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SECS/GEM Interface Manual

文件資訊

文件管理¶

文件識別¶

屬性	值
文件標題	SECS/GEM 介面手冊
文件編號	SECSGEM-IF-001
文件類型	介面規格書
安全等級	機密

文件屬性¶

屬性	說明
設備型號	[設備型號名稱]
設備供應商	程邦系統科技有限公司
客戶	[客戶名稱]
專案代碼	[專案代碼]
GEM 相容性	SEMI E30.8-0817 (GEM)
GEM 300 相容性	SEMI E30.8-0817, E40, E87, E90, E94, E116
HSMS 相容性	SEMI E37.1-0109

修訂歷史¶

版本	日期	作者	說明	審查者	核准者
1.0	[日期]	[作者]	初版發布	[審查者]	[核准者]
1.1	[日期]	[作者]	新增 GEM 300 章節	[審查者]	[核准者]

文件核准¶

角色	姓名	簽名	日期
編寫者	[作者姓名]	______	__
技術審查	[審查者姓名]	______	__
品質審查	[品保人員姓名]	______	__
客戶核准	[客戶代表]	______	__
最終核准	[主管姓名]	______	__

需要核准

本文件在取得所有必要簽名前無效。依據公司文件管理程序，可接受電子簽名。

發行清單¶

副本	持有人	部門/組織	格式	發行日期
01	[姓名]	[公司] 工程部	PDF	[日期]
02	[姓名]	[客戶] 整合部	PDF	[日期]
03	[姓名]	[公司] 品保部	PDF	[日期]
04	[姓名]	[客戶] MES 團隊	PDF	[日期]
正本	文件管理	[公司]	原件	[日期]

參考文件¶

文件編號	標題	版本
SEMI E4-0699	SEMI 設備通訊標準 1 訊息傳輸 (SECS-I)	0699
SEMI E5-0712	SEMI 設備通訊標準 2 訊息內容 (SECS-II)	0712
SEMI E30.8-0817	製造設備通訊與控制通用模型 (GEM)	0817
SEMI E37.1-0109	高速 SECS 訊息服務 (HSMS) 通用服務	0109
SEMI E40-0218	製程管理標準	0218
SEMI E87.7-0418	載具管理規範 (CMS)	0418
SEMI E90-1115	基板追蹤規範	1115
SEMI E94-0218	控制工作管理規範	0218

文件變更申請流程¶

flowchart LR A[變更申請] --> B{技術審查} B -->|核准| C[文件更新] B -->|駁回| D[通知申請者] C --> E{客戶審查} E -->|核准| F[發布新版本] E -->|需要修改| C F --> G[分發給持有人]

變更申請程序¶

提交申請：填寫變更申請表 (CRF)，並附上詳細說明
技術審查：工程團隊評估影響和可行性
客戶通知：通知客戶所提議的變更（如適用）
文件更新：實施已核准的變更，並追蹤修訂
審查週期：對更新文件進行技術和品質審查
核准：依核准矩陣取得必要簽名
發布：指定新版本編號和發布日期
分發：分發給所有註冊的文件持有人

文件管理資訊¶

正本文件位置¶

位置	路徑/網址
電子正本	[SharePoint/伺服器路徑]
網頁版本	[內部網址]
實體正本	文件管理檔案室

文件負責人¶

角色	姓名	電子郵件
文件負責人	[姓名]	[email]
技術聯絡人	[姓名]	[email]
文件管理	[姓名]	[email]

保密聲明¶

機密文件

本文件包含程邦系統科技有限公司之專有及機密資訊。

本文件所含資訊僅供授權人員用於設備介面之實施與支援。

限制事項：

未經書面授權，禁止複製或散布
資訊不得透露給第三方
專案完成後，所有副本必須歸還或銷毀
違反規定可能導致法律訴訟

文件管理規範¶

本文件依據公司內部文件管理規範進行管控，確保文件版本一致性與可追溯性。

版權所有 © 2025 程邦系統科技有限公司。保留所有權利。
本文件如有變更，恕不另行通知。最新版本可向文件管理部門索取。