アクセスモード（SEMI E87）¶

1. 概要¶

アクセスモードは、ロードポートでキャリア/基板操作を開始する権限を持つのが誰かを決定します。これはGEM 200の制御状態（ローカル/リモート）概念に類似していますが、ロードポートレベルで適用されます。

2. アクセスモード状態¶

モード	説明
MANUAL	オペレータが制御権を持つ。ホストコマンドは拒否される。
AUTO	ホストが制御権を持つ。自動操作が許可される。

3. アクセスモード状態図¶

stateDiagram-v2 [*] --> MANUAL MANUAL --> AUTO: ホストがAUTOを要求<br/>かつオペレータ承認 AUTO --> MANUAL: オペレータがMANUALを要求<br/>またはホストがMANUALを要求

4. アクセスモードの動作¶

4.1 MANUALモード¶

MANUALモードでは： - オペレータがキャリアのロード/アンロードを制御 - ホストはキャリア操作を開始できない - ホストは状態とイベントの読み取りは可能 - オペレータは手動で処理を開始可能

4.2 AUTOモード¶

AUTOモードでは： - ホストがキャリア操作を制御 - AMHS統合がアクティブ - 自動キャリアロード/アンロード - ホストがジョブを通じて処理を開始

5. アクセスモード遷移¶

5.1 手動から自動へ¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment participant Operator Note over Equipment: モード：MANUAL Host->>Equipment: S3F21 W (Request AUTO, Port=1) opt オペレータ承認が必要 Equipment->>Operator: モード変更要求 Operator->>Equipment: 承認 end Equipment-->>Host: S3F22 (Success) Note over Equipment: モード：AUTO Equipment->>Host: S6F11 (AccessModeChange) Host-->>Equipment: S6F12

5.2 自動から手動へ¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment participant Operator Note over Equipment: モード：AUTO alt ホスト開始 Host->>Equipment: S3F21 W (Request MANUAL) Equipment-->>Host: S3F22 (Success) else オペレータ開始 Operator->>Equipment: MANUALに切り替え end Note over Equipment: モード：MANUAL Equipment->>Host: S6F11 (AccessModeChange) Host-->>Equipment: S6F12

6. 関連メッセージ¶

6.1 S3F21 - ポートアクセスモード変更リクエスト¶

構造：

S3F21 W
<L[3]
  <DATAID>
  <ACCESSMODE>         // 0=MANUAL, 1=AUTO
  <L[n]                // ポートリスト
    <PORTID>
    ...
  >
>

6.2 S3F22 - ポートアクセスモード変更確認応答¶

構造：

S3F22
<L[2]
  <ACCESSMODERESULT>   // 全体結果
  <L[n]                // ポートごとの結果
    <L[2]
      <PORTID>
      <PORTRESULT>
    >
    ...
  >
>

ACCESSMODERESULT値：

値	説明
0	成功
1	少なくとも1つのポートが失敗
2	全ポートが失敗

7. コマンド受け入れマトリクス¶

コマンド	MANUAL	AUTO
ホストロードリクエスト	拒否	受理
ホストアンロードリクエスト	拒否	受理
オペレータロード	受理	受理
オペレータアンロード	受理	受理
状態照会	受理	受理
イベント報告	アクティブ	アクティブ

8. 関連状態変数¶

SVID	名前	型	説明
`[9101]`	Port1AccessMode	U1	LP1アクセスモード（0=MANUAL, 1=AUTO）
`[9102]`	Port2AccessMode	U1	LP2アクセスモード

9. 関連収集イベント¶

CEID	名前	説明
`[9101]`	AccessModeChange	アクセスモード変更
`[9102]`	AccessModeManual	MANUALに変更
`[9103]`	AccessModeAuto	AUTOに変更

10. デフォルト構成¶

パラメータ	値
初期アクセスモード	`[MANUAL/AUTO]`
AUTOにオペレータ承認必要	`[はい/いいえ]`
ポートごと vs. 装置全体	ポートごと

11. エラー処理¶

エラー条件	応答
キャリア操作進行中	モード変更拒否
オペレータ非承認	モード変更拒否
無効なポート	S3F22でポート固有エラー

12. 制御状態との統合¶

アクセスモードは装置制御状態と連携して動作します：

制御状態	アクセスモード	動作
ONLINE REMOTE	AUTO	完全ホスト自動化
ONLINE REMOTE	MANUAL	ホストリモート、LP手動
ONLINE LOCAL	AUTO	オペレータ制御、LP自動
ONLINE LOCAL	MANUAL	完全オペレータ制御