附錄 A - 資料項目參考
概述
本附錄提供此設備介面中使用的所有 SECS-II 資料項目參考。
資料類型代碼
| 格式代碼 |
類型 |
說明 |
位元組 |
| L |
List |
項目列表 |
可變 |
| B |
Binary |
8 位元二進位 |
1 |
| Boolean |
Boolean |
True/False |
1 |
| A |
ASCII |
ASCII 字串 |
可變 |
| J |
JIS-8 |
JIS-8 字串 |
可變 |
| I1 |
Integer |
有符號 8 位元 |
1 |
| I2 |
Integer |
有符號 16 位元 |
2 |
| I4 |
Integer |
有符號 32 位元 |
4 |
| I8 |
Integer |
有符號 64 位元 |
8 |
| U1 |
Unsigned |
無符號 8 位元 |
1 |
| U2 |
Unsigned |
無符號 16 位元 |
2 |
| U4 |
Unsigned |
無符號 32 位元 |
4 |
| U8 |
Unsigned |
無符號 64 位元 |
8 |
| F4 |
Float |
32 位元 IEEE 浮點數 |
4 |
| F8 |
Float |
64 位元 IEEE 浮點數 |
8 |
標準資料項目
ACKC5 - 警報確認碼
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00 = 已接受 |
ACKC6 - 收集事件確認碼
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00 = 已接受, 0x01-0x3F = 錯誤碼 |
ACKC7 - 製程程式確認碼
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
參見 S7F4 訊息定義 |
ACKC10 - 終端確認碼
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00 = 已接受, 0x01 = 不可用, 0x02 = 未顯示 |
ALCD - 警報碼
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 結構 |
Bit 7 = 設定/解除, Bits 6-0 = 類別 |
| 類別 |
1-8（參見警報章節） |
ALED - 警報啟用/停用
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00 = 停用, 0x01 = 啟用 |
ALID - 警報 ID
ALTX - 警報文字
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
A[120] |
| 最大長度 |
120 字元 |
CEED - 收集事件啟用/停用
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
Boolean |
| 值 |
True = 啟用, False = 停用 |
CEID - 收集事件 ID
COMMACK - 通訊確認
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00 = 已接受, 0x01 = 拒絕 |
CPNAME - 命令參數名稱
CPVAL - 命令參數值
DATAID - 資料 ID
DRACK - 定義報告確認
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00 = 正常, 0x01-0x04 = 錯誤 |
EAC - 設備確認碼
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00 = 正常, 0x01-0x04 = 錯誤 |
ECID - 設備常數 ID
ECNAME - 設備常數名稱
ECV - 設備常數值
ERACK - 啟用報告確認
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00 = 正常, 0x01 = 無效的 CEID |
HCACK - 主機命令確認
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00-0x06（參見 S2F42） |
LENGTH - 資料長度
LRACK - 連結報告確認
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00-0x04（參見 S2F36） |
MDLN - 設備型號
OFLACK - 離線確認
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00 = 已接受 |
ONLACK - 線上確認
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00-0x02（參見 S1F18） |
PPBODY - 製程程式本體
PPGNT - 製程程式授權
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00-0x05（參見 S7F2） |
PPID - 製程程式 ID
RCMD - 遠端命令
RPTID - 報告 ID
SOFTREV - 軟體版本
SV - 狀態變數值
SVID - 狀態變數 ID
SVNAME - 狀態變數名稱
TEXT - 文字
TID - 終端 ID
TIME - 日期和時間
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
A[12-16] |
| 結構 |
YYYYMMDDHHmmss 或 YYYYMMDDHHmmsscc |
TIACK - 時間設定確認
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
B[1] |
| 值 |
0x00 = 正常, 0x01 = 錯誤 |
UNITS - 單位
VID - 變數 ID
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
U4 |
| 說明 |
可以是 SVID、ECID 或 DVID |
GEM 300 資料項目
ACCESSMODE - 存取模式
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
U1 |
| 值 |
0 = MANUAL, 1 = AUTO |
CARRIERACTION - 載具動作
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
U1 |
| 值 |
1-5（參見 S3F17） |
CARRIERID - 載具 ID
CJCMD - 控制作業命令
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
U1 |
| 值 |
1-9（參見 S14F3） |
OBJSPEC - 物件指定器
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
A[n] |
| 結構 |
"ObjectType:ObjectID" |
PORTID - 埠 ID
PRCMD - 製程作業命令
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
U1 |
| 值 |
1-7（參見 S16F17） |
PRJOBID - 製程作業 ID
PRMTLTYPE - 物料類型
| 屬性 |
值 |
| 格式 |
U1 |
| 值 |
0 = 載具, 1 = 基板 |
SUBSTRATEID - 基板 ID