シナリオ：プロセス完了¶

1. 概要¶

本シナリオでは、装置がプロセスを完了した際の完全なイベント報告フローについて説明します。データ収集と状態遷移を含みます。

2. 前提条件¶

条件	必要な状態
通信	COMMUNICATING
制御状態	ONLINE
プロセス状態	EXECUTING

3. 完全プロセスフロー¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment rect rgb(240, 255, 240) Note over Host,Equipment: プロセス実行 Note over Equipment: 状態：EXECUTING Note over Equipment: 材料処理中... end rect rgb(255, 248, 240) Note over Host,Equipment: プロセス完了 Note over Equipment: プロセスステップ完了 Note over Equipment: 状態：IDLE end rect rgb(240, 248, 255) Note over Host,Equipment: イベント報告 Equipment->>Host: S6F11 W (ProcessCompleted) Note right of Equipment: ProcessStateChange ProcessResult ProcessData Host-->>Equipment: S6F12 (ACKC6=0) end

4. 詳細シーケンス¶

4.1 正常プロセス完了¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: 状態：EXECUTING Note over Equipment: 最終プロセスステップ... Note over Equipment: 測定データ収集 Note over Equipment: 状態：IDLE Equipment->>Host: S6F11 W (CEID=102) Note right of Equipment: DATAID=12345 CEID=102 (ProcessCompleted) Reports: ProcessEnd, ProcessData Host-->>Equipment: S6F12 (ACKC6=0) Note over Host,Equipment: 追加データ収集（オプション） Host->>Equipment: S6F15 W (Request detailed data) Equipment-->>Host: S6F16 (Detailed process data)

4.2 S6F11メッセージ構造¶

S6F11 W
<L[3]
  <DATAID 12345>
  <CEID 102>              // ProcessCompleted
  <L[2]
    <L[2]
      <RPTID 12>          // RPT_ProcessEnd
      <L[6]
        <PPID "RECIPE001">
        <LOTID "LOT001">
        <SLOTID 5>
        <ProcessTime 120>  // 秒
        <ProcessResult 0>  // 0=OK, 1=NG
        <Clock "20241231120000">
      >
    >
    <L[2]
      <RPTID 50>          // RPT_ProcessData
      <L[n]
        // プロセス測定データ
        <Measurement1 123.45>
        <Measurement2 67.89>
        ...
      >
    >
  >
>

5. プロセス結果コード¶

ProcessResult	説明
0	プロセス正常完了
1	エラーありで完了
2	プロセス未完了
3	プロセス中止

6. データ収集¶

6.1 自動データ（イベントレポート経由）¶

ProcessCompletedイベントに自動的に含まれるデータ：

変数	型	説明
RecipeID	A	使用レシピ
LotID	A	ロット識別子
SlotID	U2	スロット番号
ProcessTime	U4	処理時間（秒）
ProcessResult	U1	結果コード
StartTime	A	プロセス開始時刻
EndTime	A	プロセス終了時刻

6.2 測定データ¶

変数	型	単位	説明
`[Measurement1]`	F4	`[unit]`	`[Description]`
`[Measurement2]`	F4	`[unit]`	`[Description]`

6.3 オンデマンドデータ照会¶

ホストは完了後に追加データを要求できます：

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S6F15 W Note right of Host: 特定DVIDのデータ要求 Equipment-->>Host: S6F16 (Data values)

7. マルチユニット処理¶

複数ユニット（例：ウェーハ）を処理する装置の場合：

7.1 ユニット毎の完了¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: Slot 1処理中 Equipment->>Host: S6F11 W (SlotCompleted) Note right of Equipment: CEID=110, Slot=1, Result=OK Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: Slot 2処理中 Equipment->>Host: S6F11 W (SlotCompleted) Note right of Equipment: CEID=110, Slot=2, Result=OK Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: 全スロット完了 Equipment->>Host: S6F11 W (ProcessCompleted) Note right of Equipment: CEID=102, サマリデータ Host-->>Equipment: S6F12

7.2 サマリレポート構造¶

S6F11 W
<L[3]
  <DATAID>
  <CEID 102>
  <L[1]
    <L[2]
      <RPTID 99>          // RPT_BatchSummary
      <L[3]
        <TotalProcessed 25>
        <TotalPassed 24>
        <TotalFailed 1>
      >
    >
  >
>

8. エラーシナリオ¶

8.1 エラーありでプロセス完了¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: プロセスエラー検出 Equipment->>Host: S5F1 W (Alarm Set) Note right of Equipment: ALID=3001 ALTX="Process Error" Host-->>Equipment: S5F2 Note over Equipment: プロセス継続/回復 Note over Equipment: 状態：IDLE Equipment->>Host: S6F11 W (ProcessCompleted) Note right of Equipment: ProcessResult=1（エラーあり） Host-->>Equipment: S6F12

8.2 プロセス中止¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: 中止トリガー Note over Equipment: 状態：ABORTING Equipment->>Host: S6F11 W (ProcessStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: 状態：IDLE Equipment->>Host: S6F11 W (ProcessAborted) Note right of Equipment: CEID=103 AbortReason="オペレータ要求" Host-->>Equipment: S6F12

9. ホスト確認応答失敗¶

9.1 S6F12応答なし¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Equipment->>Host: S6F11 W (ProcessCompleted) Note over Equipment: S6F12待機 Note over Equipment: T3タイムアウト Note over Equipment: メッセージをリトライキューへ Note over Equipment: または通信断時にスプール

9.2 スプーリングシナリオ¶

イベント報告中に通信が切断された場合：

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Equipment->>Host: S6F11 W (ProcessCompleted) Note over Host,Equipment: 通信断 Note over Equipment: メッセージをスプール Note over Host,Equipment: 後で：通信復旧 Equipment->>Host: S6F23 (Request spool transmit) Host-->>Equipment: S6F24 (Grant) Equipment->>Host: S6F11 (Spooled message) Host-->>Equipment: S6F12

10. 関連収集イベント¶

CEID	名前	トリガー
100	ProcessStateChange	プロセス状態変更時
101	ProcessStarted	プロセス実行開始
102	ProcessCompleted	プロセス正常完了
103	ProcessAborted	プロセス中止
110	SlotCompleted	個別スロット/ユニット完了
111	SlotFailed	個別スロット/ユニット失敗

11. タイミング考慮事項¶

イベント	タイミング
ProcessCompletedイベント	状態がIDLEに遷移直後
測定データ利用可能	イベント発生時
履歴データ保持	`[設定可能]`