アラーム¶

1. 概要¶

アラームは、設備の異常状態をホストに通知します。各アラームには、一意のID（ALID）、テキスト説明（ALTX）、および重大度を示すカテゴリコード（ALCD）があります。アラームは、工場の安全、設備保護、およびプロセス品質保証に不可欠です。

1.1 主要概念¶

用語	説明
ALID	アラームID - 各アラームの一意識別子
ALCD	アラームコード - カテゴリとセット/クリア状態
ALTX	アラームテキスト - 人間が読める説明
ALED	アラーム有効/無効フラグ

1.2 アラーム状態モデル¶

stateDiagram-v2 [*] --> Disabled: Initial Disabled --> Enabled: S5F3 (ALED=1) Enabled --> Disabled: S5F3 (ALED=0) Enabled --> Active: Condition Detected Active --> Enabled: Condition Cleared Active --> Acknowledged: Operator Ack Acknowledged --> Enabled: Condition Cleared

2. アラームカテゴリ（ALCD）¶

2.1 カテゴリ定義¶

ALCD	カテゴリ名	説明	優先度
1	人員安全	人員への即時危険	最高
2	設備安全	設備への即時危険	高
3	パラメータ制御警告	パラメータが制限値に接近	中
4	パラメータ制御エラー	パラメータが制限値を超過	中
5	回復不能エラー	設備が継続不可	高
6	設備状態警告	異常状態を検出	低
7	注意フラグ	オペレーター対応が必要	低
8	データ整合性	データ破損を検出	中

2.2 ALCD ビット構造¶

ALCDバイトには、セット/クリアフラグとカテゴリの両方が含まれます：

ビット位置	説明
Bit 7 (MSB)	セット/クリア：0=クリア、1=セット
Bits 6-0	アラームカテゴリ（1-8）

例：

ALCD値	バイナリ	意味
0x01	0000 0001	カテゴリ1、クリア
0x81	1000 0001	カテゴリ1、セット
0x06	0000 0110	カテゴリ6、クリア
0x86	1000 0110	カテゴリ6、セット

3. アラーム定義¶

3.1 通信アラーム（ALID 1000-1099）¶

ALID	ALTX	ALCD	セット条件	クリア条件
1001	Host Communication Lost	6	HSMS切断	通信回復
1002	T3 Reply Timeout	6	T3時間内に応答なし	メッセージ交換成功
1003	T6 Control Timeout	6	T6時間内に制御応答なし	制御応答受信
1004	T7 Connection Timeout	6	T7時間内に接続未確立	接続確立
1005	Secondary Host Comm Lost	6	セカンダリホスト切断	セカンダリホスト接続
1006	Message Parse Error	8	無効なSECS-IIメッセージ受信	該当なし（イベントのみ）
1007	Spool Buffer Full	6	スプール容量超過	スプール空き容量あり
1008	Spool Transmit Failed	6	スプールデータ送信失敗	スプールデータ送信完了

3.2 システムアラーム（ALID 2000-2099）¶

ALID	ALTX	ALCD	セット条件	クリア条件
2001	Power Failure Warning	2	UPSがバッテリー駆動	AC電源回復
2002	UPS Battery Low	2	バッテリー < 20%	バッテリー > 50%
2003	System Error	5	重大システムエラー	システム再起動
2004	Disk Space Low	6	ディスク < 10% 空き	ディスク >= 20% 空き
2005	Disk Space Critical	5	ディスク < 2% 空き	ディスク >= 10% 空き
2006	Memory Low	6	RAM < 10% 空き	RAM >= 20% 空き
2007	CPU Overload	6	CPU > 90% 60秒間	CPU < 70%
2008	Software Exception	5	未処理例外	システム再起動
2009	Configuration Error	5	設定ファイル無効	設定修正
2010	License Expired	6	ライセンス期限切れ	ライセンス更新
2011	Clock Drift Detected	6	時間ずれ > 1秒	時計同期
2012	Log File Error	8	ログ書き込み不可	ログパスアクセス可能
2013	Database Error	5	データベース接続切断	データベース接続
2014	Backup Failed	8	バックアッププロセス失敗	バックアップ成功

3.3 プロセスアラーム（ALID 3000-3199）¶

ALID	ALTX	ALCD	セット条件	クリア条件
3001	Temperature High Warning	3	温度 > 高警告制限	温度 <= 高警告制限
3002	Temperature High Error	4	温度 > 高エラー制限	温度 <= 高エラー制限
3003	Temperature Low Warning	3	温度 < 低警告制限	温度 >= 低警告制限
3004	Temperature Low Error	4	温度 < 低エラー制限	温度 >= 低エラー制限
3005	Temperature Control Failed	5	温度が設定値に到達不可	温度が設定値に到達
3010	Pressure High Warning	3	圧力 > 高警告制限	圧力 <= 高警告制限
3011	Pressure High Error	4	圧力 > 高エラー制限	圧力 <= 高エラー制限
3012	Pressure Low Warning	3	圧力 < 低警告制限	圧力 >= 低警告制限
3013	Pressure Low Error	4	圧力 < 低エラー制限	圧力 >= 低エラー制限
3014	Vacuum Loss	5	真空維持不可	真空回復
3020	Gas Flow High Warning	3	流量 > 高警告制限	流量 <= 高警告制限
3021	Gas Flow High Error	4	流量 > 高エラー制限	流量 <= 高エラー制限
3022	Gas Flow Low Warning	3	流量 < 低警告制限	流量 >= 低警告制限
3023	Gas Flow Low Error	4	流量 < 低エラー制限	流量 >= 低エラー制限
3024	Gas Supply Pressure Low	4	供給圧力が最小値以下	供給圧力回復
3030	Power High Warning	3	電力 > 高警告制限	電力 <= 高警告制限
3031	Power High Error	4	電力 > 高エラー制限	電力 <= 高エラー制限
3040	Process Time Exceeded	4	プロセス時間 > 最大制限	プロセス完了
3041	Process Abort Requested	6	オペレーター/ホスト中止	プロセス停止
3050	Recipe Parameter Error	5	無効なレシピパラメータ	レシピ修正
3051	Recipe Step Timeout	4	ステップ時間超過	ステップ完了
3052	Recipe Execution Error	5	レシピ実行失敗	レシピ再起動
3060	End Point Detection Failed	4	EPD信号未検出	EPD成功
3070	Substrate Missing	5	予期された基板が不在	基板ロード完了
3071	Substrate Misaligned	4	基板位置エラー	基板アライメント完了
3072	Substrate Broken	5	基板破損検出	基板除去完了

3.4 ハードウェアアラーム（ALID 4000-4199）¶

ALID	ALTX	ALCD	セット条件	クリア条件
4001	Robot Communication Error	5	ロボットコントローラ通信切断	ロボット通信回復
4002	Robot Motion Error	5	ロボット動作異常	ロボットリセット
4003	Robot Position Error	4	ロボット位置偏差	位置修正
4004	Robot Servo Off	2	ロボットサーボオフ	サーボ有効化
4005	Robot Collision Detected	2	衝突センサー作動	ロボット安全
4010	Motor Overload	4	モーター電流超過	電流正常
4011	Motor Stall	5	モーター無応答	モーター動作中
4012	Encoder Error	5	エンコーダ信号消失	エンコーダ信号正常
4020	Valve Operation Error	5	バルブ無応答	バルブ動作正常
4021	Valve Position Error	4	バルブ位置不一致	位置修正
4030	Pump Error	5	ポンプ動作失敗	ポンプ動作正常
4031	Pump Overheating	3	ポンプ温度高	ポンプ温度正常
4040	MFC Communication Error	5	MFCコントローラ通信切断	MFC通信回復
4041	MFC Zero Drift	4	MFCゼロ点ドリフト	MFC校正完了
4050	Heater Communication Error	5	ヒーターコントローラ通信切断	ヒーター通信回復
4051	Heater Open Circuit	5	ヒーター素子断線	ヒーター交換
4052	Heater Short Circuit	5	ヒーター素子短絡	ヒーター交換
4060	Sensor Communication Error	5	センサー通信切断	センサー通信回復
4061	Sensor Out of Range	4	センサー読み取り値無効	センサー読み取り値有効
4062	Sensor Calibration Due	7	校正間隔超過	センサー校正完了
4070	Chamber Leak Detected	4	リーク率超過	リーク率正常
4071	Chamber Door Open	2	ドアスイッチ未閉	ドア閉
4080	Cooling Water Flow Low	4	冷却流量が最小値以下	冷却流量回復
4081	Cooling Water Temp High	3	冷却水温度高	冷却水温度正常
4090	Exhaust Pressure High	4	排気閉塞検出	排気正常
4091	Exhaust Fan Error	4	排気ファン未稼働	排気ファン稼働中

3.5 ロードポートアラーム（ALID 4200-4299）¶

ALID	ALTX	ALCD	セット条件	クリア条件
4201	Load Port 1 Error	5	LP1動作エラー	LP1リセット
4202	Load Port 2 Error	5	LP2動作エラー	LP2リセット
4203	Load Port 3 Error	5	LP3動作エラー	LP3リセット
4204	Load Port 4 Error	5	LP4動作エラー	LP4リセット
4210	FOUP Clamp Error	4	クランプ動作失敗	クランプ動作正常
4211	FOUP Dock Error	4	ドック動作失敗	ドック動作正常
4212	FOUP Door Error	4	ドア動作失敗	ドア動作正常
4213	FOUP Mapping Error	4	マッピングセンサーエラー	マッピング成功
4220	Carrier ID Read Error	6	IDリーダー故障	ID読み取り成功
4221	Carrier ID Mismatch	4	IDが期待値と不一致	ID検証完了
4230	Load Port Interlock	2	LPインターロック作動	インターロック解除

3.6 安全アラーム（ALID 5000-5099）¶

ALID	ALTX	ALCD	セット条件	クリア条件
5001	Emergency Stop Activated	1	EMOボタン押下	EMOリセット
5002	Safety Interlock Open	2	安全インターロック作動	インターロック閉
5003	Safety Guard Open	1	動作中に安全ガード開	ガード閉
5004	Light Curtain Interrupted	1	ライトカーテンビーム遮断	ライトカーテン正常
5005	Fire Detected	1	火災センサー作動	火災センサー正常
5006	Smoke Detected	1	煙センサー作動	煙センサー正常
5007	Gas Leak Detected	1	ガス検出器作動	ガスレベル安全
5008	High Voltage Exposed	1	高電圧ドア開	高電圧ドア閉
5010	Earthquake Detected	1	地震センサー作動	地震センサー正常
5011	Over Temperature Shutdown	2	臨界温度超過	温度安全
5012	Pressure Relief Activated	2	圧力リリーフ作動	圧力正常
5020	Robot Area Intrusion	1	ロボットエリアセンサー作動	ロボットエリア正常
5021	Pinch Point Warning	1	ピンチポイントセンサー作動	センサー正常

3.7 ユーティリティアラーム（ALID 6000-6099）¶

ALID	ALTX	ALCD	セット条件	クリア条件
6001	Facility CDA Pressure Low	4	CDA圧力が最小値以下	CDA圧力回復
6002	Facility N2 Pressure Low	4	N2圧力が最小値以下	N2圧力回復
6003	Facility Vacuum Low	4	ファシリティ真空が最小値以下	真空回復
6004	Facility Water Flow Low	4	冷却水流量低	水流量回復
6005	Facility Exhaust Off	4	ファシリティ排気停止	排気稼働中
6010	Process Gas 1 Low	4	プロセスガス1圧力低	ガス1圧力正常
6011	Process Gas 2 Low	4	プロセスガス2圧力低	ガス2圧力正常
6012	Process Gas 3 Low	4	プロセスガス3圧力低	ガス3圧力正常
6020	Scrubber Status Warning	3	スクラバー効率低	スクラバー正常
6021	Scrubber Error	4	スクラバー故障	スクラバー動作正常

3.8 品質アラーム（ALID 7000-7099）¶

ALID	ALTX	ALCD	セット条件	クリア条件
7001	Process Spec Violation	4	プロセスが仕様外	プロセスが仕様内
7002	Measurement Out of Range	4	測定値が制限超過	測定値が範囲内
7003	SPC Violation	6	SPCルール作動	SPC正常
7004	Consecutive Failures	4	N回連続失敗	プロセス成功
7005	Yield Below Threshold	6	歩留まりが最小値以下	歩留まり回復
7010	PM Interval Exceeded	7	PMスケジュール超過	PM完了
7011	Component Lifetime Warning	7	部品が寿命末期に接近	部品交換
7012	Calibration Due	7	校正間隔超過	校正完了

4. アラームメッセージ¶

4.1 S5F1 - アラームレポート送信¶

設備がホストにアラーム通知を送信します。

S5F1 W
  <L[3]
    <ALCD>                      // アラームコード（カテゴリ + セット/クリア）
    <ALID>                      // アラームID
    <ALTX>                      // アラームテキスト
  >
.

4.2 S5F1 例¶

例1 - 温度高アラームセット：

S5F1 W
  <L[3]
    <B[1] 0x83>                 // ALCD = セット + カテゴリ3（警告）
    <U4 3001>                   // ALID = 温度高警告
    <A[35] "Temperature High Warning: Zone 1 = 125.3C">
  >
.

例2 - 温度アラームクリア：

S5F1 W
  <L[3]
    <B[1] 0x03>                 // ALCD = クリア + カテゴリ3
    <U4 3001>                   // ALID = 温度高警告
    <A[35] "Temperature High Warning: Zone 1 = 125.3C">
  >
.

例3 - 緊急停止（人員安全）：

S5F1 W
  <L[3]
    <B[1] 0x81>                 // ALCD = セット + カテゴリ1（人員安全）
    <U4 5001>                   // ALID = 緊急停止
    <A[25] "Emergency Stop Activated">
  >
.

例4 - 設備安全アラーム：

S5F1 W
  <L[3]
    <B[1] 0x82>                 // ALCD = セット + カテゴリ2（設備安全）
    <U4 4005>                   // ALID = ロボット衝突
    <A[40] "Robot Collision Detected at Position X=150, Y=200">
  >
.

4.3 S5F2 - アラームレポート確認¶

S5F2
  <ACKC5>                       // 確認コード
.

ACKC5	説明
0x00	受領

4.4 S5F3 - アラーム有効/無効送信¶

ホストがアラーム報告を有効または無効にします。

S5F3 W
  <L[2]
    <ALED>                      // 0=無効、1=有効
    <ALID>                      // アラームID（0 = 全アラーム）
  >
.

例 - 特定アラームの有効化：

S5F3 W
  <L[2]
    <Boolean 1>                 // 有効
    <U4 3001>                   // ALID = 温度高警告
  >
.

例 - 全アラームの無効化：

S5F3 W
  <L[2]
    <Boolean 0>                 // 無効
    <U4 0>                      // 0 = 全アラーム
  >
.

4.5 S5F4 - アラーム有効/無効確認¶

S5F4
  <ACKC5>
.

4.6 S5F5 - アラームリスト要求¶

ホストがアラーム定義を要求します。

S5F5 W
  <L[n]                         // 照会するnアラーム
    <ALID>                      // アラームID（空リスト = 全部）
    ...
  >
.

例 - 特定アラームの照会：

S5F5 W
  <L[3]
    <U4 3001>                   // 温度高警告
    <U4 3002>                   // 温度高エラー
    <U4 5001>                   // 緊急停止
  >
.

例 - 全アラームの照会：

S5F5 W
  <L[0]>                        // 空 = 全アラーム
.

4.7 S5F6 - アラームリストデータ¶

S5F6
  <L[n]
    <L[3]
      <ALCD>                    // カテゴリ（セット/クリアビットなし）
      <ALID>                    // アラームID
      <ALTX>                    // アラームテキスト
    >
    ...
  >
.

応答例：

S5F6
  <L[3]
    <L[3]
      <B[1] 0x03>               // カテゴリ3（パラメータ警告）
      <U4 3001>
      <A[25] "Temperature High Warning">
    >
    <L[3]
      <B[1] 0x04>               // カテゴリ4（パラメータエラー）
      <U4 3002>
      <A[23] "Temperature High Error">
    >
    <L[3]
      <B[1] 0x01>               // カテゴリ1（人員安全）
      <U4 5001>
      <A[25] "Emergency Stop Activated">
    >
  >
.

4.8 S5F7 - 有効アラームリスト要求¶

S5F7 W
  <L[0]>                        // 有効アラームリスト要求
.

4.9 S5F8 - 有効アラームリストデータ¶

S5F8
  <L[n]
    <L[3]
      <ALCD>                    // 現在の状態（アクティブの場合セット/クリアビット付き）
      <ALID>
      <ALTX>
    >
    ...
  >
.

5. アラーム報告シーケンス¶

5.1 アラームセットシーケンス¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over E: アラーム条件検出 E->>H: S5F1 W (ALCD=0x86, ALID=3001) Note right of E: 温度高警告 H-->>E: S5F2 (ACKC5=0) Note over E: 収集イベントもトリガー E->>H: S6F11 W (CEID=300, AlarmSet) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

5.2 アラームクリアシーケンス¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over E: アラーム条件クリア E->>H: S5F1 W (ALCD=0x06, ALID=3001) Note right of E: 温度正常 H-->>E: S5F2 (ACKC5=0) Note over E: 収集イベントもトリガー E->>H: S6F11 W (CEID=301, AlarmCleared) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

5.3 緊急停止シーケンス¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over E: EMOボタン押下 E->>H: S5F1 W (ALCD=0x81, ALID=5001) Note right of E: カテゴリ1 - 人員安全 H-->>E: S5F2 (ACKC5=0) E->>H: S6F11 W (CEID=303, PersonalSafetyAlarm) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over E: 設備が安全状態に移行 Note over E: 全動作即時停止

5.4 初期アラーム照会¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: 通信確立後 H->>E: S5F5 W (全アラーム照会) E-->>H: S5F6 (全アラーム定義) H->>E: S5F7 W (有効アラーム照会) E-->>H: S5F8 (有効アラームリストと現在の状態) Note over H: ホストが全ての<br/>アクティブアラームを把握

6. アラーム優先度とアクション¶

6.1 優先度処理¶

優先度	カテゴリ	典型的な設備アクション
1	人員安全	即時停止、緊急シャットダウン、オペレーター警告
2	設備安全	安全シャットダウンシーケンス、動作停止
3	回復不能エラー	プロセス停止、介入必要
4	パラメータエラー	プロセス一時停止、パラメータ調整
5	パラメータ警告	警告記録、運転継続
6	設備警告	イベント記録、運転継続
7	注意フラグ	オペレーター通知
8	データ整合性	エラー記録、データ検証

6.2 アラーム応答マトリクス¶

アラームカテゴリ	動作停止	プロセス停止	ブザー	ビーコン	ホスト通知
1（人員安全）	即時	即時	あり	赤	優先
2（設備安全）	即時	制御	あり	赤	優先
3（警告）	なし	なし	任意	黄	通常
4（エラー）	制御	制御	あり	黄	通常
5（回復不能）	即時	即時	あり	赤	優先
6（状態警告）	なし	なし	なし	黄	通常
7（注意）	なし	なし	任意	青	通常
8（データ整合性）	なし	なし	なし	黄	通常

7. アラーム関連変数¶

7.1 状態変数¶

SVID	名称	型	説明
500	ActiveAlarmCount	U2	現在のアクティブアラーム数
501	ActiveAlarmList	L	アクティブALIDリスト
502	HighestActiveAlarmCategory	U1	最高重大度のアクティブアラーム
503	LastAlarmID	U4	最新アラームのALID
504	LastAlarmTime	A	最新アラームの時刻
505	AlarmHistoryCount	U4	履歴内の総アラーム数

7.2 設備定数¶

ECID	名称	型	デフォルト	説明
500	MaxAlarmHistory	U4	10000	最大アラーム履歴エントリ数
501	AlarmBuzzerEnable	Boolean	True	アラームブザー有効/無効
502	AlarmBeaconEnable	Boolean	True	アラームビーコン有効/無効
503	AlarmAutoAckCategories	U1	0	自動確認するカテゴリ

8. 関連収集イベント¶

CEID	イベント名	説明
300	AlarmSet	いずれかのアラームがセット
301	AlarmCleared	いずれかのアラームがクリア
302	AlarmAcknowledged	いずれかのアラームが確認
303	PersonalSafetyAlarm	カテゴリ1アラームセット
304	EquipmentSafetyAlarm	カテゴリ2アラームセット
305	IrrecoverableError	カテゴリ5アラームセット
306	WarningAlarm	カテゴリ3または6アラームセット

9. 実装ガイドライン¶

9.1 アラーム永続性¶

アラーム状態は通信切断中も維持
通信回復時にアクティブアラームを報告
アラーム履歴はタイムスタンプ付きでローカル保存

9.2 アラーム確認¶

確認タイプ	説明
ホスト確認	S5F2応答
オペレーター確認	ローカルHMIボタン
自動確認	非クリティカルアラーム用（設定可能）

9.3 複数アラーム¶

複数のアラームがアクティブな場合： 1. 最高優先度を最初に処理 2. 優先度順に各アラームのS5F1を送信 3. リトライ用にアラームキューを維持

9.4 アラームフラッド保護¶

パラメータ	値	説明
MaxAlarmsPerSecond	10	アラームメッセージのレート制限
AlarmDebounceTime	100 ms	同一アラーム間の最小時間
AlarmBurstThreshold	50	フラッド警告前の数

10. 実装チェックリスト¶

機能	必須	備考
S5F1/F2 アラーム送信	はい	コアアラーム報告
S5F3/F4 有効/無効	はい	アラーム制御
S5F5/F6 アラームリスト	はい	アラーム照会
S5F7/F8 有効アラーム	はい	アクティブアラーム照会
カテゴリサポート	はい	全8カテゴリ
セット/クリア表示	はい	ALCD bit 7
収集イベントリンク	はい	CEID 300/301
アラーム履歴	はい	ローカル記録
アラーム永続性	はい	通信切断をまたいで
優先度処理	はい	カテゴリベース
同時アラーム	はい	複数アクティブ
アラームテキスト	はい	説明的なALTX