加工狀態模型¶

1. 概述¶

加工狀態模型定義了設備在物料加工期間的操作狀態，如 SEMI E30 (GEM) 規範所述。此模型是設備特定的，可根據實際加工能力進行自訂。

2. 狀態圖¶

stateDiagram-v2 [*] --> INIT INIT --> IDLE: Initialization Complete IDLE --> SETTING_UP: Start Command SETTING_UP --> READY: Setup Complete SETTING_UP --> IDLE: Setup Failed/Abort READY --> EXECUTING: Material Ready / Start READY --> IDLE: Abort EXECUTING --> PAUSING: Pause Command PAUSING --> PAUSED: Pause Complete PAUSED --> EXECUTING: Resume Command PAUSED --> ABORTING: Abort Command EXECUTING --> ABORTING: Abort Command ABORTING --> IDLE: Abort Complete EXECUTING --> IDLE: Process Complete

3. 狀態定義¶

狀態	說明
INIT	設備正在初始化。尚未準備好進行操作。
IDLE	設備已準備就緒並等待中。沒有正在進行的加工。
SETTING UP	設備正在準備加工（載入配方、參數設定）。
READY	設備已準備好開始加工。等待物料或啟動。
EXECUTING	設備正在積極加工物料。
PAUSING	設備正在進行暫停過程。
PAUSED	設備已暫停加工。可恢復或中止。
ABORTING	設備正在中止目前的加工。

4. 轉換表¶

#	目前狀態	觸發條件	下一狀態	動作	相關 RCMD
1	INIT	初始化完成	IDLE	報告就緒	-
2	IDLE	START 命令	SETTING UP	載入配方、設定	START
3	SETTING UP	設定完成	READY	等待加工	-
4	SETTING UP	設定失敗	IDLE	報告錯誤	-
5	SETTING UP	ABORT 命令	IDLE	取消設定	ABORT
6	READY	物料就位 / START	EXECUTING	開始加工	-
7	READY	ABORT 命令	IDLE	取消加工	ABORT
8	EXECUTING	加工完成	IDLE	報告完成	-
9	EXECUTING	PAUSE 命令	PAUSING	開始暫停	PAUSE
10	EXECUTING	ABORT 命令	ABORTING	開始中止	ABORT
11	PAUSING	暫停完成	PAUSED	等待恢復	-
12	PAUSED	RESUME 命令	EXECUTING	繼續加工	RESUME
13	PAUSED	ABORT 命令	ABORTING	開始中止	ABORT
14	ABORTING	中止完成	IDLE	報告中止	-

5. 狀態特定行為¶

5.1 INIT 狀態¶

初始化期間： - 設備執行自我測試 - 硬體初始化 - 配方庫載入 - 通訊建立

5.2 IDLE 狀態¶

在 IDLE 狀態下： - 設備準備接受命令 - 物料處理可用 - 配方上傳/下載可用 - 所有狀態查詢可用

5.3 EXECUTING 狀態¶

執行期間： - 正在執行加工步驟 - 資料收集進行中 - 某些命令可能受限 - 中止和暫停命令可用

5.4 PAUSED 狀態¶

暫停時： - 加工在安全點暫時停止 - 設備維持目前狀態 - 恢復將從暫停點繼續 - 中止將終止加工

6. 相關遠端命令¶

RCMD	說明	有效狀態
START	開始加工	IDLE
STOP	在安全點停止	EXECUTING
ABORT	立即中止	SETTING UP, READY, EXECUTING, PAUSED
PAUSE	暫停加工	EXECUTING
RESUME	從暫停恢復	PAUSED

7. 相關狀態變數¶

SVID	名稱	類型	說明
`[3001]`	ProcessState	U1	目前加工狀態
`[3002]`	PreviousProcessState	U1	前一個加工狀態
`[3003]`	CurrentRecipeID	A	目前載入的配方
`[3004]`	ProcessingTime	U4	目前狀態的時間（秒）

ProcessState 值：

值	狀態
0	INIT
1	IDLE
2	SETTING UP
3	READY
4	EXECUTING
5	PAUSING
6	PAUSED
7	ABORTING

8. 相關收集事件¶

CEID	名稱	說明
`[3001]`	ProcessStateChange	任何加工狀態變更時觸發
`[3002]`	ProcessStarted	進入 EXECUTING 時觸發
`[3003]`	ProcessCompleted	加工正常完成時觸發
`[3004]`	ProcessPaused	進入 PAUSED 時觸發
`[3005]`	ProcessResumed	從 PAUSED 恢復時觸發
`[3006]`	ProcessAborted	加工被中止時觸發

9. 相關警報¶

ALID	ALTX	類別	設定條件	清除條件
`[3001]`	Process Abort	警告	加工中止	加工重新啟動
`[3002]`	Setup Failed	錯誤	設定無法完成	操作員介入
`[3003]`	Process Timeout	警告	加工超過時間限制	加工完成

10. 時序圖¶

10.1 正常加工週期¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: State: IDLE Host->>Equipment: S2F41 (RCMD=START, Recipe=XXX) Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: State: SETTING UP Equipment->>Host: S6F11 (ProcessStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: State: READY Equipment->>Host: S6F11 (ProcessStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: State: EXECUTING Note over Equipment: Processing... Equipment->>Host: S6F11 (ProcessCompleted) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: State: IDLE

10.2 暫停和恢復¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: State: EXECUTING Host->>Equipment: S2F41 (RCMD=PAUSE) Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: State: PAUSING Equipment->>Host: S6F11 (ProcessPaused) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: State: PAUSED Host->>Equipment: S2F41 (RCMD=RESUME) Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: State: EXECUTING Equipment->>Host: S6F11 (ProcessResumed) Host-->>Equipment: S6F12

11. 設備特定加工狀態¶

注意： 以上加工狀態模型是通用範本。設備特定的狀態和轉換應記錄如下。

11.1 自訂狀態（如適用）¶

狀態	說明	父狀態
`[自訂狀態 1]`	`[說明]`	EXECUTING
`[自訂狀態 2]`	`[說明]`	EXECUTING

11.2 自訂轉換¶

來源	目標	觸發條件	說明
`[狀態 A]`	`[狀態 B]`	`[觸發條件]`	`[說明]`