装置端末サービス（SEMI E116）¶

1. 概要¶

装置端末サービス（ETS）は、SEMI E116で規定され、Stream 10メッセージを使用する、ホストから装置への端末通信機能を提供します。これにはオペレータへのメッセージングと表示サービスが含まれます。

2. 端末サービス機能¶

機能	説明
Terminal Display	オペレータにメッセージを表示
Terminal Input	オペレータからの入力を要求
Multi-line Display	フォーマットされた複数行メッセージを表示
Broadcast Messages	全端末にメッセージを送信

3. 端末概念¶

概念	説明
TID	端末ID - 表示端末を識別
TEXT	表示するメッセージテキスト
ACKC10	端末操作の確認応答コード

4. 関連メッセージ¶

メッセージ	方向	説明
S10F1	H→E	端末リクエスト
S10F2	E→H	端末リクエスト確認応答
S10F3	H→E	端末表示、単一行
S10F4	E→H	端末表示、単一行確認応答
S10F5	H→E	端末表示、マルチブロック
S10F6	E→H	端末表示確認応答
S10F7	E→H	端末入力リクエスト
S10F8	H→E	端末入力レスポンス
S10F9	H→E	ブロードキャストメッセージ
S10F10	E→H	ブロードキャスト確認応答

5. 端末表示¶

5.1 単一行表示（S10F3/S10F4）¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S10F3 W Note right of Host: TID=0 TEXT="Process complete" Note over Equipment: メッセージ表示 Equipment-->>Host: S10F4 (ACKC10=0)

S10F3 構造：

S10F3 W
<L[2]
  <TID>                // 端末ID（0 = デフォルト）
  <TEXT>               // メッセージテキスト
>

S10F4 構造：

S10F4
<ACKC10>               // 0=成功

5.2 複数行表示（S10F5/S10F6）¶

S10F5 構造：

S10F5 W
<L[2]
  <TID>
  <L[n]                // 複数行
    <TEXT>             // 1行目
    <TEXT>             // 2行目
    ...
  >
>

5.3 ブロードキャストメッセージ（S10F9/S10F10）¶

全端末に送信：

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S10F9 W Note right of Host: TEXT="Emergency shutdown" Note over Equipment: 全端末に表示 Equipment-->>Host: S10F10 (ACKC10=0)

6. 端末入力¶

6.1 オペレータからの入力要求¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment participant Operator Equipment->>Host: S10F7 W Note left of Equipment: TID=0 TEXT="Enter lot ID:" Note over Host: 入力待ち Operator->>Host: "LOT001" Host-->>Equipment: S10F8 Note right of Host: TEXT="LOT001"

S10F7 構造：

S10F7 W
<L[2]
  <TID>                // 端末ID
  <TEXT>               // プロンプトテキスト
>

S10F8 構造：

S10F8
<TEXT>                 // オペレータ入力

7. ACKC10 レスポンスコード¶

値	説明
0	受理、表示完了
1	端末利用不可
2	メッセージ未表示
3	不明な端末ID

8. 端末タイプ¶

TID	端末	説明
0	Default	メイン装置端末
1	Operator Panel	オペレータインターフェース
2	Engineering	エンジニアリング端末
`[n]`	Custom	装置固有端末

9. 表示フォーマット¶

9.1 対応文字¶

文字セット	対応
ASCII（7ビット）	必須
Extended ASCII	オプション
Unicode	オプション

9.2 表示制限¶

パラメータ	制限
行の長さ	`[80]` 文字
最大行数（複数行）	`[25]` 行
メッセージタイムアウト	`[設定可能]` 秒

10. メッセージ優先度¶

優先度	説明	動作
Normal	標準メッセージ	ビジー時はキュー
High	重要メッセージ	現在の表示を中断
Critical	緊急	即時表示 + アラーム

11. ユースケース¶

11.1 オペレータガイダンス¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S10F5 W Note right of Host: "=== Recipe Change Required ===" "Current: RECIPE_A" "New: RECIPE_B" "Press CONFIRM to proceed" Equipment-->>Host: S10F6 (ACKC10=0)

11.2 アラーム通知¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S10F9 W Note right of Host: "*** ALARM ***" "Chamber pressure out of range" "Action required" Equipment-->>Host: S10F10 (ACKC10=0)

11.3 オペレータ入力要求¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment participant Operator Note over Equipment: オペレータ確認が必要 Equipment->>Host: S10F7 W Note left of Equipment: "Confirm recipe change (Y/N):" Host->>Operator: プロンプト表示 Operator->>Host: "Y" Host-->>Equipment: S10F8 (TEXT="Y")

12. 関連収集イベント¶

CEID	名前	説明
`[5001]`	MessageDisplayed	端末にメッセージ表示
`[5002]`	OperatorInput	オペレータ入力あり
`[5003]`	DisplayTimeout	メッセージ表示タイムアウト

13. 関連状態変数¶

SVID	名前	型	説明
`[5001]`	TerminalCount	U1	端末数
`[5002]`	TerminalAvailable	Boolean	端末表示可能

14. 実装注意事項¶

14.1 メッセージキュー¶

端末ビジー時は装置がメッセージをキューイング
キュー深度：[10] メッセージ
通常優先度はFIFO処理

14.2 タイムアウト処理¶

表示タイムアウト：デフォルト [30] 秒
入力タイムアウト：デフォルト [120] 秒
タイムアウト時は空TEXTのS10F8

14.3 アラームとの統合¶

端末メッセージはアラーム報告と連携可能：

装置がアラーム発報（S5F1）
ホストがガイダンス付き端末メッセージ送信（S10F3）
オペレータが装置で確認
装置がアラームクリア（S5F1 clear）