プロセスジョブ状態モデル（SEMI E40）¶

1. 概要¶

プロセスジョブ（PJ）状態モデルは、SEMI E40（プロセスジョブ管理）で規定されているプロセスジョブのライフサイクルを定義します。プロセスジョブは、特定のレシピを使用して特定の基板を処理する要求を表します。

2. プロセスジョブ状態図¶

stateDiagram-v2 [*] --> QUEUED: Create Job QUEUED --> SETTING_UP: Start command QUEUED --> [*]: Abort / Cancel SETTING_UP --> WAITING_FOR_START: Setup complete SETTING_UP --> PROCESSING: Auto-start SETTING_UP --> ABORTING: Abort command SETTING_UP --> QUEUED: Setup failed WAITING_FOR_START --> PROCESSING: Start command WAITING_FOR_START --> ABORTING: Abort command PROCESSING --> PROCESS_COMPLETE: All substrates done PROCESSING --> PAUSING: Pause command PROCESSING --> ABORTING: Abort command PROCESSING --> STOPPING: Stop command PAUSING --> PAUSED: Pause complete PAUSED --> PROCESSING: Resume command PAUSED --> ABORTING: Abort command STOPPING --> QUEUED: Stop complete ABORTING --> QUEUED: Abort complete (partial) ABORTING --> [*]: Abort complete (full) PROCESS_COMPLETE --> [*]: Job removed

3. 状態定義¶

状態	説明
QUEUED	ジョブ作成済み、開始待ち
SETTING_UP	ジョブ準備中（レシピロード、リソース予約）
WAITING_FOR_START	セットアップ完了、明示的な開始待ち
PROCESSING	ジョブが基板を処理中
PAUSING	ジョブが一時停止状態へ遷移中
PAUSED	ジョブ一時停止中、再開または中止可能
PROCESS_COMPLETE	全基板の処理完了
STOPPING	ジョブが安全ポイントで停止中
ABORTING	ジョブ中止中

4. 遷移表¶

#	遷移前状態	トリガー	遷移後状態	アクション
1	-	PRCreateJob	QUEUED	ジョブインスタンス作成
2	QUEUED	PRStart	SETTING_UP	セットアップ開始
3	QUEUED	PRAbort	(削除)	ジョブ削除
4	SETTING_UP	Setup done	WAITING_FOR_START	開始待ち
5	SETTING_UP	Auto-start	PROCESSING	処理開始
6	SETTING_UP	PRAbort	ABORTING	ジョブ中止
7	SETTING_UP	Fail	QUEUED	エラー報告
8	WAITING_FOR_START	PRStart	PROCESSING	処理開始
9	WAITING_FOR_START	PRAbort	ABORTING	ジョブ中止
10	PROCESSING	Complete	PROCESS_COMPLETE	全完了
11	PROCESSING	PRPause	PAUSING	処理一時停止
12	PROCESSING	PRStop	STOPPING	安全ポイントで停止
13	PROCESSING	PRAbort	ABORTING	処理中止
14	PAUSING	Paused	PAUSED	処理一時停止完了
15	PAUSED	PRResume	PROCESSING	処理再開
16	PAUSED	PRAbort	ABORTING	ジョブ中止
17	STOPPING	Stopped	QUEUED	再開準備完了
18	ABORTING	Aborted	QUEUED/removed	中止処理

5. プロセスジョブ属性¶

属性	型	説明
PRJobID	A	一意のプロセスジョブ識別子
PRState	U1	現在の状態値
PRMtlNameList	L	処理対象基板IDリスト
RecID	A	レシピ識別子
PRMtlType	U1	材料タイプ（キャリア/基板）
PRProcessStart	Boolean	セットアップ後即時開始
PRPauseEvent	L	一時停止をトリガーするイベント
CarrierInputSpec	L	入力キャリア仕様
MtrlOutSpec	L	出力仕様

5.1 プロセスジョブ状態値¶

値	状態
1	QUEUED
2	SETTING_UP
3	WAITING_FOR_START
4	PROCESSING
5	PAUSING
6	PAUSED
7	PROCESS_COMPLETE
8	STOPPING
9	ABORTING

6. 関連メッセージ¶

メッセージ	方向	説明
S16F11	H→E	PRCreateJob - プロセスジョブ作成
S16F12	E→H	PRCreateJob 確認応答
S16F15	H→E	PRMultiCreate - 複数ジョブ作成
S16F16	E→H	PRMultiCreate 確認応答
S16F17	H→E	PRJobStateChange - ジョブコマンド
S16F18	E→H	PRJobStateChange 確認応答
S16F19	H→E	PRGetAllJobs - ジョブリスト取得
S16F20	E→H	PRGetAllJobs データ
S16F21	H→E	PRGetJobInfo - ジョブ詳細取得
S16F22	E→H	PRGetJobInfo データ

6.1 S16F11 - PRCreateJob¶

構造：

S16F11 W
<L[n]
  <DATAID>
  <PRJOBID>
  <PRMTLTYPE>          // 0=Carrier, 1=Substrate
  <L[m]                // 材料名リスト
    <CARRIERID> or <SUBSTRATEID>
    ...
  >
  <L[k]                // プロセスジョブ属性
    <L[2]
      <ATTRID>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

6.2 S16F12 - PRCreateJob 確認応答¶

構造：

S16F12
<L[2]
  <PRJOBID>
  <ACKA>               // 0=成功, 1=失敗
>

6.3 S16F17 - PRJobStateChange¶

構造：

S16F17 W
<L[3]
  <PRCMD>              // コマンド
  <L[n]                // ジョブリスト
    <PRJOBID>
    ...
  >
  <L[m]                // コマンドパラメータ
    <L[2]
      <CPNAME>
      <CPVAL>
    >
    ...
  >
>

PRCMD値：

値	コマンド	説明
1	START	ジョブ開始
2	PAUSE	ジョブ一時停止
3	RESUME	ジョブ再開
4	CANCEL	ジョブキャンセル（QUEUEDから）
5	DEQUEUE	キューからジョブ削除
6	ABORT	ジョブ中止
7	STOP	安全ポイントでジョブ停止

7. プロセスジョブ作成シーケンス¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S16F11 W (PRCreateJob) Note right of Host: PRJobID="JOB001"<br/>RecID="RECIPE001"<br/>MtlList=[SubID1, SubID2] Note over Equipment: ジョブパラメータ検証 Note over Equipment: ジョブインスタンス作成 Equipment-->>Host: S16F12 (ACKA=0, Success) Note over Equipment: 状態：QUEUED Equipment->>Host: S6F11 (ProcessJobCreated) Host-->>Equipment: S6F12

8. プロセスジョブ実行シーケンス¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: 状態：QUEUED Host->>Equipment: S16F17 W (PRCMD=START) Equipment-->>Host: S16F18 (Success) Note over Equipment: 状態：SETTING_UP Equipment->>Host: S6F11 (PRJobStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: レシピロード、リソース準備 Note over Equipment: 状態：PROCESSING Equipment->>Host: S6F11 (PRJobStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 loop 各基板について Note over Equipment: 基板処理 Equipment->>Host: S6F11 (SubstrateProcessed) Host-->>Equipment: S6F12 end Note over Equipment: 状態：PROCESS_COMPLETE Equipment->>Host: S6F11 (PRJobComplete) Host-->>Equipment: S6F12

9. 材料出力仕様（MtrlOutSpec）¶

処理済み基板の行き先を定義：

フィールド	説明
DestPort	出力先ロードポート
DestCarrier	出力先キャリア
DestSlot	出力先スロット

10. 関連収集イベント¶

CEID	名前	説明
`[7001]`	PRJobCreated	プロセスジョブ作成
`[7002]`	PRJobStateChange	プロセスジョブ状態変更
`[7003]`	PRJobComplete	プロセスジョブ完了
`[7004]`	PRJobAborted	プロセスジョブ中止
`[7005]`	PRJobPaused	プロセスジョブ一時停止
`[7006]`	PRJobResumed	プロセスジョブ再開

11. 関連状態変数¶

SVID	名前	型	説明
`[7001]`	ActivePRJobCount	U2	アクティブなプロセスジョブ数
`[7002]`	PRJobList	L	アクティブなジョブIDリスト

12. エラー処理¶

エラー条件	応答
無効なレシピ	S16F12 ACKA=1
無効な基板ID	S16F12 ACKA=1
ジョブ制限超過	S16F12 ACKA=1
コマンドに対する不正状態	S16F18 エラー付き