プロセスプログラム管理¶

1. 概要¶

プロセスプログラム（レシピ）管理は、ホストが設備上でレシピを転送、管理、制御することを可能にします。これはSEMI E30（GEM）に準拠し、Stream 7メッセージを使用します。

2. プロセスプログラムの概念¶

2.1 用語¶

用語	説明
PPID	プロセスプログラムID - 一意のレシピ識別子
PPBODY	プロセスプログラムボディ - レシピの内容/データ
Formatted PP	フォーマット済みプロセスプログラム - 定義されたパラメータを持つ構造化レシピ
Unformatted PP	非フォーマットプロセスプログラム - バイナリ/プロプライエタリレシピ形式

2.2 レシピ形式¶

本設備の使用形式：[Formatted / Unformatted / Both]

3. レシピストレージ¶

パラメータ	値
最大レシピ数	`[100]`
最大PPID長	`[64]` 文字
最大PPBODYサイズ	`[1 MB]`
ストレージタイプ	不揮発性

4. 関連メッセージ¶

メッセージ	方向	説明
S7F1	H→E	プロセスプログラムロード問い合わせ
S7F2	E→H	プロセスプログラムロード許可
S7F3	H→E	プロセスプログラム送信
S7F4	E→H	プロセスプログラム確認
S7F5	H→E	プロセスプログラム要求
S7F6	E→H	プロセスプログラムデータ
S7F17	H→E	プロセスプログラム削除送信
S7F18	E→H	プロセスプログラム削除確認
S7F19	H→E	現在のEPPD要求
S7F20	E→H	現在のEPPDデータ
S7F23	H→E	フォーマット済みプロセスプログラム送信
S7F24	E→H	フォーマット済みプロセスプログラム確認
S7F25	H→E	フォーマット済みプロセスプログラム要求
S7F26	E→H	フォーマット済みプロセスプログラムデータ

5. レシピダウンロード（ホストから設備）¶

5.1 非フォーマットレシピダウンロード¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Host,Equipment: 問い合わせフェーズ Host->>Equipment: S7F1 (PPID, Length) Equipment-->>Host: S7F2 (PPGNT=0, OK) Note over Host,Equipment: 転送フェーズ Host->>Equipment: S7F3 (PPID, PPBODY) Equipment-->>Host: S7F4 (ACKC7=0) Note over Equipment: レシピ保存完了

5.2 S7F1 - プロセスプログラムロード問い合わせ¶

構造：

S7F1 W
<L[2]
  <PPID>              // プロセスプログラムID
  <LENGTH>            // 予定長（バイト）
>

5.3 S7F2 - プロセスプログラムロード許可¶

構造：

S7F2
<PPGNT>

PPGNT値：

値	説明
0	OK
1	既に存在
2	空き容量なし
3	無効なPPID
4	ビジー、後で再試行
5	受け入れ不可

5.4 S7F3 - プロセスプログラム送信¶

構造：

S7F3 W
<L[2]
  <PPID>
  <PPBODY>            // バイナリレシピデータ
>

5.5 S7F4 - プロセスプログラム確認¶

構造：

S7F4
<ACKC7>

ACKC7値：

値	説明
0	受領
1	許可なし
2	長さエラー
3	マトリクスオーバーフロー
4	PPID未検出
5	モード未サポート
6	非同期完了

6. レシピアップロード（設備からホスト）¶

6.1 非フォーマットレシピアップロード¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S7F5 (PPID) Equipment-->>Host: S7F6 (PPID, PPBODY)

6.2 S7F5 - プロセスプログラム要求¶

構造：

S7F5 W
<PPID>

6.3 S7F6 - プロセスプログラムデータ¶

構造：

S7F6
<L[2]
  <PPID>
  <PPBODY>
>

PPIDが見つからない場合、返却：

S7F6
<L[0]>

7. フォーマット済みレシピ転送¶

7.1 フォーマット済みレシピ構造¶

フォーマット済みレシピは標準化されたパラメータ構造を使用します：

S7F23 W
<L[3]
  <PPID>
  <MDLN>              // 設備モデル
  <L[n]               // コマンドコード/パラメータ
    <CCODE>           // コマンドコード
    ...
  >
>

7.2 フォーマット済みレシピパラメータ¶

パラメータ	型	説明
`[Param1]`	`[型]`	`[説明]`
`[Param2]`	`[型]`	`[説明]`

8. レシピ削除¶

8.1 S7F17 - プロセスプログラム削除送信¶

構造：

S7F17 W
<L[n]
  <PPID>
  ...
>

全レシピ削除：<L[0]>

8.2 S7F18 - プロセスプログラム削除確認¶

構造：

S7F18
<ACKC7>

9. レシピリスト照会¶

9.1 S7F19 - 現在のEPPD要求¶

保存済みレシピリストを要求：

構造：

S7F19 W
<L[0]>

9.2 S7F20 - 現在のEPPDデータ¶

構造：

S7F20
<L[n]
  <PPID>
  ...
>

10. レシピ選択¶

レシピは以下の方法で実行用に選択されます：

リモートコマンド：S2F41でRCMD="PP_SELECT"またはRecipeID付きSTART
オペレーター選択：ローカルオペレーターインターフェース

11. レシピフローシーケンス¶

11.1 完全なレシピ管理フロー¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Host,Equipment: 1. 既存レシピの照会 Host->>Equipment: S7F19 (リスト要求) Equipment-->>Host: S7F20 (PPIDリスト) Note over Host,Equipment: 2. 新規レシピのダウンロード Host->>Equipment: S7F1 (問い合わせ) Equipment-->>Host: S7F2 (許可) Host->>Equipment: S7F3 (レシピ送信) Equipment-->>Host: S7F4 (確認) Note over Host,Equipment: 3. 選択して開始 Host->>Equipment: S2F41 (START, RecipeID) Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Host,Equipment: 4. 検証用アップロード Host->>Equipment: S7F5 (要求) Equipment-->>Host: S7F6 (レシピデータ)

12. 関連状態変数¶

SVID	名称	型	説明
`[7001]`	SelectedRecipe	A	現在選択されているレシピID
`[7002]`	RecipeCount	U2	保存済みレシピ数
`[7003]`	RecipeSpaceAvailable	U4	利用可能なストレージ（バイト）

13. 関連収集イベント¶

CEID	名称	説明
400	RecipeSelected	処理用レシピが選択された
401	RecipeUploaded	レシピがホストにアップロードされた
402	RecipeDownloaded	レシピがホストからダウンロードされた
403	RecipeDeleted	レシピが削除された

14. エラー処理¶

14.1 ダウンロードエラー¶

シナリオ	応答
ストレージ満杯	S7F2 (PPGNT=2)
無効なPPID	S7F2 (PPGNT=3)
転送エラー	S7F4 (ACKC7=2)

14.2 アップロードエラー¶

シナリオ	応答
レシピ未検出	S7F6で空リストを返却

14.3 レシピ検証¶

設備はダウンロードされたレシピを以下の点で検証します： - 構文の正確性 - パラメータ範囲 - 設備互換性 - バージョン互換性

検証エラーはS7F4（ACKC7≠0）を返します。