理	F1-F8
S6	データ収集	F1-F2, F11-F16
S7	プロセスプログラム	F1-F6, F17-F20, F23-F26
S9	システムエラー	F1, F3, F5, F7, F9, F11, F13
S10	端末サービス	[F1-F10]

7. GEM 300 準拠（該当する場合）

規格	機能	ステータス	備考
SEMI E40	プロセスジョブ管理 (PJM)	[サポート/非サポート]
SEMI E87	キャリア管理 (CMS)	[サポート/非サポート]
SEMI E90	基板トラッキング	[サポート/非サポート]
SEMI E94	コントロールジョブ管理 (CJM)	[サポート/非サポート]
SEMI E116	装置パフォーマンストラッキング	[サポート/非サポート]

8. 実装備考

8.1 マルチブロックメッセージ

• 装置はマルチブロックメッセージ転送をサポート
• 最大メッセージサイズ：[1048576] バイト
• S1F1/F2 照会をサポート

8.2 タイムアウト設定

すべての GEM 関連タイムアウトは、装置定数 (EC) により設定可能です。

8.3 デフォルトレポート定義

装置は事前定義されたレポートテンプレートを提供し、動的イベントレポート設定 (S2F33-F36) により変更可能です。