變數定義

概述

本章定義設備支援的所有變數：

變數類型	縮寫	說明	存取權限
狀態變數	SV	即時設備狀態	唯讀
設備常數	EC	可設定參數	讀/寫
資料變數	DV	收集用的製程資料	唯讀

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狀態變數 (SV)

狀態變數代表設備的目前狀態。它們是唯讀的，由設備即時更新。

系統狀態變數 (SVID 1-99)

SVID	名稱	格式	單位	說明
1	Clock	A[14]	-	設備時鐘 (YYYYMMDDHHmmss)
2	ControlState	U1	-	目前控制狀態
3	PreviousControlState	U1	-	前一個控制狀態
4	EventsEnabled	Boolean	-	事件報告是否啟用
5	AlarmsEnabled	Boolean	-	警報報告是否啟用
6	ProcessState	U1	-	目前加工狀態
7	PreviousProcessState	U1	-	前一個加工狀態
8	PPExecName	A[40]	-	目前執行的配方
9	PPFormat	U1	-	配方格式類型
10	SpoolState	U1	-	Spooling 狀態
11	SpoolCountActual	U4	-	目前 spool 訊息數
12	SpoolCountTotal	U4	-	最大 spool 容量
13	SpoolFullTime	A[14]	-	Spool 滿載時間
14	SpoolStartTime	A[14]	-	Spool 開始時間戳記

ControlState 值

值	狀態	說明
1	EQUIPMENT-OFFLINE	設備離線，無主機控制
2	ATTEMPT-ONLINE	嘗試建立線上連線
3	HOST-OFFLINE	主機請求設備離線
4	ONLINE-LOCAL	線上，操作員控制
5	ONLINE-REMOTE	線上，主機控制

ProcessState 值

值	狀態	說明
0	INIT	設備初始化中
1	IDLE	就緒，等待作業
2	SETUP	設定/準備中
3	READY	準備執行加工
4	EXECUTING	加工執行中
5	PAUSE	加工暫停
6	STOPPING	停止中
7	ABORTING	中止中
8	COMPLETE	加工完成

設備狀態變數 (SVID 100-199)

SVID	名稱	格式	單位	說明
100	EquipmentModel	A[20]	-	設備型號名稱
101	SoftwareVersion	A[12]	-	設備軟體版本
102	EquipmentID	A[40]	-	唯一設備識別碼
103	OperatorID	A[20]	-	目前登入的操作員
104	EquipmentStatus	U1	-	整體設備狀態
105	MaintenanceStatus	U1	-	維護模式狀態
106	InterlockStatus	U1	-	安全連鎖狀態
107	EmergencyStopStatus	Boolean	-	緊急停止啟動
108	DoorStatus	U1	-	腔體門狀態
109	VacuumStatus	U1	-	真空系統狀態

製程監控變數 (SVID 200-299)

SVID	名稱	格式	單位	說明
200	ChamberTemperature	F4	degC	腔體溫度
201	ChamberPressure	F4	Torr	腔體壓力
202	ChamberVacuum	F4	mTorr	真空度
203	SubstrateTemperature	F4	degC	基板溫度
204	HeaterPower	F4	%	加熱器功率百分比
205	HeaterSetpoint	F4	degC	加熱器設定點
210	GasFlow_N2	F4	sccm	氮氣流量
211	GasFlow_O2	F4	sccm	氧氣流量
212	GasFlow_Ar	F4	sccm	氬氣流量
213	GasFlow_CF4	F4	sccm	CF4 流量
214	GasFlow_CHF3	F4	sccm	CHF3 流量
215	TotalGasFlow	F4	sccm	總氣體流量
220	RF_Power	F4	W	RF 正向功率
221	RF_ReflectedPower	F4	W	RF 反射功率
222	RF_Frequency	F4	MHz	RF 頻率
223	DC_Bias	F4	V	DC 偏壓
224	MatchPosition_Load	F4	%	匹配器負載位置
225	MatchPosition_Tune	F4	%	匹配器調諧位置

製程資料變數 (SVID 300-399)

SVID	名稱	格式	單位	說明
300	CurrentRecipe	A[40]	-	目前配方名稱
301	RecipeVersion	A[10]	-	配方版本
302	CurrentStep	U2	-	目前步驟編號
303	TotalSteps	U2	-	配方總步驟數
304	StepElapsedTime	U4	sec	目前步驟已執行時間
305	StepRemainingTime	U4	sec	目前步驟剩餘時間
306	ProcessElapsedTime	U4	sec	總加工已執行時間
307	ProcessRemainingTime	U4	sec	總剩餘時間
308	CycleCount	U4	-	加工週期計數器
309	LastProcessResult	U1	-	上次加工結果
310	CurrentLotID	A[40]	-	目前批次識別碼
311	CurrentSubstrateID	A[40]	-	目前基板 ID

載具/Port 變數 (SVID 400-499, GEM 300)

SVID	名稱	格式	單位	說明
400	Port1_CarrierID	A[80]	-	Port 1 的載具 ID
401	Port1_AccessMode	U1	-	Port 1 存取模式
402	Port1_ReserveState	U1	-	Port 1 預約狀態
403	Port1_TransferState	U1	-	Port 1 傳送狀態
404	Port1_AssociationState	U1	-	Port 1 關聯狀態
410	Port2_CarrierID	A[80]	-	Port 2 的載具 ID
411	Port2_AccessMode	U1	-	Port 2 存取模式
412	Port2_ReserveState	U1	-	Port 2 預約狀態
413	Port2_TransferState	U1	-	Port 2 傳送狀態
414	Port2_AssociationState	U1	-	Port 2 關聯狀態
450	TotalCarriersProcessed	U4	-	已處理載具總數
451	TotalSubstratesProcessed	U4	-	已處理基板總數
452	TotalSubstratesRejected	U4	-	已拒絕基板總數

設備健康變數 (SVID 500-599)

SVID	名稱	格式	單位	說明
500	OperatingHours	U4	hr	總運轉時數
501	IdleHours	U4	hr	總閒置時數
502	ProcessCycles	U4	-	總加工週期數
503	NextPMDate	A[14]	-	下次 PM 到期日
504	PMDaysRemaining	I4	days	距下次 PM 天數
505	ConsumableLife_1	F4	%	耗材 1 剩餘壽命
506	ConsumableLife_2	F4	%	耗材 2 剩餘壽命
507	ConsumableLife_3	F4	%	耗材 3 剩餘壽命
510	AlarmCountToday	U4	-	今日警報數
511	AlarmCountTotal	U4	-	總警報數
512	LastAlarmCode	U4	-	上次警報代碼
513	LastAlarmTime	A[14]	-	上次警報時間戳記
514	MTBF	F4	hr	平均故障間隔時間
515	MTTR	F4	hr	平均修復時間

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設備常數 (EC)

設備常數是可由主機或操作員修改的可設定參數。

通訊常數 (ECID 1-49)

ECID	名稱	格式	預設值	最小	最大	單位	說明
1	TimeFormat	U1	0	0	2	-	時間格式類型
2	EstablishCommTimeout	U2	30	10	120	sec	S1F13 逾時
3	InitialControlState	U1	4	1	5	-	啟動時控制狀態
4	InitOnlineSubstate	U1	5	4	5	-	初始線上子狀態
5	HeartbeatInterval	U2	60	10	300	sec	S1F1 間隔
6	MaxSpoolMessages	U4	1000	100	50000	-	最大 spool 容量
7	SpoolEnable	Boolean	True	-	-	-	啟用 spooling
8	SpoolOverwritePolicy	U1	0	0	1	-	0=FIFO, 1=拒絕

TimeFormat 值

值	格式	範例
0	YYYYMMDDHHmmss	20250101120000
1	YYYYMMDDHHmmsscc	2025010112000000
2	ISO 8601	2025-01-01T12:00:00

HSMS 計時器常數 (ECID 50-59)

ECID	名稱	格式	預設值	最小	最大	單位	說明
50	HSMS_T3	U2	45	1	120	sec	回覆逾時
51	HSMS_T5	U2	10	1	240	sec	連線分離
52	HSMS_T6	U2	5	1	240	sec	控制交易逾時
53	HSMS_T7	U2	10	1	240	sec	未選擇逾時
54	HSMS_T8	U2	5	1	120	sec	網路字元間逾時
55	HSMS_LinkTestPeriod	U2	0	0	3600	sec	連結測試週期 (0=停用)

製程常數 (ECID 100-199)

ECID	名稱	格式	預設值	最小	最大	單位	說明
100	DefaultProcessTemp	F4	25.0	0.0	500.0	degC	預設加工溫度
101	MaxProcessTemp	F4	400.0	100.0	600.0	degC	最大允許溫度
102	TempRampRate	F4	10.0	1.0	50.0	degC/min	溫度升降速率
103	TempStabilizeTime	U2	60	10	600	sec	溫度穩定時間
104	TempTolerance	F4	2.0	0.1	10.0	degC	溫度容許範圍
110	DefaultChamberPressure	F4	760.0	0.001	1000.0	Torr	預設壓力
111	VacuumBaseLimit	F4	0.01	0.001	1.0	mTorr	基底真空限制
112	VacuumPumpdownTime	U2	180	30	600	sec	最大抽氣時間
120	DefaultRFPower	F4	100.0	0.0	1000.0	W	預設 RF 功率
121	MaxRFPower	F4	500.0	100.0	2000.0	W	最大 RF 功率
122	RFReflectLimit	F4	50.0	10.0	100.0	W	RF 反射限制
130	ProcessTimeout	U4	7200	60	86400	sec	加工逾時
131	StepTimeout	U4	1800	30	7200	sec	步驟逾時
132	IdleTimeout	U4	300	60	3600	sec	閒置逾時

載具處理常數 (ECID 200-249, GEM 300)

ECID	名稱	格式	預設值	最小	最大	單位	說明
200	CarrierSlotCount	U2	25	1	100	-	每載具槽位數
201	LoadPortCount	U1	2	1	8	-	Load Port 數量
202	AutoLoadEnable	Boolean	True	-	-	-	自動載入載具
203	AutoUnloadEnable	Boolean	True	-	-	-	自動卸載載具
204	IDVerificationMode	U1	1	0	2	-	ID 驗證模式
205	ContentMapVerify	Boolean	True	-	-	-	驗證內容映射
206	CarrierOutOnComplete	Boolean	True	-	-	-	完成時輸出載具
210	TransferTimeout	U4	120	30	600	sec	傳送逾時
211	ClampTimeout	U2	10	5	60	sec	夾持逾時
212	DockTimeout	U2	30	10	120	sec	對接逾時

IDVerificationMode 值

值	模式	說明
0	NONE	無 ID 驗證
1	HOST	主機提供載具 ID
2	EQUIPMENT	設備讀取載具 ID

警報/事件常數 (ECID 250-299)

ECID	名稱	格式	預設值	最小	最大	單位	說明
250	AlarmReportEnable	Boolean	True	-	-	-	啟用警報報告
251	EventReportEnable	Boolean	True	-	-	-	啟用事件報告
252	AutoClearAlarm	Boolean	False	-	-	-	自動清除可復原警報
253	AlarmRetryCount	U1	3	1	10	-	警報報告重試次數
260	TraceEnable	Boolean	False	-	-	-	啟用追蹤報告
261	TracePeriod	U4	1000	100	60000	ms	追蹤取樣週期
262	TraceGroupID	U4	1	1	100	-	啟用的追蹤群組

---

資料變數 (DV)

資料變數在加工期間收集，並包含在事件報告中。

製程資料變數 (DVID 1-99)

DVID	名稱	格式	單位	說明	隨報告
1	ProcessStartTime	A[14]	-	加工開始時間戳記	CEID 1001
2	ProcessEndTime	A[14]	-	加工結束時間戳記	CEID 1002
3	ProcessDuration	U4	sec	總加工時間	CEID 1002
4	ProcessRecipe	A[40]	-	執行的配方	CEID 1001, 1002
5	ProcessResult	U1	-	結果代碼	CEID 1002
6	StepNumber	U2	-	完成的步驟	CEID 1010
7	StepName	A[40]	-	完成的步驟名稱	CEID 1010
8	StepDuration	U4	sec	步驟持續時間	CEID 1010
10	AvgProcessTemp	F4	degC	平均溫度	CEID 1002
11	MaxProcessTemp	F4	degC	最高溫度	CEID 1002
12	AvgProcessPressure	F4	Torr	平均壓力	CEID 1002
13	TotalRFEnergy	F4	Wh	總 RF 能量	CEID 1002
14	TotalGasUsage	F4	scc	總氣體消耗量	CEID 1002

ProcessResult 值

值	結果	說明
0	SUCCESS	加工成功完成
1	ABORT	由操作員/主機中止加工
2	TIMEOUT	加工逾時
3	ERROR	發生加工錯誤
4	INTERLOCK	安全連鎖觸發

載具資料變數 (DVID 100-149)

DVID	名稱	格式	單位	說明	隨報告
100	CarrierID	A[80]	-	載具識別碼	CEID 2001-2010
101	PortID	U1	-	Load Port 編號	CEID 2001-2010
102	CarrierAccessMode	U1	-	載具存取模式	CEID 2001
103	ContentMap	L	-	槽位佔用映射	CEID 2003
104	SlotMap	L	-	詳細槽位映射	CEID 2004
105	SubstrateCountInCarrier	U2	-	基板數量	CEID 2003
106	CarrierUsage	A[20]	-	載具用途類型	CEID 2001
107	CarrierCapacity	U2	-	載具槽位數	CEID 2001

ContentMap 結構 (DVID 103)

<L[n]                              // n = 槽位數
  <L[2]
    <SlotID U1>                    // 槽位編號 (1-25)
    <SlotState U1>                 // 0=空, 1=佔用, 2=雙片, 3=跨槽
  >
  ...
>

SlotState 值

值	狀態	說明
0	EMPTY	槽位是空的
1	OCCUPIED	有基板存在
2	DOUBLE_SLOTTED	偵測到兩片基板
3	CROSS_SLOTTED	跨槽基板
4	UNKNOWN	無法判斷狀態

基板資料變數 (DVID 150-199)

DVID	名稱	格式	單位	說明	隨報告
150	SubstrateID	A[40]	-	基板識別碼	CEID 3001-3010
151	SubstrateLotID	A[40]	-	批次識別碼	CEID 3001
152	SubstrateType	U1	-	基板類型	CEID 3001
153	SourceCarrier	A[80]	-	來源載具 ID	CEID 3001
154	SourceSlot	U1	-	來源槽位編號	CEID 3001
155	DestCarrier	A[80]	-	目的地載具	CEID 3005
156	DestSlot	U1	-	目的地槽位	CEID 3005
157	SubstrateState	U1	-	目前狀態	CEID 3001-3010
158	SubstrateLocation	A[20]	-	目前位置	CEID 3002-3005
159	ProcessingResult	U1	-	加工結果	CEID 3004

SubstrateState 值

值	狀態	說明
0	AT_SOURCE	在來源位置
1	IN_PROCESS	加工中
2	AT_DESTINATION	在目的地
3	IN_TRANSIT	傳送中
4	REJECTED	已拒絕（失敗）
5	ABORTED	加工中止
6	STOPPED	由主機停止
7	SKIPPED	由主機跳過

量測資料變數 (DVID 200-249)

DVID	名稱	格式	單位	說明	隨報告
200	MeasuredThickness	F4	nm	薄膜厚度	CEID 4001
201	ThicknessUniformity	F4	%	厚度均勻性	CEID 4001
202	ThicknessRange	F4	nm	厚度範圍	CEID 4001
203	MeasuredRefractive	F4	-	折射率	CEID 4001
204	SheetResistance	F4	ohm/sq	片電阻	CEID 4002
205	ResistanceUniformity	F4	%	電阻均勻性	CEID 4002
210	DefectCount	U4	-	總缺陷數	CEID 4003
211	DefectDensity	F4	/cm2	缺陷密度	CEID 4003
212	KillerDefects	U4	-	致命缺陷數	CEID 4003
220	StressValue	F4	MPa	薄膜應力	CEID 4004
221	BowValue	F4	um	基板弓曲	CEID 4004
222	WarpValue	F4	um	基板翹曲	CEID 4004

作業資料變數 (DVID 250-299)

DVID	名稱	格式	單位	說明	隨報告
250	ProcessJobID	A[40]	-	製程作業 ID	CEID 5001-5010
251	ControlJobID	A[40]	-	控制作業 ID	CEID 5001-5010
252	JobState	U1	-	作業狀態	CEID 5001-5010
253	JobRecipe	A[40]	-	作業配方	CEID 5002
254	JobStartTime	A[14]	-	作業開始時間戳記	CEID 5002
255	JobEndTime	A[14]	-	作業結束時間戳記	CEID 5006
256	JobResult	U1	-	作業完成結果	CEID 5006
257	SubstratesPlanned	U2	-	計畫基板數	CEID 5002
258	SubstratesCompleted	U2	-	已完成基板數	CEID 5006
259	SubstratesFailed	U2	-	失敗基板數	CEID 5006

---

變數存取訊息

讀取狀態變數 (S1F3/S1F4)

請求 - 特定 SV：

S1F3 W
  <L[5]
    <U4 1>                         // Clock
    <U4 6>                         // ProcessState
    <U4 200>                       // ChamberTemperature
    <U4 300>                       // CurrentRecipe
    <U4 500>                       // OperatingHours
  >
.

回應：

S1F4
  <L[5]
    <A[14] "20250101120000">       // Clock
    <U1 1>                         // ProcessState = IDLE
    <F4 25.3>                      // ChamberTemperature
    <A[20] "PROD_RECIPE_001">      // CurrentRecipe
    <U4 12500>                     // OperatingHours
  >
.

讀取設備常數 (S2F13/S2F14)

請求：

S2F13 W
  <L[4]
    <U4 100>                       // DefaultProcessTemp
    <U4 101>                       // MaxProcessTemp
    <U4 130>                       // ProcessTimeout
    <U4 200>                       // CarrierSlotCount
  >
.

回應：

S2F14
  <L[4]
    <F4 25.0>                      // DefaultProcessTemp
    <F4 400.0>                     // MaxProcessTemp
    <U4 7200>                      // ProcessTimeout
    <U2 25>                        // CarrierSlotCount
  >
.

寫入設備常數 (S2F15/S2F16)

請求：

S2F15 W
  <L[3]
    <L[2]
      <U4 100>                     // ECID
      <F4 30.0>                    // 新的 DefaultProcessTemp
    >
    <L[2]
      <U4 130>                     // ECID
      <U4 10800>                   // 新的 ProcessTimeout
    >
    <L[2]
      <U4 202>                     // ECID
      <Boolean True>               // AutoLoadEnable
    >
  >
.

回應：

S2F16
  <B[1] 0x00>                      // EAC = 已接受
.

EAC 值

值	名稱	說明
0x00	OK	所有參數已接受
0x01	DENIED_INVALID	至少一個常數無效
0x02	DENIED_BUSY	設備忙碌
0x03	DENIED_ECID	無效的 ECID
0x04	DENIED_VALUE	值超出範圍

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實作備註

變數 ID 配置

建議的自訂 ID 範圍：

• SVID 1-99：系統變數（標準）
• SVID 100-199：設備狀態
• SVID 200-299：製程監控
• SVID 300-399：製程資料
• SVID 400-499：載具/Port (GEM 300)
• SVID 500-599：設備健康

• SVID 600-999：自訂/保留

• ECID 1-49：通訊

• ECID 50-99：計時器
• ECID 100-199：製程常數
• ECID 200-249：載具處理
• ECID 250-299：警報/事件

• ECID 300-999：自訂/保留

• DVID 1-99：製程資料

• DVID 100-149：載具資料
• DVID 150-199：基板資料
• DVID 200-249：量測資料
• DVID 250-299：作業資料
• DVID 300-999：自訂/保留