GEM 符合性聲明
1. 概述
本章記錄 [設備型號名稱] 的 GEM (SEMI E30) 符合性狀態。以下符合性矩陣說明了對每個 GEM 基本要求和附加功能的支援情況。
2. GEM 符合性摘要
| 類別 |
符合程度 |
| 基本要求 |
完全符合 |
| 附加功能 |
請參閱下方矩陣 |
| 狀態模型 |
符合 SEMI E30 |
3. 基本要求符合性矩陣
| # |
功能 |
狀態 |
備註 |
| 1 |
狀態模型 |
支援 |
控制狀態、加工狀態 |
| 2 |
主機發起的 S1,F13/F14 情境 |
支援 |
|
| 3 |
事件通知 |
支援 |
S6F11/F12 |
| 4 |
線上識別 |
支援 |
S1F1/F2 |
| 5 |
錯誤訊息 |
支援 |
S9Fx |
| 6 |
文件 |
支援 |
本文件 |
| 7 |
控制（操作員發起） |
支援 |
S1F15/F16, S1F17/F18 |
4. 附加功能符合性矩陣
| # |
功能 |
狀態 |
備註 |
| 8 |
建立通訊 |
支援 |
設備發起的 S1F13/F14 |
| 9 |
動態事件報告設定 |
支援 |
S2F33-F36 |
| 10 |
變數資料收集 |
支援 |
S1F3/F4, S6F15/F16 |
| 11 |
追蹤資料收集 |
支援 |
S2F23/F24, S6F1/F2 |
| 12 |
狀態資料收集 |
支援 |
S1F3/F4 |
| 13 |
警報管理 |
支援 |
S5F1-F8 |
| 14 |
遠端控制 |
支援 |
S2F41/F42 |
| 15 |
設備常數 |
支援 |
S2F13-F16, S2F29/F30 |
| 16 |
製程程式管理 |
支援 |
S7F1-F6, S7F17-F20 |
| 17 |
物料移動 |
[支援/不支援] |
S3Fx |
| 18 |
設備終端服務 |
[支援/不支援] |
S10Fx |
| 19 |
時鐘 |
支援 |
S2F17/F18, S2F31/F32 |
| 20 |
限制監控 |
[支援/不支援] |
S2F45-F48 |
| 21 |
Spooling |
支援 |
S2F43/F44 |
| 22 |
控制（主機發起） |
支援 |
S1F15-F18 |
5. 狀態模型符合性
5.1 控制狀態模型
| 狀態 |
支援 |
備註 |
| OFF-LINE |
是 |
支援設備離線子狀態 |
| ON-LINE LOCAL |
是 |
操作員控制模式 |
| ON-LINE REMOTE |
是 |
主機控制模式 |
5.2 加工狀態模型
| 狀態 |
支援 |
備註 |
| IDLE |
是 |
準備就緒可加工 |
| INIT |
是 |
初始化中 |
| EXECUTING |
是 |
加工中 |
| PAUSE |
是 |
暫時暫停 |
| ABORTING |
是 |
中止進行中 |
6. 支援的 SECS-II Streams
| Stream |
說明 |
支援的訊息 |
| S1 |
設備狀態 |
F1-F4, F11-F18 |
| S2 |
設備控制 |
F13-F18, F23-F24, F29-F42 |
| S5 |
警報管理 |
F1-F8 |
| S6 |
資料收集 |
F1-F2, F11-F16 |
| S7 |
製程程式 |
F1-F6, F17-F20, F23-F26 |
| S9 |
系統錯誤 |
F1, F3, F5, F7, F9, F11, F13 |
| S10 |
終端服務 |
[F1-F10] |
7. GEM 300 符合性（如適用）
| 標準 |
功能 |
狀態 |
備註 |
| SEMI E40 |
製程作業管理 (PJM) |
[支援/不支援] |
|
| SEMI E87 |
載具管理 (CMS) |
[支援/不支援] |
|
| SEMI E90 |
基板追蹤 |
[支援/不支援] |
|
| SEMI E94 |
控制作業管理 (CJM) |
[支援/不支援] |
|
| SEMI E116 |
設備效能追蹤 |
[支援/不支援] |
|
8. 實作備註
8.1 多區塊訊息
- 設備支援多區塊訊息傳輸
- 最大訊息大小：
[1048576] 位元組
- 支援 S1F1/F2 查詢
8.2 逾時設定
所有 GEM 相關逾時皆可透過設備常數 (EC) 進行設定。
8.3 預設報告定義
設備提供預先定義的報告範本，可透過動態事件報告設定 (S2F33-F36) 進行修改。