Stream 1 - 装置状態¶

概要¶

Stream 1 メッセージは、装置状態要求、オンライン/オフライン制御、および通信確立を処理します。これらはホスト・装置間通信の基本メッセージです。

メッセージ一覧¶

メッセージ	名称	方向	W-Bit	説明
S1F1/F2	Are You There	H↔E	W	通信確認
S1F3/F4	Selected Equipment Status	H→E	W	特定SV値の要求
S1F11/F12	Status Variable Namelist	H→E	W	SV定義の要求
S1F13/F14	Establish Communications	H↔E	W	SECS-II接続確立
S1F15/F16	Request Off-Line	H→E	W	オフラインへ移行
S1F17/F18	Request On-Line	H→E	W	オンラインへ移行

S1F1 - Are You There Request¶

属性	値
方向	H↔E（双方向）
応答	S1F2
W-Bit	必須
マルチブロック	不可

メッセージ構造¶

S1F1 W
  <L[0]>
.

データ項目¶

データ項目なし - 空リスト

説明¶

通信相手が応答しているか確認するために使用します。このメッセージは一般的に以下の目的で使用されます： - 通信ハートビート/キープアライブ - HSMS確立後の初期接続テスト - 通信タイムアウト後の復旧確認

実装上の注意¶

タイミング要件

装置はT3タイムアウト内（通常45秒）にS1F2で応答する必要があります
推奨ハートビート間隔：30-60秒
応答がない場合は通信復旧をトリガーする必要があります

S1F2 - On Line Data（応答）¶

属性	値
方向	H↔E（双方向）
応答先	S1F1
W-Bit	不要
マルチブロック	不可

メッセージ構造¶

S1F2
  <L[2]
    <MDLN>                    // 装置モデルタイプ
    <SOFTREV>                 // ソフトウェアリビジョンコード
  >
.

データ項目¶

項目	形式	長さ	説明
MDLN	A	1-20	装置モデルタイプ識別子
SOFTREV	A	1-20	装置ソフトウェアリビジョン

例¶

S1F2
  <L[2]
    <A[12] "GST-PNL-2000">    // モデル：パネルディスプレイ装置
    <A[8] "V2.1.045">         // ソフトウェアバージョン
  >
.

ゼロ長応答¶

装置がモデル情報を提供できない場合：

S1F2
  <L[0]>
.

S1F3 - Selected Equipment Status Request¶

属性	値
方向	H→E
応答	S1F4
W-Bit	必須
マルチブロック	可能（多数のSVID時）

メッセージ構造¶

S1F3 W
  <L[n]                       // n = 要求するSVの数
    <SVID>                    // 状態変数ID 1
    <SVID>                    // 状態変数ID 2
    ...
    <SVID>                    // 状態変数ID n
  >
.

データ項目¶

項目	形式	長さ	説明
SVID	U1/U2/U4/U8	1/2/4/8	状態変数ID

全SVの要求¶

空リストは定義済みのすべての状態変数を要求します：

S1F3 W
  <L[0]>
.

例 - 特定SV¶

S1F3 W
  <L[8]
    <U4 1>                    // Clock
    <U4 2>                    // ControlState
    <U4 3>                    // ProcessState
    <U4 100>                  // EquipmentTemp
    <U4 101>                  // ChamberPressure
    <U4 102>                  // GasFlow
    <U4 200>                  // WaferCount
    <U4 201>                  // CurrentRecipe
  >
.

S1F4 - Selected Equipment Status Data（応答）¶

属性	値
方向	E→H
応答先	S1F3
W-Bit	不要
マルチブロック	可能

メッセージ構造¶

S1F4
  <L[n]                       // 要求と同じn
    <SV>                      // SVID 1の値
    <SV>                      // SVID 2の値
    ...
    <SV>                      // SVID nの値
  >
.

データ項目¶

項目	形式	長さ	説明
SV	可変	可変	状態変数値（タイプはSV定義による）

応答例¶

S1F4
  <L[8]
    <A[14] "20250101120000">  // Clock（YYYYMMDDHHmmss）
    <U1 5>                    // ControlState = ONLINE-REMOTE
    <U1 1>                    // ProcessState = IDLE
    <F4 23.5>                 // EquipmentTemp = 23.5°C
    <F4 760.2>                // ChamberPressure = 760.2 Torr
    <F4 100.0>                // GasFlow = 100.0 sccm
    <U4 1250>                 // WaferCount = 1250
    <A[20] "RECIPE_PROD_001"> // CurrentRecipe
  >
.

エラー処理¶

SVIDが見つからない場合、その位置に空項目を返します：

S1F4
  <L[3]
    <A[14] "20250101120000">  // SVID 1：有効
    <L[0]>                    // SVID 2：見つからない（空）
    <U1 1>                    // SVID 3：有効
  >
.

S1F11 - Status Variable Namelist Request¶

属性	値
方向	H→E
応答	S1F12
W-Bit	必須
マルチブロック	可能

メッセージ構造¶

S1F11 W
  <L[n]
    <SVID>                    // クエリ対象のSVID
    ...
  >
.

全SV定義の要求¶

S1F11 W
  <L[0]>                      // 空 = 全て要求
.

例 - 特定SVID¶

S1F11 W
  <L[4]
    <U4 1>                    // Clock
    <U4 2>                    // ControlState
    <U4 100>                  // Temperature
    <U4 200>                  // WaferCount
  >
.

S1F12 - Status Variable Namelist Reply¶

属性	値
方向	E→H
応答先	S1F11
W-Bit	不要
マルチブロック	はい（通常）

メッセージ構造¶

S1F12
  <L[n]
    <L[3]
      <SVID>                  // 状態変数ID
      <SVNAME>                // 状態変数名
      <UNITS>                 // 単位
    >
    ...
  >
.

データ項目¶

項目	形式	長さ	説明
SVID	U1/U2/U4/U8	1/2/4/8	状態変数ID
SVNAME	A	1-40	状態変数名
UNITS	A	0-20	計測単位（該当なしの場合は空）

応答例¶

S1F12
  <L[10]
    <L[3]
      <U4 1>
      <A[5] "Clock">
      <A[0] "">
    >
    <L[3]
      <U4 2>
      <A[12] "ControlState">
      <A[0] "">
    >
    <L[3]
      <U4 3>
      <A[12] "ProcessState">
      <A[0] "">
    >
    <L[3]
      <U4 100>
      <A[15] "EquipmentTemp">
      <A[4] "degC">
    >
    <L[3]
      <U4 101>
      <A[15] "ChamberPressure">
      <A[4] "Torr">
    >
    <L[3]
      <U4 102>
      <A[7] "GasFlow">
      <A[4] "sccm">
    >
    <L[3]
      <U4 200>
      <A[10] "WaferCount">
      <A[3] "pcs">
    >
    <L[3]
      <U4 201>
      <A[13] "CurrentRecipe">
      <A[0] "">
    >
    <L[3]
      <U4 202>
      <A[12] "ProcessTime">
      <A[3] "sec">
    >
    <L[3]
      <U4 203>
      <A[10] "LotID">
      <A[0] "">
    >
  >
.

S1F13 - Establish Communications Request¶

属性	値
方向	H↔E（双方向）
応答	S1F14
W-Bit	必須
マルチブロック	不可

メッセージ構造¶

S1F13 W
  <L[0]>
.

説明¶

HSMS接続確立後に交換される最初のSECS-IIメッセージです。ホストまたは装置のどちらからでも開始できます。

通信フロー¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: HSMS接続確立 H->>E: S1F13 W（通信確立要求） E-->>H: S1F14（COMMACK=0、受諾） Note over H,E: SECS-II通信確立 H->>E: S1F17 W（オンライン要求） E-->>H: S1F18（ONLACK=0、受諾） Note over H,E: 装置オンライン

実装上の注意¶

重要なメッセージ

HSMS Select.req/rsp後の最初のSECS-IIメッセージである必要があります
ホストと装置の両方がS1F13を受信できる準備が必要です
T3タイムアウト内に応答がない場合は再試行する必要があります

S1F14 - Establish Communications Acknowledge¶

属性	値
方向	H↔E（双方向）
応答先	S1F13
W-Bit	不要
マルチブロック	不可

メッセージ構造¶

S1F14
  <L[2]
    <COMMACK>                 // 通信確認コード
    <L[2]
      <MDLN>                  // 装置モデルタイプ
      <SOFTREV>               // ソフトウェアリビジョン
    >
  >
.

データ項目¶

項目	形式	長さ	説明
COMMACK	B	1	通信確認コード
MDLN	A	1-20	装置モデルタイプ
SOFTREV	A	1-20	ソフトウェアリビジョン

COMMACK値¶

値	名称	説明
0x00	OK	通信受諾
0x01	DENIED	拒否、通信準備未完了
0x02	BUSY	他のホストと通信中

例 - 受諾¶

S1F14
  <L[2]
    <B[1] 0x00>               // COMMACK = 受諾
    <L[2]
      <A[12] "GST-PNL-2000">  // モデル
      <A[8] "V2.1.045">       // バージョン
    >
  >
.

例 - 拒否¶

S1F14
  <L[2]
    <B[1] 0x01>               // COMMACK = 拒否
    <L[2]
      <A[0] "">               // 拒否時はモデル情報なし
      <A[0] "">
    >
  >
.

S1F15 - Request Off-Line¶

属性	値
方向	H→E
応答	S1F16
W-Bit	必須
マルチブロック	不可

メッセージ構造¶

S1F15 W
  <L[0]>
.

説明¶

ホストが装置にONLINEからOFFLINE状態への移行を要求します。

状態遷移¶

ONLINE-LOCAL ──┐
               ├──► S1F15 ──► OFFLINE
ONLINE-REMOTE ─┘

S1F16 - Off-Line Acknowledge¶

属性	値
方向	E→H
応答先	S1F15
W-Bit	不要
マルチブロック	不可

メッセージ構造¶

S1F16
  <OFLACK>
.

データ項目¶

項目	形式	長さ	説明
OFLACK	B	1	オフライン確認コード

OFLACK値¶

値	名称	説明
0x00	OK	オフライン移行受諾

例¶

S1F16
  <B[1] 0x00>                 // OFLACK = 受諾
.

S1F17 - Request On-Line¶

属性	値
方向	H→E
応答	S1F18
W-Bit	必須
マルチブロック	不可

メッセージ構造¶

S1F17 W
  <L[0]>
.

説明¶

ホストが装置にOFFLINEからONLINE状態への移行を要求します。受諾された場合、装置はONLINE-REMOTEに移行します。

状態遷移¶

OFFLINE ──► S1F17 ──► ONLINE-REMOTE

S1F18 - On-Line Acknowledge¶

属性	値
方向	E→H
応答先	S1F17
W-Bit	不要
マルチブロック	不可

メッセージ構造¶

S1F18
  <ONLACK>
.

データ項目¶

項目	形式	長さ	説明
ONLACK	B	1	オンライン確認コード

ONLACK値¶

値	名称	説明
0x00	OK	オンライン移行受諾
0x01	ALREADY	装置は既にオンライン
0x02	NOT_READY	装置準備未完了（インターロック、メンテナンス）

例 - 受諾¶

S1F18
  <B[1] 0x00>                 // ONLACK = 受諾
.

例 - 準備未完了¶

S1F18
  <B[1] 0x02>                 // ONLACK = 準備未完了
.

エラーシナリオ¶

シナリオ	ONLACK	対処
正常移行	0x00	装置はONLINE-REMOTEに移行
既にオンライン	0x01	状態変化なし
メンテナンスモード	0x02	先にメンテナンスを解除
安全インターロック	0x02	先にインターロックを解除

実装チェックリスト¶

機能	必須	備考
S1F1/F2 サポート	✓	ハートビート確認
S1F3/F4 サポート	✓	状態変数要求
S1F11/F12 サポート	✓	SV定義クエリ
S1F13/F14 サポート	✓	通信確立
S1F15/F16 サポート	✓	オフライン移行
S1F17/F18 サポート	✓	オンライン移行
マルチブロック S1F4	○	多数SV要求時
T3タイムアウト処理	✓	応答タイムアウト
COMMACK エラー処理	✓	通信拒否
ONLACK エラー処理	✓	オンライン拒否

Stream 1 - 装置状態¶

概要¶

メッセージ一覧¶

S1F1 - Are You There Request¶

メッセージ構造¶

データ項目¶

説明¶

実装上の注意¶

S1F2 - On Line Data（応答）¶

メッセージ構造¶

データ項目¶

例¶

ゼロ長応答¶

S1F3 - Selected Equipment Status Request¶

メッセージ構造¶

データ項目¶

全SVの要求¶

例 - 特定SV¶

S1F4 - Selected Equipment Status Data（応答）¶

メッセージ構造¶

データ項目¶

応答例¶

エラー処理¶

S1F11 - Status Variable Namelist Request¶

メッセージ構造¶

全SV定義の要求¶

例 - 特定SVID¶

S1F12 - Status Variable Namelist Reply¶

メッセージ構造¶

データ項目¶

応答例¶

S1F13 - Establish Communications Request¶

メッセージ構造¶

説明¶

通信フロー¶

実装上の注意¶

S1F14 - Establish Communications Acknowledge¶

メッセージ構造¶

データ項目¶

COMMACK値¶

例 - 受諾¶

例 - 拒否¶

S1F15 - Request Off-Line¶

メッセージ構造¶

説明¶

状態遷移¶

S1F16 - Off-Line Acknowledge¶

メッセージ構造¶

データ項目¶

OFLACK値¶

例¶

S1F17 - Request On-Line¶

メッセージ構造¶

説明¶

状態遷移¶

S1F18 - On-Line Acknowledge¶

メッセージ構造¶

データ項目¶

ONLACK値¶

例 - 受諾¶

例 - 準備未完了¶

エラーシナリオ¶

実装チェックリスト¶

関連メッセージ¶