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リモートコマンド

1. 概要

リモートコマンド(RCMD)は、ホストが設備操作を制御することを可能にします。コマンドはS2F41で送信され、S2F42で確認されます。

2. コマンド実行要件

2.1 前提条件

リモートコマンドが受け入れられる条件: - 設備が ON-LINE REMOTE 制御状態であること - 設備が適切な処理状態であること - 安全インターロックがアクティブでないこと

2.2 コマンド拒否

コマンドが拒否される場合(HCACK ≠ 0): - 設備が ON-LINE LOCAL または OFF-LINE 状態の場合 - 設備がそのコマンドの有効な処理状態にない場合 - 無効なコマンド名またはパラメータの場合 - 安全またはインターロック違反の場合

3. リモートコマンド定義

3.1 プロセス制御コマンド

RCMD 説明 有効状態 パラメータ
START 処理開始 IDLE RecipeID(オプション)
STOP 安全な位置で停止 EXECUTING なし
ABORT 即時中止 EXECUTING、PAUSED、SETTING UP なし
PAUSE 処理一時停止 EXECUTING なし
RESUME 一時停止から再開 PAUSED なし

3.2 レシピコマンド

RCMD 説明 有効状態 パラメータ
PP_SELECT プロセスプログラム選択 IDLE RecipeID
PP_CLEAR 選択されたレシピをクリア IDLE なし

3.3 設備コマンド

RCMD 説明 有効状態 パラメータ
INIT 設備初期化 任意 なし
RESET 設備リセット 任意 なし
HOME 全軸原点復帰 IDLE なし

3.4 カスタムコマンド

RCMD 説明 有効状態 パラメータ
[CMD1] [説明] [状態] [パラメータ]
[CMD2] [説明] [状態] [パラメータ]

4. コマンドパラメータ

4.1 START コマンドパラメータ

CPNAME 必須 説明
RecipeID A いいえ 実行するレシピ(未指定の場合は現在のレシピを使用)
LotID A いいえ 追跡用のロット識別子
[カスタムパラメータ] [型] [はい/いいえ] [説明]

4.2 PP_SELECT コマンドパラメータ

CPNAME 必須 説明
RecipeID A はい 選択するレシピ識別子

5. 関連メッセージ

5.1 S2F41 - ホストコマンド送信

構造:

S2F41 W
<L[2]
  <RCMD>              // リモートコマンド名
  <L[n]               // コマンドパラメータ
    <L[2]
      <CPNAME>        // パラメータ名
      <CPVAL>         // パラメータ値
    >
    ...
  >
>

5.2 S2F42 - ホストコマンド確認

構造:

S2F42
<L[2]
  <HCACK>             // コマンド確認コード
  <L[n]               // パラメータ確認(パラメータごと)
    <L[2]
      <CPNAME>
      <CPACK>         // パラメータ確認コード
    >
    ...
  >
>

6. 応答コード

6.1 HCACK - ホストコマンド確認

説明
0 確認、コマンド受領
1 拒否、無効なコマンド
2 拒否、現在実行不可
3 拒否、パラメータエラー
4 確認、コマンドは後で実行
5 拒否、既に所望の状態
6 拒否、該当オブジェクトなし

6.2 CPACK - コマンドパラメータ確認

説明
1 パラメータ名無効
2 CPVAL 値が不正
3 CPVAL 値が範囲外

7. コマンド実行シーケンス

7.1 START コマンド

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: 状態:IDLE Host->>Equipment: S2F41 (RCMD="START", RecipeID="RECIPE001") Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: 状態:SETTING UP Equipment->>Host: S6F11 (ProcessStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: 状態:EXECUTING Equipment->>Host: S6F11 (ProcessStarted) Host-->>Equipment: S6F12

7.2 PAUSE と RESUME

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: 状態:EXECUTING Host->>Equipment: S2F41 (RCMD="PAUSE") Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: 状態:PAUSED Equipment->>Host: S6F11 (ProcessPaused) Host-->>Equipment: S6F12 Host->>Equipment: S2F41 (RCMD="RESUME") Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: 状態:EXECUTING Equipment->>Host: S6F11 (ProcessResumed) Host-->>Equipment: S6F12

7.3 ABORT コマンド

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: 状態:EXECUTING Host->>Equipment: S2F41 (RCMD="ABORT") Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: 状態:ABORTING Equipment->>Host: S6F11 (ProcessStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: 中止完了 Note over Equipment: 状態:IDLE Equipment->>Host: S6F11 (ProcessAborted) Host-->>Equipment: S6F12

7.4 コマンド拒否

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: 状態:EXECUTING(STARTできない) Host->>Equipment: S2F41 (RCMD="START") Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=2, 現在実行不可) Note over Equipment: 状態変更なし

8. コマンド状態マトリクス

RCMD IDLE SETTING UP READY EXECUTING PAUSED ABORTING
START v - - - - -
STOP - - - v - -
ABORT - v v v v -
PAUSE - - - v - -
RESUME - - - - v -
PP_SELECT v - - - - -
INIT v v v v v v
RESET v - - - - -

v = コマンド受領、- = コマンド拒否(HCACK=2)

9. 関連収集イベント

CEID 名称 説明
[6001] RemoteCommandReceived ホストからリモートコマンド受信
[6002] RemoteCommandCompleted リモートコマンド実行完了
[6003] RemoteCommandFailed リモートコマンド実行失敗

10. 実装上の注意事項

10.1 コマンドキューイング

  • デフォルトではコマンドはキューイングされない
  • コマンドが即時実行できない場合、拒否される(HCACK=2)
  • 例外:HCACK=4 はコマンドが後で実行されることを示す

10.2 非同期実行

  • S2F42 はコマンドの受信を確認するものであり、完了ではない
  • コマンド完了は収集イベントで通知
  • ホストはコマンド状態のためにイベントを監視すべき

10.3 コマンドタイムアウト

コマンド 一般的なタイムアウト 備考
START 30 秒 EXECUTING 状態まで
STOP 60 秒 IDLE 状態まで
ABORT 10 秒 IDLE 状態まで
PAUSE 30 秒 PAUSED 状態まで