概述
1. 目的
本文件定義 [設備型號名稱] 之 SECS/GEM 介面規格。它提供主機系統整合所需的完整資訊，包括：
- 通訊設定
- GEM 能力相容性
- 變數定義（狀態變數、設備常數、資料變數）
- 收集事件及相關報告
- 警報定義
- 遠端命令規格
- SECS-II 訊息格式
2. 適用範圍
本規格適用於：
- 設備型號：
[設備型號名稱]
- 軟體版本：
[版本編號]
- GEM 相容等級：SEMI E30 / SEMI E30.x (GEM 300)
2.1 GEM 200 功能
| 功能 |
支援 |
| 狀態模型 |
是 |
| 主機發起 S1,F13/F14 情境 |
是 |
| 設備發起 S1,F13/F14 情境 |
是 |
| 設備常數 |
是 |
| 狀態變數 |
是 |
| 資料收集/追蹤 |
是 |
| 警報管理 |
是 |
| 遠端控制 |
是 |
| 製程程式管理 |
是 |
| 緩衝功能 |
是 |
| 控制狀態模型 |
是 |
2.2 GEM 300 功能（如適用）
| 功能 |
SEMI 標準 |
支援 |
| 載具管理 |
E87 (CMS) |
[是/否] |
| 製程工作管理 |
E40 (PJM) |
[是/否] |
| 控制工作管理 |
E94 (CJM) |
[是/否] |
| 基板追蹤 |
E90 |
[是/否] |
| 設備終端服務 |
E116 (ETS) |
[是/否] |
3. 參考標準
| 標準 |
標題 |
版本 |
| SEMI E4 |
SEMI 設備通訊標準 1 訊息傳輸 (SECS-I) |
最新 |
| SEMI E5 |
SEMI 設備通訊標準 2 訊息內容 (SECS-II) |
最新 |
| SEMI E30 |
製造設備通訊與控制通用模型 (GEM) |
最新 |
| SEMI E37 |
高速 SECS 訊息服務 (HSMS) 通用服務 |
最新 |
| SEMI E37.1 |
高速 SECS 訊息服務單一工作階段模式 (HSMS-SS) |
最新 |
| SEMI E40 |
製程管理標準 |
最新 |
| SEMI E87 |
載具管理規範 (CMS) |
最新 |
| SEMI E90 |
基板追蹤規範 |
最新 |
| SEMI E94 |
控制工作管理規範 |
最新 |
| SEMI E116 |
設備效能追蹤規範 |
最新 |
4. 術語與縮寫
| 術語 |
定義 |
| CE |
收集事件 (Collection Event) |
| CJ |
控制工作 (Control Job) |
| CMS |
載具管理系統 (Carrier Management System) |
| DV |
資料變數 (Data Variable) |
| EC |
設備常數 (Equipment Constant) |
| EQP |
設備 (Equipment) |
| GEM |
通用設備模型 (Generic Equipment Model) |
| HSMS |
高速 SECS 訊息服務 (High-Speed SECS Message Services) |
| PJ |
製程工作 (Process Job) |
| PP |
製程程式/配方 (Process Program/Recipe) |
| RPTID |
報告識別碼 (Report ID) |
| SECS |
SEMI 設備通訊標準 (SEMI Equipment Communications Standard) |
| SV |
狀態變數 (Status Variable) |
| VID |
變數識別碼 (Variable ID) |
5. 文件結構
| 章節 |
內容 |
| 1-2 |
文件管理、概述 |
| 3-4 |
通訊設定、通訊狀態 |
| 5 |
GEM 相容性聲明 |
| 6-8 |
狀態模型（控制、加工、緩衝） |
| 9-13 |
變數、事件、警報、命令、製程程式 |
| 14+ |
訊息情境 |
| 20+ |
GEM 300 擴充功能 |
| 附錄 |
訊息參考、資料項目、錯誤碼 |