ロードポート状態モデル（SEMI E87）¶

1. 概要¶

ロードポート状態モデルは、SEMI E87で規定されている各ロードポート（キャリア装填位置）の動作状態を定義します。

2. ロードポート転送状態図¶

stateDiagram-v2 [*] --> OUT_OF_SERVICE OUT_OF_SERVICE --> IN_SERVICE: サービス有効化 IN_SERVICE --> OUT_OF_SERVICE: サービス無効化 state IN_SERVICE { [*] --> TRANSFER_READY TRANSFER_READY --> TRANSFER_BLOCKED: ブロックコマンド TRANSFER_BLOCKED --> TRANSFER_READY: アンブロックコマンド TRANSFER_READY --> READY_TO_LOAD: ロードリクエスト READY_TO_LOAD --> TRANSFER_READY: キャンセル / タイムアウト READY_TO_LOAD --> TRANSFER_READY: ロード完了 TRANSFER_READY --> READY_TO_UNLOAD: アンロードリクエスト READY_TO_UNLOAD --> TRANSFER_READY: キャンセル / タイムアウト READY_TO_UNLOAD --> TRANSFER_READY: アンロード完了 }

3. ロードポート関連付け状態図¶

stateDiagram-v2 [*] --> NOT_ASSOCIATED NOT_ASSOCIATED --> ASSOCIATED: キャリア配置・検証済み ASSOCIATED --> NOT_ASSOCIATED: キャリア取り外し

4. 状態定義¶

4.1 転送状態¶

状態	説明
OUT_OF_SERVICE	ロードポート無効、転送不可
IN_SERVICE	ロードポート有効
TRANSFER_BLOCKED	転送一時的にブロック
TRANSFER_READY	ロード/アンロード操作準備完了
READY_TO_LOAD	キャリアロード待機中
READY_TO_UNLOAD	キャリアアンロード待機中

4.2 関連付け状態¶

状態	説明
NOT_ASSOCIATED	ロードポートにキャリア関連付けなし
ASSOCIATED	キャリアがロードポートに関連付け

5. 遷移表¶

#	遷移前状態	トリガー	遷移後状態	アクション
1	OUT_OF_SERVICE	有効化コマンド	IN_SERVICE / TRANSFER_READY	LP初期化
2	IN_SERVICE	無効化コマンド	OUT_OF_SERVICE	操作拒否
3	TRANSFER_READY	転送ブロック	TRANSFER_BLOCKED	転送ブロック
4	TRANSFER_BLOCKED	転送アンブロック	TRANSFER_READY	転送許可
5	TRANSFER_READY	ロードリクエスト	READY_TO_LOAD	AMHS通知
6	READY_TO_LOAD	キャリア到着	TRANSFER_READY	キャリア処理
7	READY_TO_LOAD	タイムアウト/キャンセル	TRANSFER_READY	リクエストキャンセル
8	TRANSFER_READY	アンロードリクエスト	READY_TO_UNLOAD	AMHS通知
9	READY_TO_UNLOAD	キャリア取り外し	TRANSFER_READY	LPクリア
10	READY_TO_UNLOAD	タイムアウト/キャンセル	TRANSFER_READY	リクエストキャンセル

6. ロードポート属性¶

属性	型	説明
PortID	U2	ロードポート番号（1、2、...）
TransferState	U1	現在の転送状態
AssociationState	U1	現在の関連付け状態
AccessMode	U1	現在のアクセスモード（アクセスモード章参照）
CarrierID	A	関連付けられたキャリアID（存在する場合）
ReservationState	U1	ホスト/装置による予約

6.1 転送状態値¶

値	状態
0	OUT_OF_SERVICE
1	TRANSFER_BLOCKED
2	TRANSFER_READY
3	READY_TO_LOAD
4	READY_TO_UNLOAD

6.2 関連付け状態値¶

値	状態
0	NOT_ASSOCIATED
1	ASSOCIATED

7. ロードポートコマンド¶

7.1 サービス制御¶

コマンド	効果
EnableLoadPort	OUT_OF_SERVICE → IN_SERVICE
DisableLoadPort	任意 → OUT_OF_SERVICE

7.2 転送制御¶

コマンド	効果
BlockTransfer	TRANSFER_READY → TRANSFER_BLOCKED
UnblockTransfer	TRANSFER_BLOCKED → TRANSFER_READY
RequestLoad	TRANSFER_READY → READY_TO_LOAD
RequestUnload	TRANSFER_READY → READY_TO_UNLOAD
CancelRequest	READY_TO_LOAD/UNLOAD → TRANSFER_READY

8. 関連メッセージ¶

メッセージ	方向	説明
S3F23	H→E	ポートアクションリクエスト
S3F24	E→H	ポートアクション確認応答

8.1 S3F23 - ポートアクションリクエスト¶

構造：

S3F23 W
<L[3]
  <DATAID>
  <PORTACTION>         // アクションコード
  <L[n]                // ポートリスト
    <PORTID>
    ...
  >
>

PORTACTION値：

値	アクション
1	ポート予約
2	予約キャンセル
3	キャリアアウトリクエスト
4	キャリアインリクエスト
5	キャリアアウトキャンセル
6	キャリアインキャンセル

8.2 S3F24 - ポートアクション確認応答¶

構造：

S3F24
<L[2]
  <PORTACTIONRESULT>
  <L[n]                // ポートごとの結果
    <L[2]
      <PORTID>
      <PORTRESULT>
    >
    ...
  >
>

9. ロードシーケンス¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment participant AMHS Note over Equipment: LP1：TRANSFER_READY Host->>Equipment: S3F23 (RequestLoad, Port=1) Equipment-->>Host: S3F24 (Success) Note over Equipment: LP1：READY_TO_LOAD Equipment->>Host: S6F11 (LoadPortStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 Equipment->>AMHS: ロードリクエスト信号 AMHS->>Equipment: キャリアデリバリー Note over Equipment: LP1：TRANSFER_READY Note over Equipment: LP1：ASSOCIATED Equipment->>Host: S6F11 (CarrierArrived) Host-->>Equipment: S6F12

10. アンロードシーケンス¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment participant AMHS Note over Equipment: LP1：TRANSFER_READY, ASSOCIATED Host->>Equipment: S3F23 (RequestUnload, Port=1) Equipment-->>Host: S3F24 (Success) Note over Equipment: LP1：READY_TO_UNLOAD Equipment->>AMHS: アンロードリクエスト信号 AMHS->>Equipment: キャリア取り外し Note over Equipment: LP1：TRANSFER_READY Note over Equipment: LP1：NOT_ASSOCIATED Equipment->>Host: S6F11 (CarrierRemoved) Host-->>Equipment: S6F12

11. 関連収集イベント¶

CEID	名前	説明
`[9001]`	LoadPortStateChange	転送状態変更
`[9002]`	LoadPortAssociated	キャリア関連付け
`[9003]`	LoadPortDisassociated	キャリア取り外し
`[9004]`	LoadPortReserved	ホストによるポート予約
`[9005]`	LoadPortReleased	ポート予約解除

12. 関連状態変数¶

SVID	名前	型	説明
`[9001]`	LoadPort1TransferState	U1	LP1転送状態
`[9002]`	LoadPort1AssociationState	U1	LP1関連付け状態
`[9003]`	LoadPort1CarrierID	A	LP1キャリアID
`[9010]`	LoadPort2TransferState	U1	LP2転送状態
...	...	...	...

13. マルチポート構成¶

パラメータ	値
ロードポート数	`[2]`
ポート番号	1, 2
ポートあたりのキャリア容量	1 FOUP

14. エラー処理¶

エラー条件	応答
ロードタイムアウト	READY_TO_LOAD → TRANSFER_READY
アンロードタイムアウト	READY_TO_UNLOAD → TRANSFER_READY
無効なポート	S3F24エラーコード付き
ポートアウトオブサービス	S3F24エラーコード付き