処理状態モデル¶

1. 概要¶

処理状態モデルは、SEMI E30 (GEM) に規定されている材料処理中の装置の動作状態を定義します。このモデルは装置固有であり、実際の処理能力に基づいてカスタマイズできます。

2. 状態図¶

stateDiagram-v2 [*] --> INIT INIT --> IDLE: Initialization Complete IDLE --> SETTING_UP: Start Command SETTING_UP --> READY: Setup Complete SETTING_UP --> IDLE: Setup Failed/Abort READY --> EXECUTING: Material Ready / Start READY --> IDLE: Abort EXECUTING --> PAUSING: Pause Command PAUSING --> PAUSED: Pause Complete PAUSED --> EXECUTING: Resume Command PAUSED --> ABORTING: Abort Command EXECUTING --> ABORTING: Abort Command ABORTING --> IDLE: Abort Complete EXECUTING --> IDLE: Process Complete

3. 状態定義¶

状態	説明
INIT	装置が初期化中です。操作の準備ができていません。
IDLE	装置は準備完了で待機中です。処理は進行中ではありません。
SETTING UP	装置が処理の準備中です（レシピのロード、パラメータ設定）。
READY	装置は処理開始の準備ができています。材料またはスタートを待機中。
EXECUTING	装置が材料を積極的に処理中です。
PAUSING	装置が一時停止処理中です。
PAUSED	装置が処理を一時停止しました。再開または中断が可能です。
ABORTING	装置が現在の処理を中断中です。

4. 遷移表¶

#	現在の状態	トリガー	次の状態	アクション	関連 RCMD
1	INIT	初期化完了	IDLE	準備完了を報告	-
2	IDLE	START コマンド	SETTING UP	レシピのロード、設定	START
3	SETTING UP	設定完了	READY	処理を待機	-
4	SETTING UP	設定失敗	IDLE	エラーを報告	-
5	SETTING UP	ABORT コマンド	IDLE	設定をキャンセル	ABORT
6	READY	材料準備完了 / START	EXECUTING	処理を開始	-
7	READY	ABORT コマンド	IDLE	処理をキャンセル	ABORT
8	EXECUTING	処理完了	IDLE	完了を報告	-
9	EXECUTING	PAUSE コマンド	PAUSING	一時停止を開始	PAUSE
10	EXECUTING	ABORT コマンド	ABORTING	中断を開始	ABORT
11	PAUSING	一時停止完了	PAUSED	再開を待機	-
12	PAUSED	RESUME コマンド	EXECUTING	処理を継続	RESUME
13	PAUSED	ABORT コマンド	ABORTING	中断を開始	ABORT
14	ABORTING	中断完了	IDLE	中断を報告	-

5. 状態固有の動作¶

5.1 INIT 状態¶

初期化中： - 装置がセルフテストを実行 - ハードウェアの初期化 - レシピライブラリのロード - 通信の確立

5.2 IDLE 状態¶

IDLE 状態では： - 装置はコマンドを受け付ける準備ができています - 材料ハンドリングが利用可能 - レシピのアップロード/ダウンロードが利用可能 - すべてのステータス照会が利用可能

5.3 EXECUTING 状態¶

実行中： - 処理ステップが実行されています - データ収集がアクティブ - 一部のコマンドが制限される場合があります - 中断および一時停止コマンドが利用可能

5.4 PAUSED 状態¶

一時停止中： - 処理が安全なポイントで一時的に停止しています - 装置は現在の状態を維持します - 再開すると一時停止ポイントから継続します - 中断すると処理が終了します

6. 関連リモートコマンド¶

RCMD	説明	有効な状態
START	処理を開始	IDLE
STOP	安全なポイントで停止	EXECUTING
ABORT	即時中断	SETTING UP, READY, EXECUTING, PAUSED
PAUSE	処理を一時停止	EXECUTING
RESUME	一時停止から再開	PAUSED

7. 関連ステータス変数¶

SVID	名前	型	説明
`[3001]`	ProcessState	U1	現在の処理状態
`[3002]`	PreviousProcessState	U1	前の処理状態
`[3003]`	CurrentRecipeID	A	現在ロードされているレシピ
`[3004]`	ProcessingTime	U4	現在の状態での時間（秒）

ProcessState 値：

値	状態
0	INIT
1	IDLE
2	SETTING UP
3	READY
4	EXECUTING
5	PAUSING
6	PAUSED
7	ABORTING

8. 関連収集イベント¶

CEID	名前	説明
`[3001]`	ProcessStateChange	処理状態が変更されたときにトリガー
`[3002]`	ProcessStarted	EXECUTING に入ったときにトリガー
`[3003]`	ProcessCompleted	処理が正常に完了したときにトリガー
`[3004]`	ProcessPaused	PAUSED に入ったときにトリガー
`[3005]`	ProcessResumed	PAUSED から再開したときにトリガー
`[3006]`	ProcessAborted	処理が中断されたときにトリガー

9. 関連アラーム¶

ALID	ALTX	カテゴリ	設定条件	クリア条件
`[3001]`	Process Abort	警告	処理が中断された	処理が再開された
`[3002]`	Setup Failed	エラー	設定が完了できない	オペレータの介入
`[3003]`	Process Timeout	警告	処理が時間制限を超過	処理が完了

10. シーケンス図¶

10.1 通常の処理サイクル¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: State: IDLE Host->>Equipment: S2F41 (RCMD=START, Recipe=XXX) Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: State: SETTING UP Equipment->>Host: S6F11 (ProcessStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: State: READY Equipment->>Host: S6F11 (ProcessStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: State: EXECUTING Note over Equipment: Processing... Equipment->>Host: S6F11 (ProcessCompleted) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: State: IDLE

10.2 一時停止と再開¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: State: EXECUTING Host->>Equipment: S2F41 (RCMD=PAUSE) Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: State: PAUSING Equipment->>Host: S6F11 (ProcessPaused) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: State: PAUSED Host->>Equipment: S2F41 (RCMD=RESUME) Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: State: EXECUTING Equipment->>Host: S6F11 (ProcessResumed) Host-->>Equipment: S6F12

11. 装置固有の処理状態¶

注意： 上記の処理状態モデルは汎用テンプレートです。装置固有の状態と遷移は以下に記載してください。

11.1 カスタム状態（該当する場合）¶

状態	説明	親状態
`[カスタム状態 1]`	`[説明]`	EXECUTING
`[カスタム状態 2]`	`[説明]`	EXECUTING

11.2 カスタム遷移¶

遷移元	遷移先	トリガー	説明
`[状態 A]`	`[状態 B]`	`[トリガー]`	`[説明]`