キャリア状態モデル（SEMI E87）¶

1. 概要¶

キャリア状態モデルは、SEMI E87（キャリア管理システム - CMS）で規定されている、装置内でのキャリア（FOUP）のライフサイクルを定義します。到着から出発までの流れを記述します。

2. キャリア状態図¶

stateDiagram-v2 [*] --> NOT_INSTANTIATED NOT_INSTANTIATED --> ID_NOT_READ: キャリアがLPに到着 ID_NOT_READ --> ID_VERIFICATION_OK: ID読み取り成功 ID_NOT_READ --> ID_VERIFICATION_FAILED: ID読み取り失敗 ID_VERIFICATION_FAILED --> ID_NOT_READ: 読み取り再試行 ID_VERIFICATION_FAILED --> NOT_INSTANTIATED: キャリア取り外し state IN_ACCESS_STATES { ID_VERIFICATION_OK --> NOT_ACCESSED: アクセス待機 NOT_ACCESSED --> IN_ACCESS: アクセス許可 IN_ACCESS --> CARRIER_COMPLETE: 処理完了 CARRIER_COMPLETE --> NOT_ACCESSED: アンロード準備完了 } IN_ACCESS --> NOT_ACCESSED: アクセスキャンセル NOT_ACCESSED --> ID_VERIFICATION_OK: 再検証必要 CARRIER_COMPLETE --> NOT_INSTANTIATED: キャリア取り外し NOT_ACCESSED --> NOT_INSTANTIATED: キャリア取り外し

3. 状態定義¶

状態	説明
NOT_INSTANTIATED	ロードポートにキャリアなし
ID_NOT_READ	キャリア存在、ID未読み取り
ID_VERIFICATION_OK	キャリアID読み取り・検証成功
ID_VERIFICATION_FAILED	キャリアID読み取り失敗または検証エラー
NOT_ACCESSED	キャリア検証済み、現在アクセスなし
IN_ACCESS	キャリアドア開放、基板アクセス可能
CARRIER_COMPLETE	全処理完了、アンロード準備完了

4. 遷移表¶

#	遷移前状態	トリガー	遷移後状態	アクション
1	NOT_INSTANTIATED	キャリアがLPに配置	ID_NOT_READ	ID読み取り開始
2	ID_NOT_READ	ID読み取り成功	ID_VERIFICATION_OK	キャリア情報保存
3	ID_NOT_READ	ID読み取り失敗	ID_VERIFICATION_FAILED	エラー報告
4	ID_VERIFICATION_FAILED	ID読み取り再試行	ID_NOT_READ	再度読み取り試行
5	ID_VERIFICATION_FAILED	キャリア取り外し	NOT_INSTANTIATED	キャリアデータクリア
6	ID_VERIFICATION_OK	アクセス待機	NOT_ACCESSED	キャリア準備完了
7	NOT_ACCESSED	アクセスコマンド	IN_ACCESS	ドア開放、クランプ
8	IN_ACCESS	処理完了	CARRIER_COMPLETE	完了フラグ設定
9	IN_ACCESS	アクセスキャンセル	NOT_ACCESSED	ドア閉鎖
10	CARRIER_COMPLETE	アンロードコマンド	NOT_ACCESSED	取り外し準備
11	NOT_ACCESSED	キャリア取り外し	NOT_INSTANTIATED	キャリアデータクリア
12	CARRIER_COMPLETE	キャリア取り外し	NOT_INSTANTIATED	キャリアデータクリア

5. キャリア属性¶

属性	型	説明
CarrierID	A	一意のキャリア識別子（RFID/バーコードから）
CarrierType	A	キャリアタイプ（FOUP、FOSBなど）
LocationID	A	現在のロードポートID
ContentMap	L	基板存在マップ
SlotCount	U1	キャリア内のスロット数
CarrierState	U1	現在の状態値
AccessMode	U1	現在のアクセスモード

5.1 キャリア状態値¶

値	状態
0	NOT_INSTANTIATED
1	ID_NOT_READ
2	ID_VERIFICATION_OK
3	ID_VERIFICATION_FAILED
4	NOT_ACCESSED
5	IN_ACCESS
6	CARRIER_COMPLETE

6. 関連メッセージ¶

メッセージ	方向	説明
S3F17	H→E	キャリアアクションリクエスト（バインド/バインドキャンセル/処理キャンセル）
S3F18	E→H	キャリアアクション確認応答
S3F25	H→E	キャリアID読み取り/検証
S3F26	E→H	キャリアID読み取り/検証確認応答
S3F27	E→H	キャリアID読み取りレポート
S3F28	H→E	キャリアID読み取りレポート確認応答

6.1 S3F17 - キャリアアクションリクエスト¶

構造：

S3F17 W
<L[5]
  <DATAID>
  <CARRIERACTION>      // 1=Bind, 2=CancelBind, 3=ProceedWithCarrier, 4=CancelCarrier
  <CARRIERID>
  <PORTID>             // PTN（ポート番号）
  <L[n]                // 追加属性
    <L[2]
      <ATTRID>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

CARRIERACTION値：

値	アクション	説明
1	BIND	キャリアIDを位置に関連付け
2	CANCEL_BIND	キャリア関連付け解除
3	PROCEED_WITH_CARRIER	処理続行を許可
4	CANCEL_CARRIER_AT_PORT	キャリア操作をキャンセル
5	CANCEL_CARRIER_NOTIFICATION	キャリア通知をキャンセル

6.2 S3F18 - キャリアアクション確認応答¶

構造：

S3F18
<L[2]
  <CAESSION>           // キャリアアクション結果
  <L[n]                // 属性ごとのステータス
    <L[2]
      <ATTRID>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

7. キャリアID検証¶

7.1 ID読み取りシーケンス¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: キャリアがLPに配置 Equipment->>Host: S3F27 (Carrier ID Read Report) Note right of Equipment: CarrierID="FOUP001"<br/>Status=Success Host-->>Equipment: S3F28 (Acknowledge) Note over Equipment: 状態：ID_VERIFICATION_OK Equipment->>Host: S6F11 (CarrierStateChange) Host-->>Equipment: S6F12

7.2 ID検証失敗¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: ID読み取り失敗 Equipment->>Host: S3F27 (Carrier ID Read Report) Note right of Equipment: Status=Failed Host-->>Equipment: S3F28 Note over Equipment: 状態：ID_VERIFICATION_FAILED opt ホストがIDを提供 Host->>Equipment: S3F17 (BIND, CarrierID) Equipment-->>Host: S3F18 (Success) Note over Equipment: 状態：ID_VERIFICATION_OK end

8. コンテンツマップ（スロットマップ）¶

キャリアコンテンツマップは、各スロットの基板存在を示します。

8.1 スロットマップ値¶

値	説明
0	空スロット
1	基板あり
2	ダブルスロット
3	クロススロット
4	不明

8.2 スロットマップ読み取り（S12F9/F10）¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S12F9 W (Request slot map) Equipment-->>Host: S12F10 (Slot map data) Note left of Equipment: SlotMap=[1,1,1,0,0,1,0,...]

9. 関連収集イベント¶

CEID	名前	説明
`[8001]`	CarrierArrived	キャリアがロードポートに配置
`[8002]`	CarrierRemoved	キャリアがロードポートから取り外し
`[8003]`	CarrierIDRead	キャリアID読み取り成功
`[8004]`	CarrierIDReadFailed	キャリアID読み取り失敗
`[8005]`	CarrierStateChange	キャリア状態遷移
`[8006]`	CarrierAccessing	キャリアがIN_ACCESSに移行
`[8007]`	CarrierComplete	全基板処理完了

10. 関連アラーム¶

ALID	ALTX	カテゴリ	説明
`[8001]`	Carrier ID Read Error	警告	キャリアIDを読み取れない
`[8002]`	Carrier Verify Error	警告	キャリアID不一致
`[8003]`	Carrier Map Error	警告	スロットマップ読み取りエラー

11. 完全キャリアライフサイクル¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment participant AMHS AMHS->>Equipment: FOUPをLP1にデリバリー Note over Equipment: 状態：ID_NOT_READ Equipment->>Host: S3F27 (CarrierID="FOUP001") Host-->>Equipment: S3F28 Note over Equipment: 状態：ID_VERIFICATION_OK Equipment->>Host: S6F11 (CarrierIDRead) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: 状態：NOT_ACCESSED Host->>Equipment: S3F17 (PROCEED_WITH_CARRIER) Equipment-->>Host: S3F18 Note over Equipment: 状態：IN_ACCESS Note over Equipment: 基板処理中... Note over Equipment: 状態：CARRIER_COMPLETE Equipment->>Host: S6F11 (CarrierComplete) Host-->>Equipment: S6F12 Host->>Equipment: S3F17 (Carrier Action - unload) Equipment-->>Host: S3F18 Equipment->>AMHS: ピックアップリクエスト AMHS->>Equipment: FOUP取り外し Note over Equipment: 状態：NOT_INSTANTIATED