コントロールジョブ状態モデル（SEMI E94）¶

1. 概要¶

コントロールジョブ（CJ）状態モデルは、SEMI E94（コントロールジョブ管理）で規定されているコントロールジョブのライフサイクルを定義します。コントロールジョブは、1つ以上のプロセスジョブを管理し、スケジューリング制御を提供する上位レベルのジョブです。

2. コントロールジョブ vs プロセスジョブ¶

観点	コントロールジョブ（E94）	プロセスジョブ（E40）
レベル	上位（スケジューリング）	下位（実行）
範囲	複数のPJ	単一レシピ実行
目的	スケジューリング、グループ化	実処理
含有	1..n プロセスジョブ	基板

3. コントロールジョブ状態図¶

stateDiagram-v2 [*] --> QUEUED: Create Job QUEUED --> SELECTED: Select command QUEUED --> [*]: Delete SELECTED --> EXECUTING: Start / Auto-start SELECTED --> QUEUED: Deselect SELECTED --> [*]: Delete EXECUTING --> PAUSED: Pause command EXECUTING --> COMPLETED: All PJs complete EXECUTING --> WAITING_FOR_START: Hold PAUSED --> EXECUTING: Resume command PAUSED --> WAITING_FOR_START: Hold WAITING_FOR_START --> EXECUTING: Start command WAITING_FOR_START --> PAUSED: Pause COMPLETED --> [*]: Job removed

4. 状態定義¶

状態	説明
QUEUED	ジョブ作成済みだが実行選択されていない
SELECTED	ジョブ選択済み、開始準備完了
WAITING_FOR_START	ジョブ保留中、明示的な開始待ち
EXECUTING	ジョブ実行中（プロセスジョブ実行中）
PAUSED	ジョブ実行一時停止中
COMPLETED	全プロセスジョブ完了

5. 遷移表¶

#	遷移前状態	トリガー	遷移後状態	アクション
1	-	CJCreate	QUEUED	ジョブインスタンス作成
2	QUEUED	CJSelect	SELECTED	実行選択
3	QUEUED	CJDelete	(削除)	ジョブ削除
4	SELECTED	CJStart	EXECUTING	プロセスジョブ開始
5	SELECTED	Auto-start	EXECUTING	自動開始
6	SELECTED	CJDeselect	QUEUED	ジョブ選択解除
7	SELECTED	CJDelete	(削除)	ジョブ削除
8	EXECUTING	CJPause	PAUSED	処理一時停止
9	EXECUTING	All PJs done	COMPLETED	ジョブ完了
10	EXECUTING	CJHold	WAITING_FOR_START	実行保留
11	PAUSED	CJResume	EXECUTING	処理再開
12	PAUSED	CJHold	WAITING_FOR_START	実行保留
13	WAITING_FOR_START	CJStart	EXECUTING	実行再開
14	WAITING_FOR_START	CJPause	PAUSED	ジョブ一時停止

6. コントロールジョブ属性¶

属性	型	説明
CJObjID	A	一意のコントロールジョブ識別子
CJState	U1	現在の状態値
ProcessingCtrlSpec	L	処理制御仕様
PRJobList	L	含有プロセスジョブIDリスト
StartMethod	U1	手動/自動開始
DataCollectionPlan	A	関連データ収集計画
MtrlOutSpec	L	材料出力仕様

6.1 コントロールジョブ状態値¶

値	状態
1	QUEUED
2	SELECTED
3	WAITING_FOR_START
4	EXECUTING
5	PAUSED
6	COMPLETED

7. CJ-PJ 関係¶

flowchart TD subgraph ControlJob["Control Job: CJ001"] CJS[State: EXECUTING] end subgraph ProcessJobs["Process Jobs"] PJ1[PJ001<br/>PROCESSING] PJ2[PJ002<br/>QUEUED] PJ3[PJ003<br/>QUEUED] end ControlJob --> PJ1 ControlJob --> PJ2 ControlJob --> PJ3

8. 関連メッセージ¶

メッセージ	方向	説明
S14F9	H→E	CJCreate - コントロールジョブ作成
S14F10	E→H	CJCreate 確認応答
S14F1	H→E	CJGetAttr - ジョブ属性取得
S14F2	E→H	CJGetAttr データ
S14F3	H→E	CJCmd - コントロールジョブコマンド
S14F4	E→H	CJCmd 確認応答

8.1 S14F9 - CJCreate¶

構造：

S14F9 W
<L[n]
  <OBJSPEC>            // オブジェクト指定子
  <L[m]                // 属性
    <L[2]
      <ATTRID>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

8.2 S14F3 - CJCmd（コントロールジョブコマンド）¶

構造：

S14F3 W
<L[n]
  <CJCMD>              // コマンド
  <L[m]                // ジョブリスト
    <CJOBJID>
    ...
  >
  <L[k]                // パラメータ
    ...
  >
>

CJCMD値：

値	コマンド	説明
1	SELECT	実行ジョブ選択
2	DESELECT	ジョブ選択解除
3	START	ジョブ実行開始
4	PAUSE	ジョブ一時停止
5	RESUME	ジョブ再開
6	ABORT	ジョブ中止
7	STOP	安全ポイントでジョブ停止
8	DELETE	ジョブ削除
9	HOLD	ジョブ保留

9. コントロールジョブ実行シーケンス¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S14F9 W (CJCreate) Note right of Host: CJObjID="CJ001"<br/>ProcessJobs=[PJ001, PJ002] Equipment-->>Host: S14F10 (Success) Note over Equipment: CJ状態：QUEUED Host->>Equipment: S14F3 W (SELECT) Equipment-->>Host: S14F4 (Success) Note over Equipment: CJ状態：SELECTED Host->>Equipment: S14F3 W (START) Equipment-->>Host: S14F4 (Success) Note over Equipment: CJ状態：EXECUTING Note over Equipment: PJ001開始 Equipment->>Host: S6F11 (PRJobStarted) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: PJ001完了、PJ002開始 Equipment->>Host: S6F11 (PRJobComplete) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: PJ002完了 Equipment->>Host: S6F11 (PRJobComplete) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: CJ状態：COMPLETED Equipment->>Host: S6F11 (CJComplete) Host-->>Equipment: S6F12

10. ジョブスケジューリング¶

10.1 優先度¶

コントロールジョブにはスケジューリング用の優先度を割り当てられます：

優先度	説明
1	最高優先度
2-9	通常優先度
10	最低優先度

10.2 キュー管理¶

コマンド	効果
SELECT	QUEUEDからSELECTEDへ移動
DESELECT	SELECTEDからQUEUEDへ移動
Move Up	キュー優先度上昇
Move Down	キュー優先度下降

11. 関連収集イベント¶

CEID	名前	説明
`[8001]`	CJCreated	コントロールジョブ作成
`[8002]`	CJStateChange	コントロールジョブ状態変更
`[8003]`	CJSelected	コントロールジョブ選択
`[8004]`	CJStarted	コントロールジョブ開始
`[8005]`	CJCompleted	コントロールジョブ完了
`[8006]`	CJPaused	コントロールジョブ一時停止
`[8007]`	CJResumed	コントロールジョブ再開
`[8008]`	CJAborted	コントロールジョブ中止

12. 関連状態変数¶

SVID	名前	型	説明
`[8001]`	ActiveCJCount	U2	アクティブなコントロールジョブ数
`[8002]`	SelectedCJID	A	現在選択中のコントロールジョブ
`[8003]`	ExecutingCJID	A	現在実行中のコントロールジョブ

13. エラー処理¶

エラー条件	応答
無効なジョブID	OBJACKエラー
コマンドに対する不正状態	S14F4 エラー付き
PJ作成失敗	CJ作成失敗
キュー満杯	S14F10 エラー付き