変数定義
概要
本章では、装置がサポートするすべての変数を定義します：
| 変数タイプ |
略称 |
説明 |
アクセス |
| ステータス変数 |
SV |
リアルタイム装置ステータス |
読み取り専用 |
| 装置定数 |
EC |
設定可能パラメータ |
読み書き |
| データ変数 |
DV |
収集用プロセスデータ |
読み取り専用 |
ステータス変数 (SV)
ステータス変数は装置の現在の状態を表します。読み取り専用であり、装置によりリアルタイムで更新されます。
システムステータス変数 (SVID 1-99)
| SVID |
名前 |
フォーマット |
単位 |
説明 |
| 1 |
Clock |
A[14] |
- |
装置クロック (YYYYMMDDHHmmss) |
| 2 |
ControlState |
U1 |
- |
現在の制御状態 |
| 3 |
PreviousControlState |
U1 |
- |
前の制御状態 |
| 4 |
EventsEnabled |
Boolean |
- |
イベントレポート有効 |
| 5 |
AlarmsEnabled |
Boolean |
- |
アラームレポート有効 |
| 6 |
ProcessState |
U1 |
- |
現在の処理状態 |
| 7 |
PreviousProcessState |
U1 |
- |
前の処理状態 |
| 8 |
PPExecName |
A[40] |
- |
現在実行中のレシピ |
| 9 |
PPFormat |
U1 |
- |
レシピフォーマットタイプ |
| 10 |
SpoolState |
U1 |
- |
スプーリング状態 |
| 11 |
SpoolCountActual |
U4 |
- |
現在のスプールメッセージ数 |
| 12 |
SpoolCountTotal |
U4 |
- |
最大スプール容量 |
| 13 |
SpoolFullTime |
A[14] |
- |
スプール満杯時刻 |
| 14 |
SpoolStartTime |
A[14] |
- |
スプール開始タイムスタンプ |
ControlState 値
| 値 |
状態 |
説明 |
| 1 |
EQUIPMENT-OFFLINE |
装置オフライン、ホスト制御なし |
| 2 |
ATTEMPT-ONLINE |
オンライン確立を試行中 |
| 3 |
HOST-OFFLINE |
ホストが装置オフラインを要求 |
| 4 |
ONLINE-LOCAL |
オンライン、オペレータ制御 |
| 5 |
ONLINE-REMOTE |
オンライン、ホスト制御 |
ProcessState 値
| 値 |
状態 |
説明 |
| 0 |
INIT |
装置初期化中 |
| 1 |
IDLE |
準備完了、ジョブ待ち |
| 2 |
SETUP |
セットアップ/準備中 |
| 3 |
READY |
処理実行準備完了 |
| 4 |
EXECUTING |
処理実行中 |
| 5 |
PAUSE |
処理一時停止 |
| 6 |
STOPPING |
停止中 |
| 7 |
ABORTING |
中断中 |
| 8 |
COMPLETE |
処理完了 |
装置ステータス変数 (SVID 100-199)
| SVID |
名前 |
フォーマット |
単位 |
説明 |
| 100 |
EquipmentModel |
A[20] |
- |
装置モデル名 |
| 101 |
SoftwareVersion |
A[12] |
- |
装置ソフトウェアバージョン |
| 102 |
EquipmentID |
A[40] |
- |
ユニーク装置識別子 |
| 103 |
OperatorID |
A[20] |
- |
現在ログイン中のオペレータ |
| 104 |
EquipmentStatus |
U1 |
- |
全体装置ステータス |
| 105 |
MaintenanceStatus |
U1 |
- |
メンテナンスモード状態 |
| 106 |
InterlockStatus |
U1 |
- |
安全インターロック状態 |
| 107 |
EmergencyStopStatus |
Boolean |
- |
緊急停止有効 |
| 108 |
DoorStatus |
U1 |
- |
チャンバードア状態 |
| 109 |
VacuumStatus |
U1 |
- |
真空システム状態 |
プロセス監視変数 (SVID 200-299)
| SVID |
名前 |
フォーマット |
単位 |
説明 |
| 200 |
ChamberTemperature |
F4 |
degC |
チャンバー温度 |
| 201 |
ChamberPressure |
F4 |
Torr |
チャンバー圧力 |
| 202 |
ChamberVacuum |
F4 |
mTorr |
真空度 |
| 203 |
SubstrateTemperature |
F4 |
degC |
基板温度 |
| 204 |
HeaterPower |
F4 |
% |
ヒーター出力率 |
| 205 |
HeaterSetpoint |
F4 |
degC |
ヒーター設定値 |
| 210 |
GasFlow_N2 |
F4 |
sccm |
窒素流量 |
| 211 |
GasFlow_O2 |
F4 |
sccm |
酸素流量 |
| 212 |
GasFlow_Ar |
F4 |
sccm |
アルゴン流量 |
| 213 |
GasFlow_CF4 |
F4 |
sccm |
CF4 流量 |
| 214 |
GasFlow_CHF3 |
F4 |
sccm |
CHF3 流量 |
| 215 |
TotalGasFlow |
F4 |
sccm |
総ガス流量 |
| 220 |
RF_Power |
F4 |
W |
RF 順方向電力 |
| 221 |
RF_ReflectedPower |
F4 |
W |
RF 反射電力 |
| 222 |
RF_Frequency |
F4 |
MHz |
RF 周波数 |
| 223 |
DC_Bias |
F4 |
V |
DC バイアス電圧 |
| 224 |
MatchPosition_Load |
F4 |
% |
マッチャーロード位置 |
| 225 |
MatchPosition_Tune |
F4 |
% |
マッチャーチューン位置 |
プロセスデータ変数 (SVID 300-399)
| SVID |
名前 |
フォーマット |
単位 |
説明 |
| 300 |
CurrentRecipe |
A[40] |
- |
現在のレシピ名 |
| 301 |
RecipeVersion |
A[10] |
- |
レシピバージョン |
| 302 |
CurrentStep |
U2 |
- |
現在のステップ番号 |
| 303 |
TotalSteps |
U2 |
- |
レシピの総ステップ数 |
| 304 |
StepElapsedTime |
U4 |
sec |
現在ステップ経過時間 |
| 305 |
StepRemainingTime |
U4 |
sec |
現在ステップ残り時間 |
| 306 |
ProcessElapsedTime |
U4 |
sec |
総処理経過時間 |
| 307 |
ProcessRemainingTime |
U4 |
sec |
総残り時間 |
| 308 |
CycleCount |
U4 |
- |
処理サイクルカウンター |
| 309 |
LastProcessResult |
U1 |
- |
前回処理結果 |
| 310 |
CurrentLotID |
A[40] |
- |
現在のロット識別子 |
| 311 |
CurrentSubstrateID |
A[40] |
- |
現在の基板 ID |
キャリア/ポート変数 (SVID 400-499, GEM 300)
| SVID |
名前 |
フォーマット |
単位 |
説明 |
| 400 |
Port1_CarrierID |
A[80] |
- |
ポート 1 のキャリア ID |
| 401 |
Port1_AccessMode |
U1 |
- |
ポート 1 アクセスモード |
| 402 |
Port1_ReserveState |
U1 |
- |
ポート 1 予約状態 |
| 403 |
Port1_TransferState |
U1 |
- |
ポート 1 転送状態 |
| 404 |
Port1_AssociationState |
U1 |
- |
ポート 1 関連付け状態 |
| 410 |
Port2_CarrierID |
A[80] |
- |
ポート 2 のキャリア ID |
| 411 |
Port2_AccessMode |
U1 |
- |
ポート 2 アクセスモード |
| 412 |
Port2_ReserveState |
U1 |
- |
ポート 2 予約状態 |
| 413 |
Port2_TransferState |
U1 |
- |
ポート 2 転送状態 |
| 414 |
Port2_AssociationState |
U1 |
- |
ポート 2 関連付け状態 |
| 450 |
TotalCarriersProcessed |
U4 |
- |
処理済みキャリア総数 |
| 451 |
TotalSubstratesProcessed |
U4 |
- |
処理済み基板総数 |
| 452 |
TotalSubstratesRejected |
U4 |
- |
拒否済み基板総数 |
装置ヘルス変数 (SVID 500-599)
| SVID |
名前 |
フォーマット |
単位 |
説明 |
| 500 |
OperatingHours |
U4 |
hr |
総稼働時間 |
| 501 |
IdleHours |
U4 |
hr |
総アイドル時間 |
| 502 |
ProcessCycles |
U4 |
- |
総処理サイクル数 |
| 503 |
NextPMDate |
A[14] |
- |
次回 PM 予定日 |
| 504 |
PMDaysRemaining |
I4 |
days |
次回 PM までの日数 |
| 505 |
ConsumableLife_1 |
F4 |
% |
消耗品 1 残量 |
| 506 |
ConsumableLife_2 |
F4 |
% |
消耗品 2 残量 |
| 507 |
ConsumableLife_3 |
F4 |
% |
消耗品 3 残量 |
| 510 |
AlarmCountToday |
U4 |
- |
本日のアラーム数 |
| 511 |
AlarmCountTotal |
U4 |
- |
総アラーム数 |
| 512 |
LastAlarmCode |
U4 |
- |
前回アラームコード |
| 513 |
LastAlarmTime |
A[14] |
- |
前回アラームタイムスタンプ |
| 514 |
MTBF |
F4 |
hr |
平均故障間隔 |
| 515 |
MTTR |
F4 |
hr |
平均修復時間 |
装置定数 (EC)
装置定数は、ホストまたはオペレータにより変更可能な設定パラメータです。
通信定数 (ECID 1-49)
| ECID |
名前 |
フォーマット |
デフォルト |
最小 |
最大 |
単位 |
説明 |
| 1 |
TimeFormat |
U1 |
0 |
0 |
2 |
- |
時間フォーマットタイプ |
| 2 |
EstablishCommTimeout |
U2 |
30 |
10 |
120 |
sec |
S1F13 タイムアウト |
| 3 |
InitialControlState |
U1 |
4 |
1 |
5 |
- |
起動時制御状態 |
| 4 |
InitOnlineSubstate |
U1 |
5 |
4 |
5 |
- |
初期オンラインサブ状態 |
| 5 |
HeartbeatInterval |
U2 |
60 |
10 |
300 |
sec |
S1F1 間隔 |
| 6 |
MaxSpoolMessages |
U4 |
1000 |
100 |
50000 |
- |
最大スプール容量 |
| 7 |
SpoolEnable |
Boolean |
True |
- |
- |
- |
スプーリング有効 |
| 8 |
SpoolOverwritePolicy |
U1 |
0 |
0 |
1 |
- |
0=FIFO, 1=拒否 |
| 値 |
フォーマット |
例 |
| 0 |
YYYYMMDDHHmmss |
20250101120000 |
| 1 |
YYYYMMDDHHmmsscc |
2025010112000000 |
| 2 |
ISO 8601 |
2025-01-01T12:00:00 |
HSMS タイマー定数 (ECID 50-59)
| ECID |
名前 |
フォーマット |
デフォルト |
最小 |
最大 |
単位 |
説明 |
| 50 |
HSMS_T3 |
U2 |
45 |
1 |
120 |
sec |
応答タイムアウト |
| 51 |
HSMS_T5 |
U2 |
10 |
1 |
240 |
sec |
接続分離 |
| 52 |
HSMS_T6 |
U2 |
5 |
1 |
240 |
sec |
制御トランザクションタイムアウト |
| 53 |
HSMS_T7 |
U2 |
10 |
1 |
240 |
sec |
未選択タイムアウト |
| 54 |
HSMS_T8 |
U2 |
5 |
1 |
120 |
sec |
ネットワーク文字間タイムアウト |
| 55 |
HSMS_LinkTestPeriod |
U2 |
0 |
0 |
3600 |
sec |
リンクテスト周期 (0=無効) |
プロセス定数 (ECID 100-199)
| ECID |
名前 |
フォーマット |
デフォルト |
最小 |
最大 |
単位 |
説明 |
| 100 |
DefaultProcessTemp |
F4 |
25.0 |
0.0 |
500.0 |
degC |
デフォルト処理温度 |
| 101 |
MaxProcessTemp |
F4 |
400.0 |
100.0 |
600.0 |
degC |
最大許容温度 |
| 102 |
TempRampRate |
F4 |
10.0 |
1.0 |
50.0 |
degC/min |
温度ランプレート |
| 103 |
TempStabilizeTime |
U2 |
60 |
10 |
600 |
sec |
温度安定化時間 |
| 104 |
TempTolerance |
F4 |
2.0 |
0.1 |
10.0 |
degC |
温度許容範囲 |
| 110 |
DefaultChamberPressure |
F4 |
760.0 |
0.001 |
1000.0 |
Torr |
デフォルト圧力 |
| 111 |
VacuumBaseLimit |
F4 |
0.01 |
0.001 |
1.0 |
mTorr |
ベース真空限界 |
| 112 |
VacuumPumpdownTime |
U2 |
180 |
30 |
600 |
sec |
最大排気時間 |
| 120 |
DefaultRFPower |
F4 |
100.0 |
0.0 |
1000.0 |
W |
デフォルト RF 電力 |
| 121 |
MaxRFPower |
F4 |
500.0 |
100.0 |
2000.0 |
W |
最大 RF 電力 |
| 122 |
RFReflectLimit |
F4 |
50.0 |
10.0 |
100.0 |
W |
RF 反射限界 |
| 130 |
ProcessTimeout |
U4 |
7200 |
60 |
86400 |
sec |
処理タイムアウト |
| 131 |
StepTimeout |
U4 |
1800 |
30 |
7200 |
sec |
ステップタイムアウト |
| 132 |
IdleTimeout |
U4 |
300 |
60 |
3600 |
sec |
アイドルタイムアウト |
キャリアハンドリング定数 (ECID 200-249, GEM 300)
| ECID |
名前 |
フォーマット |
デフォルト |
最小 |
最大 |
単位 |
説明 |
| 200 |
CarrierSlotCount |
U2 |
25 |
1 |
100 |
- |
キャリアあたりスロット数 |
| 201 |
LoadPortCount |
U1 |
2 |
1 |
8 |
- |
ロードポート数 |
| 202 |
AutoLoadEnable |
Boolean |
True |
- |
- |
- |
自動キャリアロード |
| 203 |
AutoUnloadEnable |
Boolean |
True |
- |
- |
- |
自動キャリアアンロード |
| 204 |
IDVerificationMode |
U1 |
1 |
0 |
2 |
- |
ID 検証モード |
| 205 |
ContentMapVerify |
Boolean |
True |
- |
- |
- |
コンテンツマップ検証 |
| 206 |
CarrierOutOnComplete |
Boolean |
True |
- |
- |
- |
完了時キャリア出力 |
| 210 |
TransferTimeout |
U4 |
120 |
30 |
600 |
sec |
転送タイムアウト |
| 211 |
ClampTimeout |
U2 |
10 |
5 |
60 |
sec |
クランプタイムアウト |
| 212 |
DockTimeout |
U2 |
30 |
10 |
120 |
sec |
ドックタイムアウト |
IDVerificationMode 値
| 値 |
モード |
説明 |
| 0 |
NONE |
ID 検証なし |
| 1 |
HOST |
ホストがキャリア ID を提供 |
| 2 |
EQUIPMENT |
装置がキャリア ID を読み取り |
アラーム/イベント定数 (ECID 250-299)
| ECID |
名前 |
フォーマット |
デフォルト |
最小 |
最大 |
単位 |
説明 |
| 250 |
AlarmReportEnable |
Boolean |
True |
- |
- |
- |
アラームレポート有効 |
| 251 |
EventReportEnable |
Boolean |
True |
- |
- |
- |
イベントレポート有効 |
| 252 |
AutoClearAlarm |
Boolean |
False |
- |
- |
- |
回復可能アラーム自動クリア |
| 253 |
AlarmRetryCount |
U1 |
3 |
1 |
10 |
- |
アラームレポートリトライ回数 |
| 260 |
TraceEnable |
Boolean |
False |
- |
- |
- |
トレースレポート有効 |
| 261 |
TracePeriod |
U4 |
1000 |
100 |
60000 |
ms |
トレースサンプル周期 |
| 262 |
TraceGroupID |
U4 |
1 |
1 |
100 |
- |
アクティブトレースグループ |
データ変数 (DV)
データ変数は処理中に収集され、イベントレポートに含まれます。
プロセスデータ変数 (DVID 1-99)
| DVID |
名前 |
フォーマット |
単位 |
説明 |
レポート対象 |
| 1 |
ProcessStartTime |
A[14] |
- |
処理開始タイムスタンプ |
CEID 1001 |
| 2 |
ProcessEndTime |
A[14] |
- |
処理終了タイムスタンプ |
CEID 1002 |
| 3 |
ProcessDuration |
U4 |
sec |
総処理時間 |
CEID 1002 |
| 4 |
ProcessRecipe |
A[40] |
- |
実行レシピ |
CEID 1001, 1002 |
| 5 |
ProcessResult |
U1 |
- |
結果コード |
CEID 1002 |
| 6 |
StepNumber |
U2 |
- |
完了ステップ |
CEID 1010 |
| 7 |
StepName |
A[40] |
- |
完了ステップ名 |
CEID 1010 |
| 8 |
StepDuration |
U4 |
sec |
ステップ所要時間 |
CEID 1010 |
| 10 |
AvgProcessTemp |
F4 |
degC |
平均温度 |
CEID 1002 |
| 11 |
MaxProcessTemp |
F4 |
degC |
最高温度 |
CEID 1002 |
| 12 |
AvgProcessPressure |
F4 |
Torr |
平均圧力 |
CEID 1002 |
| 13 |
TotalRFEnergy |
F4 |
Wh |
総 RF エネルギー |
CEID 1002 |
| 14 |
TotalGasUsage |
F4 |
scc |
総ガス消費量 |
CEID 1002 |
ProcessResult 値
| 値 |
結果 |
説明 |
| 0 |
SUCCESS |
処理正常完了 |
| 1 |
ABORT |
オペレータ/ホストにより中断 |
| 2 |
TIMEOUT |
処理タイムアウト |
| 3 |
ERROR |
処理エラー発生 |
| 4 |
INTERLOCK |
安全インターロック作動 |
キャリアデータ変数 (DVID 100-149)
| DVID |
名前 |
フォーマット |
単位 |
説明 |
レポート対象 |
| 100 |
CarrierID |
A[80] |
- |
キャリア識別子 |
CEID 2001-2010 |
| 101 |
PortID |
U1 |
- |
ロードポート番号 |
CEID 2001-2010 |
| 102 |
CarrierAccessMode |
U1 |
- |
キャリアアクセスモード |
CEID 2001 |
| 103 |
ContentMap |
L |
- |
スロット占有マップ |
CEID 2003 |
| 104 |
SlotMap |
L |
- |
詳細スロットマップ |
CEID 2004 |
| 105 |
SubstrateCountInCarrier |
U2 |
- |
基板数 |
CEID 2003 |
| 106 |
CarrierUsage |
A[20] |
- |
キャリア用途タイプ |
CEID 2001 |
| 107 |
CarrierCapacity |
U2 |
- |
キャリアスロット数 |
CEID 2001 |
ContentMap 構造 (DVID 103)
<L[n] // n = スロット数
<L[2]
<SlotID U1> // スロット番号 (1-25)
<SlotState U1> // 0=空, 1=占有, 2=ダブル, 3=クロス
>
...
>
SlotState 値
| 値 |
状態 |
説明 |
| 0 |
EMPTY |
スロットが空 |
| 1 |
OCCUPIED |
基板あり |
| 2 |
DOUBLE_SLOTTED |
2枚の基板検出 |
| 3 |
CROSS_SLOTTED |
クロススロット基板 |
| 4 |
UNKNOWN |
状態判別不可 |
基板データ変数 (DVID 150-199)
| DVID |
名前 |
フォーマット |
単位 |
説明 |
レポート対象 |
| 150 |
SubstrateID |
A[40] |
- |
基板識別子 |
CEID 3001-3010 |
| 151 |
SubstrateLotID |
A[40] |
- |
ロット識別子 |
CEID 3001 |
| 152 |
SubstrateType |
U1 |
- |
基板タイプ |
CEID 3001 |
| 153 |
SourceCarrier |
A[80] |
- |
ソースキャリア ID |
CEID 3001 |
| 154 |
SourceSlot |
U1 |
- |
ソーススロット番号 |
CEID 3001 |
| 155 |
DestCarrier |
A[80] |
- |
宛先キャリア |
CEID 3005 |
| 156 |
DestSlot |
U1 |
- |
宛先スロット |
CEID 3005 |
| 157 |
SubstrateState |
U1 |
- |
現在の状態 |
CEID 3001-3010 |
| 158 |
SubstrateLocation |
A[20] |
- |
現在の位置 |
CEID 3002-3005 |
| 159 |
ProcessingResult |
U1 |
- |
処理結果 |
CEID 3004 |
SubstrateState 値
| 値 |
状態 |
説明 |
| 0 |
AT_SOURCE |
ソース位置にある |
| 1 |
IN_PROCESS |
処理中 |
| 2 |
AT_DESTINATION |
宛先にある |
| 3 |
IN_TRANSIT |
転送中 |
| 4 |
REJECTED |
拒否（失敗） |
| 5 |
ABORTED |
処理中断 |
| 6 |
STOPPED |
ホストにより停止 |
| 7 |
SKIPPED |
ホストによりスキップ |
測定データ変数 (DVID 200-249)
| DVID |
名前 |
フォーマット |
単位 |
説明 |
レポート対象 |
| 200 |
MeasuredThickness |
F4 |
nm |
膜厚 |
CEID 4001 |
| 201 |
ThicknessUniformity |
F4 |
% |
膜厚均一性 |
CEID 4001 |
| 202 |
ThicknessRange |
F4 |
nm |
膜厚レンジ |
CEID 4001 |
| 203 |
MeasuredRefractive |
F4 |
- |
屈折率 |
CEID 4001 |
| 204 |
SheetResistance |
F4 |
ohm/sq |
シート抵抗 |
CEID 4002 |
| 205 |
ResistanceUniformity |
F4 |
% |
抵抗均一性 |
CEID 4002 |
| 210 |
DefectCount |
U4 |
- |
総欠陥数 |
CEID 4003 |
| 211 |
DefectDensity |
F4 |
/cm2 |
欠陥密度 |
CEID 4003 |
| 212 |
KillerDefects |
U4 |
- |
キラー欠陥数 |
CEID 4003 |
| 220 |
StressValue |
F4 |
MPa |
膜応力 |
CEID 4004 |
| 221 |
BowValue |
F4 |
um |
基板ボウ |
CEID 4004 |
| 222 |
WarpValue |
F4 |
um |
基板ワープ |
CEID 4004 |
ジョブデータ変数 (DVID 250-299)
| DVID |
名前 |
フォーマット |
単位 |
説明 |
レポート対象 |
| 250 |
ProcessJobID |
A[40] |
- |
プロセスジョブ ID |
CEID 5001-5010 |
| 251 |
ControlJobID |
A[40] |
- |
コントロールジョブ ID |
CEID 5001-5010 |
| 252 |
JobState |
U1 |
- |
ジョブ状態 |
CEID 5001-5010 |
| 253 |
JobRecipe |
A[40] |
- |
ジョブレシピ |
CEID 5002 |
| 254 |
JobStartTime |
A[14] |
- |
ジョブ開始タイムスタンプ |
CEID 5002 |
| 255 |
JobEndTime |
A[14] |
- |
ジョブ終了タイムスタンプ |
CEID 5006 |
| 256 |
JobResult |
U1 |
- |
ジョブ完了結果 |
CEID 5006 |
| 257 |
SubstratesPlanned |
U2 |
- |
計画基板数 |
CEID 5002 |
| 258 |
SubstratesCompleted |
U2 |
- |
完了基板数 |
CEID 5006 |
| 259 |
SubstratesFailed |
U2 |
- |
失敗基板数 |
CEID 5006 |
変数アクセスメッセージ
ステータス変数の読み取り (S1F3/S1F4)
リクエスト - 特定 SV：
S1F3 W
<L[5]
<U4 1> // Clock
<U4 6> // ProcessState
<U4 200> // ChamberTemperature
<U4 300> // CurrentRecipe
<U4 500> // OperatingHours
>
.
レスポンス：
S1F4
<L[5]
<A[14] "20250101120000"> // Clock
<U1 1> // ProcessState = IDLE
<F4 25.3> // ChamberTemperature
<A[20] "PROD_RECIPE_001"> // CurrentRecipe
<U4 12500> // OperatingHours
>
.
装置定数の読み取り (S2F13/S2F14)
リクエスト：
S2F13 W
<L[4]
<U4 100> // DefaultProcessTemp
<U4 101> // MaxProcessTemp
<U4 130> // ProcessTimeout
<U4 200> // CarrierSlotCount
>
.
レスポンス：
S2F14
<L[4]
<F4 25.0> // DefaultProcessTemp
<F4 400.0> // MaxProcessTemp
<U4 7200> // ProcessTimeout
<U2 25> // CarrierSlotCount
>
.
装置定数の書き込み (S2F15/S2F16)
リクエスト：
S2F15 W
<L[3]
<L[2]
<U4 100> // ECID
<F4 30.0> // 新しい DefaultProcessTemp
>
<L[2]
<U4 130> // ECID
<U4 10800> // 新しい ProcessTimeout
>
<L[2]
<U4 202> // ECID
<Boolean True> // AutoLoadEnable
>
>
.
レスポンス：
S2F16
<B[1] 0x00> // EAC = 受け入れ
.
EAC 値
| 値 |
名前 |
説明 |
| 0x00 |
OK |
すべてのパラメータ受け入れ |
| 0x01 |
DENIED_INVALID |
少なくとも1つの定数が無効 |
| 0x02 |
DENIED_BUSY |
装置ビジー |
| 0x03 |
DENIED_ECID |
無効な ECID |
| 0x04 |
DENIED_VALUE |
値が範囲外 |
実装備考
変数 ID 割り当て
カスタマイズ用の推奨 ID 範囲：
- SVID 1-99：システム変数（標準）
- SVID 100-199：装置ステータス
- SVID 200-299：プロセス監視
- SVID 300-399：プロセスデータ
- SVID 400-499：キャリア/ポート (GEM 300)
- SVID 500-599：装置ヘルス
-
SVID 600-999：カスタム/予約
-
ECID 1-49：通信
- ECID 50-99：タイマー
- ECID 100-199：プロセス定数
- ECID 200-249：キャリアハンドリング
- ECID 250-299：アラーム/イベント
-
ECID 300-999：カスタム/予約
-
DVID 1-99：プロセスデータ
- DVID 100-149：キャリアデータ
- DVID 150-199：基板データ
- DVID 200-249：測定データ
- DVID 250-299：ジョブデータ
- DVID 300-999：カスタム/予約