附錄 C - 術語表¶
A¶
ALCD - Alarm Code（警報碼）。表示警報類別和設定/解除狀態的代碼。
ALID - Alarm ID（警報 ID）。警報的唯一識別碼。
ALTX - Alarm Text（警報文字）。警報的人類可讀描述。
AMHS - Automated Material Handling System（自動物料搬運系統）。載具/FOUP 的自動運輸系統。
C¶
CE - Collection Event（收集事件）。觸發資料收集和報告的事件。
CEID - Collection Event ID（收集事件 ID）。收集事件的唯一識別碼。
CJ - Control Job（控制作業）。管理製程作業的高階作業 (E94)。
CJM - Control Job Management（控制作業管理）。SEMI E94 控制作業管理標準。
CMS - Carrier Management System（載具管理系統）。SEMI E87 載具管理標準。
COMMACK - Communication Acknowledge（通訊確認）。通訊建立的回應碼。
D¶
DATAID - Data ID（資料 ID）。資料交易的唯一識別碼。
DV - Data Variable（資料變數）。包含製程資料的變數。
DVVAL - Data Variable Value（資料變數值）。
E¶
EAC - Equipment Acknowledge Code（設備確認碼）。設備常數變更的回應。
EC - Equipment Constant（設備常數）。可配置的設備參數。
ECID - Equipment Constant ID（設備常數 ID）。設備常數的唯一識別碼。
ECV - Equipment Constant Value（設備常數值）。
ETS - Equipment Terminal Services（設備終端服務）。SEMI E116 標準。
F¶
FOUP - Front Opening Unified Pod（前開式統一載具）。300mm 晶圓的標準載具。
FOSB - Front Opening Shipping Box（前開式運輸盒）。晶圓運輸用載具。
G¶
GEM - Generic Equipment Model（通用設備模型）。SEMI E30 設備通訊標準。
GEM 200 - 200mm 晶圓設備的 GEM 標準實作。
GEM 300 - 300mm 晶圓設備的擴展 GEM 標準。
H¶
HCACK - Host Command Acknowledge（主機命令確認）。遠端命令的回應碼。
HSMS - High-Speed SECS Message Services（高速 SECS 訊息服務）。基於 TCP/IP 的傳輸協定 (E37)。
HSMS-SS - HSMS Single-Session（HSMS 單一會話）。HSMS 的單一連線模式。
L¶
LP - Load Port（裝載埠）。載具裝載/卸載的位置。
LRACK - Link Report Acknowledge（連結報告確認）。連結報告到事件的回應。
M¶
MDLN - Model Name（型號名稱）。設備型號識別碼。
MES - Manufacturing Execution System（製造執行系統）。工廠控制系統。
O¶
OBJACK - Object Acknowledge（物件確認）。物件服務操作的回應碼。
OFLACK - Offline Acknowledge（離線確認）。離線請求的回應。
ONLACK - Online Acknowledge（線上確認）。線上請求的回應。
P¶
PJ - Process Job（製程作業）。定義基板處理的作業 (E40)。
PJM - Process Job Management（製程作業管理）。SEMI E40 標準。
PP - Process Program（製程程式）。配方。
PPBODY - Process Program Body（製程程式本體）。配方資料內容。
PPID - Process Program ID（製程程式 ID）。配方識別碼。
R¶
RCMD - Remote Command（遠端命令）。從主機發送到設備的命令。
RPTID - Report ID（報告 ID）。報告定義的唯一識別碼。
S¶
SECS - SEMI Equipment Communications Standard（SEMI 設備通訊標準）。
SECS-I - SECS 串列通訊協定 (E4)。
SECS-II - SECS 訊息內容標準 (E5)。
SEMI - Semiconductor Equipment and Materials International（國際半導體設備與材料協會）。
SOFTREV - Software Revision（軟體版本）。設備軟體版本。
SV - Status Variable（狀態變數）。唯讀的設備狀態值。
SVID - Status Variable ID（狀態變數 ID）。狀態變數的唯一識別碼。
T¶
T3 - Reply Timeout（回覆逾時）。等待訊息回覆的時間。
T5 - Connection Separation Time（連線分離時間）。連線嘗試之間的時間。
T6 - Control Transaction Timeout（控制交易逾時）。HSMS 控制訊息的時間。
T7 - Not Selected Timeout（未選擇逾時）。在未選擇狀態的時間。
T8 - Network Intercharacter Timeout（網路字元間逾時）。字元接收逾時。
TID - Terminal ID（終端 ID）。操作員終端的識別碼。
V¶
VID - Variable ID（變數 ID）。任何變數類型的通用識別碼。
SEMI 標準參考¶
| 標準 | 標題 |
|---|---|
| SEMI E4 | SECS-I 訊息傳輸 |
| SEMI E5 | SECS-II 訊息內容 |
| SEMI E30 | GEM（通用設備模型） |
| SEMI E37 | HSMS 通用服務 |
| SEMI E37.1 | HSMS 單一會話 |
| SEMI E39 | 物件服務 |
| SEMI E40 | 製程作業管理 |
| SEMI E87 | 載具管理 (CMS) |
| SEMI E90 | 基板追蹤 |
| SEMI E94 | 控制作業管理 |
| SEMI E116 | 設備效能追蹤 |
訊息方向表示法¶
| 符號 | 意義 |
|---|---|
| H→E | 主機到設備 |
| E→H | 設備到主機 |
| H↔E | 雙向 |
| W | 等待位元（預期回覆） |
狀態縮寫¶
| 縮寫 | 全名 |
|---|---|
| CTRL | 控制狀態 |
| COMM | 通訊狀態 |
| PROC | 處理狀態 |
| LP | 裝載埠 |
| PM | 製程模組 |
| TM | 傳輸模組 |