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メッセージシナリオ

概要

この章では、一般的なSECS/GEM操作の完全なメッセージフローシナリオを提供します。各シナリオには、完全なメッセージシーケンス、データ構造、および予想される応答が含まれています。

シナリオ 1：通信確立

1.1 説明

HSMS接続からオンライン操作までの完全なシーケンス。通信確立、状態照会、およびオンライン遷移を含みます。

1.2 前提条件

  • 装置の電源が入っており、準備完了状態
  • ネットワーク接続が利用可能
  • HSMSパラメータが設定済み

1.3 メッセージフロー

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: フェーズ 1：HSMS接続 H->>E: HSMS Select.req E-->>H: HSMS Select.rsp (Status=0) Note over H,E: フェーズ 2：SECS-II通信 H->>E: S1F13 W (Establish Comm) E-->>H: S1F14 (COMMACK=0, Model, Version) Note over H,E: フェーズ 3：初期状態照会 H->>E: S1F1 W (Are You There) E-->>H: S1F2 (MDLN, SOFTREV) H->>E: S1F3 W (Selected Equipment Status) E-->>H: S1F4 (Status Variables) Note over H,E: フェーズ 4：アラーム照会 H->>E: S5F5 W (List All Alarms) E-->>H: S5F6 (Alarm Definitions) H->>E: S5F7 W (List Enabled Alarms) E-->>H: S5F8 (Active Alarm List) Note over H,E: フェーズ 5：イベント設定 H->>E: S2F33 W (Define Reports) E-->>H: S2F34 (DRACK=0) H->>E: S2F35 W (Link Events) E-->>H: S2F36 (LRACK=0) H->>E: S2F37 W (Enable Events) E-->>H: S2F38 (ERACK=0) Note over H,E: フェーズ 6：オンライン遷移 H->>E: S1F17 W (Request Online) E-->>H: S1F18 (ONLACK=0) Note over H,E: 装置は現在 ONLINE-REMOTE E->>H: S6F11 W (CEID=3, EquipmentOnlineRemote) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

1.4 詳細メッセージ

S1F13 - 通信確立要求： 

S1F13 W
  <L[0]>
.

S1F14 - 通信確立確認： 

S1F14
  <L[2]
    <B[1] 0x00>                     // COMMACK = 受諾
    <L[2]
      <A[15] "GST-PANEL-2000">      // 装置モデル
      <A[10] "V3.2.1.045">          // ソフトウェアバージョン
    >
  >
.

S1F3 - 主要ステータス変数要求： 

S1F3 W
  <L[6]
    <U4 1>                          // Clock
    <U4 2>                          // ControlState
    <U4 3>                          // ProcessState
    <U4 500>                        // ActiveAlarmCount
    <U4 100>                        // EquipmentTemperature
    <U4 200>                        // WaferCount
  >
.

S1F4 - ステータス変数応答： 

S1F4
  <L[6]
    <A[14] "20250101090000">        // Clock
    <U1 2>                          // ControlState = ONLINE-LOCAL
    <U1 1>                          // ProcessState = IDLE
    <U2 0>                          // ActiveAlarmCount = 0
    <F4 23.5>                       // Temperature = 23.5°C
    <U4 0>                          // WaferCount = 0
  >
.

S1F17 - オンライン要求： 

S1F17 W
  <L[0]>
.

S1F18 - オンライン確認： 

S1F18
  <B[1] 0x00>                       // ONLACK = 受諾
.

1.5 エラー処理

エラー COMMACK/ONLACK アクション
装置準備未完了 0x01 待機してS1F13を再試行
既に通信中 0x02 既存の接続を使用
メンテナンスモード 0x02 メンテナンス完了を待機
インターロック有効 0x02 先にインターロックを解除

シナリオ 2：レシピダウンロード

2.1 説明

ホストがプロセスレシピを装置にダウンロードし、後で実行します。

2.2 前提条件

  • 装置がONLINE-REMOTE
  • レシピ保存領域が利用可能
  • 有効なレシピ形式

2.3 メッセージフロー

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: フェーズ 1：照会（オプション） H->>E: S7F19 W (Request PP List) E-->>H: S7F20 (PP Directory) Note over H,E: フェーズ 2：レシピダウンロード H->>E: S7F3 W (Process Program Send) E-->>H: S7F4 (ACKC7=0) Note over H,E: フェーズ 3：検証 H->>E: S7F5 W (Request PP Data) E-->>H: S7F6 (PP Data) Note over H,E: フェーズ 4：確認イベント E->>H: S6F11 W (CEID=405, RecipeDownloaded) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

2.4 詳細メッセージ

S7F19 - プロセスプログラムリスト要求： 

S7F19 W
  <L[0]>                            // 空 = 全レシピ
.

S7F20 - プロセスプログラムリスト応答： 

S7F20
  <L[5]
    <A[20] "RECIPE_PROD_001">
    <A[20] "RECIPE_PROD_002">
    <A[20] "RECIPE_TEST_001">
    <A[20] "RECIPE_MAINT_001">
    <A[20] "RECIPE_QUAL_001">
  >
.

S7F3 - プロセスプログラム送信（ダウンロード）： 

S7F3 W
  <L[2]
    <A[20] "RECIPE_PROD_003">        // レシピID
    <L[10]                           // レシピ本体（ステップ）
      <L[4]                          // ステップ 1
        <U4 1>                       // ステップ番号
        <A[20] "PREHEAT">            // ステップ名
        <L[5]                        // パラメータ
          <L[2]
            <A[15] "TEMP_SETPOINT">
            <F4 150.0>               // 150°C
          >
          <L[2]
            <A[15] "RAMP_RATE">
            <F4 10.0>                // 10°C/min
          >
          <L[2]
            <A[15] "HOLD_TIME">
            <U4 60>                  // 60秒
          >
          <L[2]
            <A[15] "PRESSURE">
            <F4 760.0>               // 760 Torr
          >
          <L[2]
            <A[15] "GAS_FLOW">
            <F4 100.0>               // 100 sccm
          >
        >
        <U4 120>                     // ステップ時間（秒）
      >
      <L[4]                          // ステップ 2
        <U4 2>                       // ステップ番号
        <A[20] "PROCESS">            // ステップ名
        <L[6]                        // パラメータ
          <L[2]
            <A[15] "TEMP_SETPOINT">
            <F4 200.0>               // 200°C
          >
          <L[2]
            <A[15] "PRESSURE">
            <F4 0.1>                 // 0.1 Torr（真空）
          >
          <L[2]
            <A[15] "RF_POWER">
            <F4 500.0>               // 500 W
          >
          <L[2]
            <A[15] "GAS1_FLOW">
            <F4 50.0>                // 50 sccm
          >
          <L[2]
            <A[15] "GAS2_FLOW">
            <F4 25.0>                // 25 sccm
          >
          <L[2]
            <A[15] "HOLD_TIME">
            <U4 300>                 // 300秒
          >
        >
        <U4 360>                     // ステップ時間（秒）
      >
      // ... 追加ステップ ...
    >
  >
.

S7F4 - プロセスプログラム確認： 

S7F4
  <B[1] 0x00>                       // ACKC7 = 受諾
.

2.5 ACKC7 エラーコード

ACKC7 説明 復旧アクション
0x00 受諾 なし
0x01 権限拒否 アクセスモードを確認
0x02 長さエラー レシピサイズを確認
0x03 マトリクスオーバーフロー 未使用レシピを削除
0x04 PP構文エラー レシピ形式を修正
0x05 重複PP ID 別名を使用または先に削除
0x06 検証エラー ダウンロードを再試行

シナリオ 3：レシピアップロード

3.1 説明

ホストが装置からプロセスレシピを要求します。

3.2 メッセージフロー

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment H->>E: S7F5 W (Request PP Data) E-->>H: S7F6 (PP Data) Note over H,E: オプション：受信確認 E->>H: S6F11 W (CEID=404, RecipeUploaded) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

3.3 詳細メッセージ

S7F5 - プロセスプログラム要求： 

S7F5 W
  <A[20] "RECIPE_PROD_001">          // アップロードするレシピID
.

S7F6 - プロセスプログラムデータ： 

S7F6
  <L[2]
    <A[20] "RECIPE_PROD_001">        // レシピID
    <L[n]                            // レシピ本体
      // ... レシピ内容 ...
    >
  >
.

シナリオ 4：ホスト開始によるプロセス実行

4.1 説明

ホストが装置上でプロセスジョブを開始し、実行を監視し、完了通知を受信します。

4.2 前提条件

  • 装置がONLINE-REMOTE
  • レシピがロード済み
  • ロードポートにマテリアルが存在

4.3 メッセージフロー

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: フェーズ 1：レシピ選択 H->>E: S2F41 W (RCMD=PP-SELECT, Recipe ID) E-->>H: S2F42 (HCACK=0) E->>H: S6F11 W (CEID=400, RecipeSelected) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H,E: フェーズ 2：プロセス開始 H->>E: S2F41 W (RCMD=START) E-->>H: S2F42 (HCACK=0) E->>H: S6F11 W (CEID=101, ProcessStarted) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H,E: フェーズ 3：プロセス実行 loop 各ステップ E->>H: S6F11 W (CEID=106, ProcessStepChange) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) end Note over H,E: フェーズ 4：プロセス完了 E->>H: S6F11 W (CEID=102, ProcessCompleted) Note right of E: プロセス結果、<br/>時間、カウントを含む H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

4.4 詳細メッセージ

S2F41 - リモートコマンド（PP-SELECT）： 

S2F41 W
  <L[2]
    <A[10] "PP-SELECT">             // リモートコマンド
    <L[1]
      <L[2]
        <A[8] "RecipeID">           // パラメータ名
        <A[20] "RECIPE_PROD_001">   // 選択するレシピ
      >
    >
  >
.

S2F42 - リモートコマンド確認： 

S2F42
  <L[2]
    <B[1] 0x00>                     // HCACK = 受諾
    <L[0]>                          // 追加ステータスなし
  >
.

S2F41 - リモートコマンド（START）： 

S2F41 W
  <L[2]
    <A[5] "START">                  // リモートコマンド
    <L[2]
      <L[2]
        <A[5] "LotID">
        <A[20] "LOT_2025_0001">
      >
      <L[2]
        <A[10] "SubstrateCount">
        <U4 25>
      >
    >
  >
.

S6F11 - プロセス開始イベント： 

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 10001>                      // DATAID
    <U4 101>                        // CEID = ProcessStarted
    <L[1]
      <L[2]
        <U4 21>                     // RPTID = RPT_ProcessStart
        <L[5]
          <A[14] "20250101100000">  // Clock
          <A[20] "PJOB_001">        // ProcessJobID
          <A[20] "RECIPE_PROD_001"> // RecipeID
          <A[20] "LOT_2025_0001">   // LotID
          <U4 25>                   // SubstrateCount
        >
      >
    >
  >
.

S6F11 - プロセス完了イベント： 

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 10002>                      // DATAID
    <U4 102>                        // CEID = ProcessCompleted
    <L[2]
      <L[2]
        <U4 20>                     // RPTID = RPT_ProcessState
        <L[2]
          <A[14] "20250101103000">  // Clock
          <U1 1>                    // ProcessState = IDLE
        >
      >
      <L[2]
        <U4 22>                     // RPTID = RPT_ProcessEnd
        <L[9]
          <A[14] "20250101103000">  // Clock
          <A[20] "PJOB_001">        // ProcessJobID
          <A[20] "RECIPE_PROD_001"> // RecipeID
          <A[20] "LOT_2025_0001">   // LotID
          <U4 1800>                 // ProcessTime（30分）
          <U1 0>                    // ProcessResult = OK
          <U4 25>                   // ProcessedCount
          <U4 24>                   // GoodCount
          <U4 1>                    // BadCount
        >
      >
    >
  >
.

シナリオ 5：プロセス中止

5.1 説明

ホストまたはオペレータが実行中のプロセスを中止します。

5.2 メッセージフロー

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over E: プロセス実行中 H->>E: S2F41 W (RCMD=ABORT) E-->>H: S2F42 (HCACK=0) Note over E: 装置がプロセスを安全に停止 E->>H: S6F11 W (CEID=103, ProcessAborted) Note right of E: 部分結果を含む H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) E->>H: S6F11 W (CEID=110, ProcessIdleEntered) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

5.3 詳細メッセージ

S2F41 - リモートコマンド（ABORT）： 

S2F41 W
  <L[2]
    <A[5] "ABORT">                  // リモートコマンド
    <L[0]>                          // パラメータなし
  >
.

S6F11 - プロセス中止イベント： 

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 10003>                      // DATAID
    <U4 103>                        // CEID = ProcessAborted
    <L[1]
      <L[2]
        <U4 22>                     // RPTID = RPT_ProcessEnd
        <L[9]
          <A[14] "20250101101500">  // Clock
          <A[20] "PJOB_001">        // ProcessJobID
          <A[20] "RECIPE_PROD_001"> // RecipeID
          <A[20] "LOT_2025_0001">   // LotID
          <U4 900>                  // ProcessTime（部分）
          <U1 2>                    // ProcessResult = Aborted
          <U4 12>                   // ProcessedCount（部分）
          <U4 11>                   // GoodCount
          <U4 1>                    // BadCount
        >
      >
    >
  >
.

シナリオ 6：キャリア処理（ロード/アンロード）

6.1 説明

到着から出発までの完全なキャリア（FOUP/カセット）処理シーケンス。

6.2 メッセージフロー

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: フェーズ 1：キャリア到着 Note over E: キャリアがロードポート1に配置 E->>H: S6F11 W (CEID=200, MaterialReceived) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H,E: フェーズ 2：キャリアID読み取り E->>H: S6F11 W (CEID=208, CarrierIDRead) Note right of E: CarrierIDを含む H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H,E: フェーズ 3：スロットマッピング E->>H: S6F11 W (CEID=202, SlotMapRead) Note right of E: スロットマップを含む H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H,E: フェーズ 4：ホストがキャリアを検証 H->>E: S3F17 W (Carrier Action - PROCEED) E-->>H: S3F18 (CAACK=0) Note over H,E: フェーズ 5：基板処理 Note over E: ... 処理中 ... Note over H,E: フェーズ 6：キャリア完了 H->>E: S3F17 W (Carrier Action - CARRIER_OUT) E-->>H: S3F18 (CAACK=0) E->>H: S6F11 W (CEID=201, MaterialRemoved) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

6.3 詳細メッセージ

S6F11 - マテリアル受信イベント： 

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 20001>                      // DATAID
    <U4 200>                        // CEID = MaterialReceived
    <L[1]
      <L[2]
        <U4 40>                     // RPTID = RPT_Material
        <L[5]
          <A[14] "20250101080000">  // Clock
          <A[20] "">                // CarrierID（未読み取り）
          <A[20] "">                // LotID（不明）
          <U1 1>                    // PortID = 1
          <U1 1>                    // MaterialStatus = Present
        >
      >
    >
  >
.

S6F11 - キャリアID読み取りイベント： 

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 20002>                      // DATAID
    <U4 208>                        // CEID = CarrierIDRead
    <L[1]
      <L[2]
        <U4 42>                     // RPTID = RPT_Carrier
        <L[5]
          <A[14] "20250101080010">  // Clock
          <A[20] "FOUP_A001">       // CarrierID
          <A[10] "FOUP-300">        // CarrierType
          <U1 2>                    // CarrierState = ID_VERIFIED
          <L[0]>                    // ContentMap（マッピング前は空）
        >
      >
    >
  >
.

S6F11 - スロットマップ読み取りイベント： 

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 20003>                      // DATAID
    <U4 202>                        // CEID = SlotMapRead
    <L[1]
      <L[2]
        <U4 41>                     // RPTID = RPT_SlotMap
        <L[5]
          <A[14] "20250101080030">  // Clock
          <A[20] "FOUP_A001">       // CarrierID
          <U1 1>                    // PortID
          <L[25]                    // SlotMap（25スロット）
            <U1 3>                  // スロット1：基板あり
            <U1 3>                  // スロット2：基板あり
            <U1 3>                  // スロット3：基板あり
            <U1 1>                  // スロット4：空
            <U1 3>                  // スロット5：基板あり
            // ... 残りのスロット ...
            <U1 1>                  // スロット25：空
          >
          <U4 20>                   // SubstrateCount = 20
        >
      >
    >
  >
.

6.4 スロットマップ値

値 説明
0 未定義
1 空
2 非空（未確認）
3 正常占有
4 ダブルスロット
5 クロススロット

シナリオ 7：アラーム処理

7.1 説明

検出からクリアまでの完全なアラームライフサイクル。

7.2 メッセージフロー

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over E: 温度が警告限界を超過 E->>H: S5F1 W (Alarm Set: Temp High Warning) H-->>E: S5F2 (ACKC5=0) E->>H: S6F11 W (CEID=300, AlarmSet) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H: ホストがオペレータにアラームを表示 Note over H,E: アクティブアラームの照会 H->>E: S5F7 W (List Enabled Alarms) E-->>H: S5F8 (Active Alarm List) Note over E: 条件が正常に戻る E->>H: S5F1 W (Alarm Clear: Temp High Warning) H-->>E: S5F2 (ACKC5=0) E->>H: S6F11 W (CEID=301, AlarmCleared) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

7.3 詳細メッセージ

S5F1 - アラーム設定： 

S5F1 W
  <L[3]
    <B[1] 0x83>                     // ALCD = 設定 + カテゴリ3（警告）
    <U4 3001>                       // ALID = 温度高警告
    <A[45] "Temperature High Warning: Zone 1 = 175.5C (Limit: 170C)">
  >
.

S5F1 - アラームクリア： 

S5F1 W
  <L[3]
    <B[1] 0x03>                     // ALCD = クリア + カテゴリ3
    <U4 3001>                       // ALID
    <A[35] "Temperature Normal: Zone 1 = 165.2C">
  >
.

シナリオ 8：装置定数変更

8.1 説明

ホストが装置設定パラメータを変更します。

8.2 メッセージフロー

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: フェーズ 1：現在値の照会 H->>E: S2F13 W (Equipment Constant Request) E-->>H: S2F14 (Current EC Values) Note over H,E: フェーズ 2：値の変更 H->>E: S2F15 W (New Equipment Constant) E-->>H: S2F16 (EAC=0, Accepted) Note over H,E: フェーズ 3：変更確認 E->>H: S6F11 W (CEID=600, EquipmentConstantChange) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

8.3 詳細メッセージ

S2F13 - 装置定数要求： 

S2F13 W
  <L[4]
    <U4 100>                        // ECID: T3タイムアウト
    <U4 101>                        // ECID: T6タイムアウト
    <U4 102>                        // ECID: T7タイムアウト
    <U4 200>                        // ECID: プロセス温度限界
  >
.

S2F14 - 装置定数データ： 

S2F14
  <L[4]
    <U4 45>                         // T3 = 45秒
    <U4 5>                          // T6 = 5秒
    <U4 10>                         // T7 = 10秒
    <F4 200.0>                      // 温度限界 = 200°C
  >
.

S2F15 - 新装置定数： 

S2F15 W
  <L[2]
    <L[2]
      <U4 100>                      // ECID: T3タイムアウト
      <U4 60>                       // 新値：60秒
    >
    <L[2]
      <U4 200>                      // ECID: プロセス温度限界
      <F4 220.0>                    // 新値：220°C
    >
  >
.

S2F16 - 新装置定数確認： 

S2F16
  <B[1] 0x00>                       // EAC = 受諾
.

8.4 EAC エラーコード

EAC 説明
0x00 OK
0x01 ECが存在しない
0x02 値が範囲外
0x03 ビジー、後で再試行

シナリオ 9：時刻同期

9.1 説明

ホストが装置の時刻を同期します。

9.2 メッセージフロー

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: 現在時刻の照会 H->>E: S2F17 W (Date and Time Request) E-->>H: S2F18 (Current Time) Note over H: ホストがドリフトを計算 Note over H,E: 新時刻の設定 H->>E: S2F31 W (Date and Time Set) E-->>H: S2F32 (TIACK=0) E->>H: S6F11 W (CEID=601, ClockSync) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

9.3 詳細メッセージ

S2F17 - 日時要求： 

S2F17 W
  <L[0]>
.

S2F18 - 日時データ： 

S2F18
  <A[14] "20250101120530">          // YYYYMMDDHHmmss
.

S2F31 - 日時設定： 

S2F31 W
  <A[14] "20250101120600">          // 設定する新時刻
.

S2F32 - 日時設定確認： 

S2F32
  <B[1] 0x00>                       // TIACK = OK
.

シナリオ 10：ターミナルサービス（オペレータメッセージ）

10.1 説明

ホストが装置のオペレータディスプレイにメッセージを送信します。

10.2 メッセージフロー

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment H->>E: S10F3 W (Terminal Display, Single) E-->>H: S10F4 (ACKC10=0) Note over E: オペレータターミナルに<br/>メッセージ表示 Note over E: オペレータが確認 E->>H: S10F1 (Terminal Request) H-->>E: S10F2 (Acknowledgement)

10.3 詳細メッセージ

S10F3 - ターミナル表示（単一）： 

S10F3 W
  <L[2]
    <U1 0>                          // TID = ターミナル0（メイン）
    <A[80] "ATTENTION: Lot LOT_2025_0001 requires visual inspection before continuing.">
  >
.

S10F4 - ターミナル表示（単一）確認： 

S10F4
  <B[1] 0x00>                       // ACKC10 = 受諾
.

S10F5 - ターミナル表示（マルチブロック）： 

S10F5 W
  <L[2]
    <U1 0>                          // TID
    <L[3]
      <A[60] "=== MAINTENANCE NOTIFICATION ===">
      <A[60] "PM #3 is due in 100 wafers.">
      <A[60] "Please schedule maintenance window.">
    >
  >
.

シナリオ 11：通信障害時のスプーリング

11.1 説明

装置がホスト通信障害時にメッセージをスプールし、接続復旧時に送信します。

11.2 メッセージフロー

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: 通常動作 E->>H: S6F11 W (CEID=102) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H,E: 通信喪失 Note over E: 装置がT3タイムアウトを検出 Note over E: スプーリング有効化 E->>H: S6F11 W (CEID=102) Note right of E: 応答なし - メッセージをスプール Note over E: イベントのスプールが継続... Note over H,E: 通信復旧 H->>E: S1F13 W (Establish Comm) E-->>H: S1F14 (COMMACK=0) Note over H,E: スプールステータスの照会 H->>E: S2F43 W (Reset Spooling) E-->>H: S2F44 (RSPACK=0) Note over H,E: スプールデータの送信 H->>E: S6F23 W (Request Spooled Data) E-->>H: S6F24 (RSDC=0) loop 各スプールメッセージ E->>H: S6F11 W (Spooled Event) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) end E->>H: S6F11 W (CEID=8, SpoolingDeactivated) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

11.3 詳細メッセージ

S2F43 - スプーリングリセット： 

S2F43 W
  <L[2]
    <U1 1>                          // RSESSION: 1=ストリームをリセット
    <L[0]>                          // 空 = 全ストリーム
  >
.

S6F23 - スプールデータ要求： 

S6F23 W
  <U1 1>                            // RSDC: 1=送信
.

シナリオ 12：マルチブロックメッセージ処理

12.1 説明

S13マルチブロック照会/許可プロトコルを使用した、シングルブロックサイズを超える大規模メッセージの処理。

12.2 メッセージフロー

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over E: 装置が送信する大量データを保有 E->>H: S13F1 W (Send Multi-Block Inquire) H-->>E: S13F2 (Grant=0, OK to send) E->>H: S6F11 W (Large Event Data) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

12.3 詳細メッセージ

S13F1 - マルチブロック送信照会： 

S13F1 W
  <L[4]
    <U4 12345>                      // DATAID
    <U1 6>                          // DESSION = Stream 6
    <U1 11>                         // DESSION = Function 11
    <U4 50000>                      // MLENGTH = 50000バイト
  >
.

S13F2 - マルチブロック送信許可： 

S13F2
  <B[1] 0x00>                       // GRANT = OK
.

GRANT 説明
0x00 OK、マルチブロックメッセージを送信
0x01 拒否、ビジー後で再試行
0x02 拒否、空き領域不足

シナリオサマリー表

シナリオ 主要メッセージ 方向 複雑度
通信確立 S1F13/14, S1F17/18 H→E 基本
レシピダウンロード S7F3/4 H→E 中
レシピアップロード S7F5/6 H←E 中
プロセス実行 S2F41/42, S6F11/12 H↔E 上級
プロセス中止 S2F41/42 H→E 中
キャリア処理 S6F11/12, S3F17/18 H↔E 上級
アラーム処理 S5F1/2, S6F11/12 E→H 中
装置定数 S2F13/14, S2F15/16 H→E 基本
時刻同期 S2F17/18, S2F31/32 H→E 基本
ターミナルサービス S10F3/4 H→E 基本
スプーリング S2F43/44, S6F23/24 H↔E 上級
マルチブロック S13F1/2 E→H 中