GEM 300 メッセージストリーム¶

概要¶

GEM 300 は、キャリア管理、基板追跡、オブジェクトサービス、ジョブ管理のために追加のメッセージストリームを使用します。

ストリーム概要¶

ストリーム	説明	関連規格
S3	マテリアルステータス	E87 (CMS)
S12	ウェハマッピング	E87/E90
S14	オブジェクトサービス	E39/E94
S16	プロセスジョブ	E40

Stream 3 - マテリアルステータス (E87)¶

主要メッセージ¶

メッセージ	名称	方向	説明
S3F17	Carrier Action Request	H→E	キャリアアクションコマンド
S3F18	Carrier Action Acknowledge	E→H	アクション応答
S3F21	Port Access Mode Change	H→E	アクセスモード変更
S3F22	Port Access Mode Ack	E→H	モード変更応答
S3F23	Port Action Request	H→E	ポートアクションコマンド
S3F24	Port Action Acknowledge	E→H	アクション応答
S3F25	Carrier ID Verify	H→E	キャリアID検証
S3F26	Carrier ID Verify Ack	E→H	検証応答
S3F27	Carrier ID Report	E→H	キャリアID報告
S3F28	Carrier ID Report Ack	H→E	報告確認

S3F17 - Carrier Action Request¶

構造¶

S3F17 W
<L[5]
  <DATAID U4>
  <CARRIERACTION U1>
  <CARRIERID A>
  <PORTID U1>
  <L[n]              // 属性
    <L[2]
      <ATTRID A>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

CARRIERACTION値¶

値	アクション
1	BIND
2	CANCEL_BIND
3	PROCEED_WITH_CARRIER
4	CANCEL_CARRIER_AT_PORT
5	CANCEL_CARRIER_NOTIFICATION

S3F21 - Port Access Mode Change¶

構造¶

S3F21 W
<L[3]
  <DATAID U4>
  <ACCESSMODE U1>    // 0=MANUAL, 1=AUTO
  <L[n]
    <PORTID U1>
    ...
  >
>

S3F27 - Carrier ID Report¶

構造¶

S3F27 W
<L[4]
  <PORTID U1>
  <CARRIERID A>
  <IDREADSTATUS U1>  // 0=成功, 1=失敗
  <L[n]              // 追加属性
    <L[2]
      <ATTRID A>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

Stream 12 - ウェハマッピング¶

主要メッセージ¶

メッセージ	名称	方向	説明
S12F1	Map Data Type 1 Request	H→E	ビン集計要求
S12F2	Map Data Type 1	E→H	ビン集計返却
S12F3	Map Data Type 2 Request	H→E	スロットマップ要求
S12F4	Map Data Type 2	E→H	スロットマップ返却
S12F5	Map Data Type 3 Request	H→E	ダイマップ要求
S12F6	Map Data Type 3	E→H	ダイマップ返却
S12F7	Map Data Send Type 1	E→H	ビン集計送信
S12F8	Map Data Ack Type 1	H→E	確認
S12F9	Map Data Send Type 2	E→H	スロットマップ送信
S12F10	Map Data Ack Type 2	H→E	確認

S12F4 - Map Data Type 2 (スロットマップ)¶

構造¶

S12F4
<L[4]
  <MID A>            // マテリアルID
  <IDTYP U1>         // IDタイプ
  <FNLOC U2>         // 機能位置
  <L[n]              // スロット状態（nスロット）
    <SLOTSTATUS U1>  // スロット毎の状態
    ...
  >
>

SLOTSTATUS値¶

値	状態
0	空
1	占有
2	ダブルスロット
3	クロススロット
4	不明

Stream 14 - オブジェクトサービス (E39/E94)¶

主要メッセージ¶

メッセージ	名称	方向	説明
S14F1	Get Attributes Request	H→E	オブジェクト属性照会
S14F2	Get Attributes Data	E→H	属性返却
S14F3	Object Command	H→E	オブジェクトコマンド
S14F4	Object Command Ack	E→H	コマンド応答
S14F9	Create Object Request	H→E	オブジェクト作成 (CJ)
S14F10	Create Object Ack	E→H	作成応答

S14F3 - Object Command (コントロールジョブ)¶

構造¶

S14F3 W
<L[3]
  <OBJSPEC A>        // オブジェクト指定子
  <CJCMD U1>         // コマンド
  <L[n]              // パラメータ
    <L[2]
      <CPNAME A>
      <CPVAL>
    >
    ...
  >
>

CJCMD値¶

値	コマンド
1	SELECT
2	DESELECT
3	START
4	PAUSE
5	RESUME
6	ABORT
7	STOP
8	DELETE
9	HOLD

S14F9 - Create Object Request¶

構造¶

S14F9 W
<L[2]
  <OBJSPEC A>
  <L[n]              // 属性
    <L[2]
      <ATTRID A>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

Stream 16 - プロセスジョブ (E40)¶

主要メッセージ¶

メッセージ	名称	方向	説明
S16F11	PRCreateJob	H→E	プロセスジョブ作成
S16F12	PRCreateJob Ack	E→H	作成応答
S16F15	PRMultiCreate	H→E	複数ジョブ作成
S16F16	PRMultiCreate Ack	E→H	複数作成応答
S16F17	PRJobCommand	H→E	ジョブコマンド
S16F18	PRJobCommand Ack	E→H	コマンド応答
S16F19	PRGetAllJobs	H→E	ジョブリスト取得
S16F20	PRGetAllJobs Data	E→H	ジョブリスト返却
S16F21	PRGetJobInfo	H→E	ジョブ詳細取得
S16F22	PRGetJobInfo Data	E→H	ジョブ詳細返却

S16F11 - PRCreateJob¶

構造¶

S16F11 W
<L[5]
  <DATAID U4>
  <PRJOBID A>        // プロセスジョブID
  <PRMTLTYPE U1>     // 0=キャリア, 1=基板
  <L[n]              // マテリアルリスト
    <MTLID A>
    ...
  >
  <L[m]              // 属性
    <L[2]
      <ATTRID A>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

共通属性¶

属性	説明
RecID	レシピID
PRProcessStart	自動開始フラグ
CarrierInputSpec	入力キャリア仕様
MtrlOutSpec	マテリアル出力仕様

S16F17 - PRJobCommand¶

構造¶

S16F17 W
<L[3]
  <PRCMD U1>         // コマンド
  <L[n]              // ジョブリスト
    <PRJOBID A>
    ...
  >
  <L[m]              // パラメータ
    <L[2]
      <CPNAME A>
      <CPVAL>
    >
    ...
  >
>

PRCMD値¶

値	コマンド
1	START
2	PAUSE
3	RESUME
4	CANCEL
5	DEQUEUE
6	ABORT
7	STOP

S16F18 - PRJobCommand Acknowledge¶

構造¶

S16F18
<L[2]
  <ACKA B[1]>        // 0=成功, 1=失敗
  <L[n]              // ジョブ毎の結果
    <L[2]
      <PRJOBID A>
      <PRJOBRESULT U1>
    >
    ...
  >
>

共通応答コード¶

OBJACK (オブジェクト確認)¶

値	説明
0	成功
1	無効なオブジェクトタイプ
2	オブジェクトが見つからない
3	無効な属性
4	読み取り専用属性
5	無効なフォーマット

ACKA (確認A)¶

値	説明
0	成功
1	失敗