基板トラッキング（SEMI E90）¶

1. 概要¶

基板トラッキング（SEMI E90）は、装置内を移動する個々の基板（ウェーハ）を追跡する機能を提供し、位置履歴と処理履歴を含みます。

2. トラッキング概念¶

概念	説明
Substrate	処理対象の個別ユニット（ウェーハ）
SubstrateID	各基板の一意識別子
Location	装置内の現在の物理位置
History	移動と処理イベントの記録

3. 基板位置¶

基板は装置内の様々な位置に存在できます：

位置タイプ	例
LoadPort	LP1_Slot01, LP2_Slot15
Aligner	ALIGNER1
Robot Arm	ROBOT1_ARM1, ROBOT2_ARM2
Process Chamber	PM1, PM2, PM3
Buffer	BUFFER1, BUFFER2
Transfer Module	TM_ARM1

4. 基板状態図¶

stateDiagram-v2 [*] --> AT_SOURCE: Mapped in carrier AT_SOURCE --> IN_MOTION: Pick from carrier IN_MOTION --> AT_WORK: Place in chamber AT_WORK --> IN_MOTION: Pick from chamber IN_MOTION --> AT_DESTINATION: Place in carrier AT_DESTINATION --> [*]: Carrier removed IN_MOTION --> LOST: Robot error AT_WORK --> REJECTED: Process failed

5. 基板属性¶

属性	型	説明
SubstrateID	A	一意識別子（例：ウェーハID）
SubstrateIDType	U1	IDタイプ（バーコード、RFID）
SubstrateLocID	A	現在位置
SubstrateLotID	A	親ロットID
SubstrateType	U1	タイプ（製品、ダミー、モニタ）
SubstrateState	U1	現在状態
SubstrateUsage	U1	使用回数
SourceCarrier	A	元のキャリアID
SourceSlot	U1	元のスロット番号

5.1 基板状態値¶

値	状態	説明
0	NOT_INSTANTIATED	未追跡
1	AT_SOURCE	元の位置
2	AT_WORK	処理位置
3	AT_DESTINATION	最終位置
4	IN_MOTION	搬送中
5	NEEDS_PROCESSING	次ステップ準備完了
6	PROCESSED	処理完了
7	REJECTED	失敗/却下
8	STOPPED	処理中停止

5.2 基板タイプ値¶

値	タイプ	説明
0	PRODUCT	生産ウェーハ
1	DUMMY	ダミーウェーハ
2	MONITOR	モニタ/テストウェーハ
3	FILLER	フィラーウェーハ

6. 位置トラッキングイベント¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: ウェーハ W001 は LP1_Slot05 Equipment->>Host: S6F11 (SubstrateLocationChange) Note right of Equipment: SubID=W001 From=LP1_Slot05 To=ROBOT_ARM1 Host-->>Equipment: S6F12 Equipment->>Host: S6F11 (SubstrateLocationChange) Note right of Equipment: SubID=W001 From=ROBOT_ARM1 To=PM1 Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: PM1で処理中... Equipment->>Host: S6F11 (SubstrateLocationChange) Note right of Equipment: SubID=W001 From=PM1 To=ROBOT_ARM1 Host-->>Equipment: S6F12 Equipment->>Host: S6F11 (SubstrateLocationChange) Note right of Equipment: SubID=W001 From=ROBOT_ARM1 To=LP2_Slot05 Host-->>Equipment: S6F12

7. 関連メッセージ¶

メッセージ	方向	説明
S12F1	H→E	Map Data Type 1 リクエスト
S12F2	E→H	Map Data Type 1 レスポンス
S12F3	H→E	Map Data Type 2 リクエスト
S12F4	E→H	Map Data Type 2 レスポンス
S12F5	H→E	Map Data Type 3 リクエスト
S12F6	E→H	Map Data Type 3 レスポンス
S12F7	E→H	Map Data 送信 Type 1
S12F8	H→E	Map Data 確認応答 Type 1
S12F9	E→H	Map Data 送信 Type 2
S12F10	H→E	Map Data 確認応答 Type 2

7.1 Map Data タイプ¶

タイプ	説明	データ
Type 1	Bin サマリー	Bin カウント
Type 2	Slot map	スロット状態
Type 3	Die map	Die レベルデータ

7.2 S12F4 - Map Data Type 2（Slot Map）¶

構造：

S12F4
<L[4]
  <MID>                // 材料ID
  <IDTYP>              // IDタイプ
  <FNLOC>              // 位置
  <L[25]               // 25スロット
    <SLOTSTATUS>       // 0=空, 1=占有, etc.
    ...
  >
>

8. 基板履歴¶

装置は追跡対象の各基板の履歴を保持：

履歴レコード	内容
Timestamp	イベント発生時刻
Event Type	移動、処理、状態変更
Location	イベント発生位置
Details	レシピ、チャンバ、結果

8.1 履歴照会¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: 基板履歴リクエスト Note right of Host: SubstrateID="W001" Equipment-->>Host: 履歴データ Note left of Equipment: [10:00] AT_SOURCE LP1_Slot05 [10:05] IN_MOTION ROBOT [10:06] AT_WORK PM1 [10:30] PROCESSED PM1 [10:31] IN_MOTION ROBOT [10:32] AT_DESTINATION LP2_Slot05

9. 関連収集イベント¶

CEID	名前	説明
`[6001]`	SubstrateLocationChange	基板移動
`[6002]`	SubstrateStateChange	基板状態変更
`[6003]`	SubstrateProcessStart	処理開始
`[6004]`	SubstrateProcessComplete	処理完了
`[6005]`	SubstrateRejected	基板却下
`[6006]`	SubstrateLost	基板位置不明

10. 関連状態変数¶

SVID	名前	型	説明
`[6001]`	SubstrateCount	U2	追跡中の基板総数
`[6002]`	SubstrateLoc_PM1	A	PM1内の基板ID
`[6003]`	SubstrateLoc_PM2	A	PM2内の基板ID
`[6010]`	LastMovedSubstrate	A	最後に移動した基板ID

11. トラッキング構成¶

パラメータ	値
キャリアスロットによる追跡	はい
基板IDによる追跡	`[はい/いいえ]`
履歴保持期間	`[時間/日数]`
リアルタイムイベント	はい

12. エラー処理¶

エラー条件	アクション
基板落下	LOSTとしてマーク、アラーム発報
ID読み取り失敗	スロットベース追跡を使用
二重占有	アラーム発報
基板紛失	LOSTとしてマーク、処理停止