收集事件

1. 概述

收集事件 (CE) 是設備在發生重要事件時傳送給主機的通知。每個事件可以有關聯的報告，包含相關的資料變數。收集事件構成 GEM 資料收集功能的基礎，實現即時監控和工廠自動化。

1.1 關鍵概念

術語	說明
CEID	收集事件 ID - 每個事件的唯一識別碼
RPTID	報告 ID - 定義收集哪些變數
VID	變數 ID - 個別資料變數（SV、EC 或 DV）
DATAID	資料 ID - S6F11 訊息的交易識別碼

1.2 事件報告架構

flowchart LR subgraph Equipment CE[收集事件] --> RPT[報告] RPT --> VID1[變數 1] RPT --> VID2[變數 2] RPT --> VID3[變數 3] end CE -->|S6F11| Host

---

2. 收集事件定義

2.1 系統事件 (CEID 1-99)

CEID	事件名稱	說明	觸發條件
1	EquipmentOffline	設備轉換至 OFFLINE	控制狀態 = OFFLINE
2	EquipmentOnlineLocal	設備轉換至 ONLINE-LOCAL	控制狀態 = ONLINE-LOCAL
3	EquipmentOnlineRemote	設備轉換至 ONLINE-REMOTE	控制狀態 = ONLINE-REMOTE
4	ControlStateChange	控制狀態變更	任何控制狀態轉換
5	CommunicationEstablished	SECS-II 通訊已建立	S1F13/S1F14 已接受
6	CommunicationLost	主機通訊中斷	HSMS 斷線或 T3 逾時
7	SpoolingActivated	Spooling 開始	通訊中斷且 spool 啟用
8	SpoolingDeactivated	Spooling 停止	通訊恢復且 spool 已傳送
9	SpoolingFull	Spool 緩衝區已滿	Spool 容量已超出
10	HeartbeatFail	偵測到心跳失敗	S1F1 無回應

2.2 操作員事件 (CEID 20-49)

CEID	事件名稱	說明	觸發條件
20	OperatorLogin	操作員登入	驗證成功
21	OperatorLogout	操作員登出	登出或工作階段逾時
22	OperatorCommandIssued	操作員發出命令	手動命令輸入
23	OperatorRecipeSelect	操作員選擇配方	透過 HMI 選擇配方
24	OperatorModeChange	操作員變更設備模式	模式切換（AUTO/MANUAL）
25	OperatorAlarmAck	操作員確認警報	警報確認
26	OperatorParameterChange	操作員變更參數	透過 HMI 修改 EC
27	OperatorMaintenanceStart	進入維護模式	維護鑰匙開啟
28	OperatorMaintenanceEnd	退出維護模式	維護鑰匙關閉

2.3 加工事件 (CEID 100-199)

CEID	事件名稱	說明	觸發條件
100	ProcessStateChange	加工狀態變更	任何加工狀態轉換
101	ProcessStarted	加工執行開始	加工開始
102	ProcessCompleted	加工成功完成	加工正常結束
103	ProcessAborted	加工中止	加工異常終止
104	ProcessPaused	加工暫停	加工保持條件
105	ProcessResumed	加工恢復	加工重新啟動
106	ProcessStepChange	加工步驟變更	配方步驟轉換
107	ProcessStepCompleted	加工步驟完成	配方步驟結束
108	WaitingForOperator	等待操作員輸入	需要操作員介入
109	WaitingForMaterial	等待物料	物料不存在
110	ProcessIdleEntered	進入 IDLE 狀態	加工就緒，無作業
111	ProcessSetupEntered	進入 SETUP 狀態	準備加工
112	ProcessExecutingEntered	進入 EXECUTING 狀態	正在加工
115	ProcessCycleStart	加工週期開始	週期開始
116	ProcessCycleEnd	加工週期完成	週期結束
117	RecipeStepStart	配方步驟開始	步驟執行開始
118	RecipeStepEnd	配方步驟結束	步驟執行結束

2.4 物料/載具事件 (CEID 200-299)

CEID	事件名稱	說明	觸發條件
200	MaterialReceived	物料到達設備	在 Load Port 偵測到物料
201	MaterialRemoved	物料從設備移除	物料從 Load Port 移除
202	SlotMapRead	槽位映射讀取完成	映射序列完成
203	SlotMapReadFailed	槽位映射讀取失敗	映射錯誤
204	CarrierClamped	載具已夾持	夾持感測器開啟
205	CarrierUnclamped	載具已鬆開	夾持感測器關閉
206	CarrierDocked	載具已對接	對接感測器開啟
207	CarrierUndocked	載具已脫離	對接感測器關閉
208	CarrierIDRead	載具 ID 已讀取	條碼/RFID 讀取成功
209	CarrierIDReadFailed	載具 ID 讀取失敗	條碼/RFID 讀取錯誤
210	CarrierAccessModeChange	存取模式變更	手動/自動切換
220	SubstrateLocationChange	基板位置變更	基板已移動
221	SubstrateProcessStart	基板加工開始	個別基板開始
222	SubstrateProcessEnd	基板加工結束	個別基板結束
223	SubstrateIDRead	基板 ID 已讀取	基板 ID 驗證
224	SubstrateIDMismatch	基板 ID 不符	ID 驗證失敗

2.5 警報事件 (CEID 300-399)

CEID	事件名稱	說明	觸發條件
300	AlarmSet	偵測到警報條件	任何警報啟動
301	AlarmCleared	警報條件已清除	任何警報解除
302	AlarmAcknowledged	警報已確認	操作員/主機確認
303	PersonalSafetyAlarm	人員安全警報設定	類別 1 警報
304	EquipmentSafetyAlarm	設備安全警報設定	類別 2 警報
305	IrrecoverableError	不可復原錯誤	類別 5 警報
306	WarningAlarm	警告條件	類別 6 警報

2.6 配方事件 (CEID 400-499)

CEID	事件名稱	說明	觸發條件
400	RecipeSelected	已選擇配方進行加工	配方啟用
401	RecipeStarted	配方執行開始	配方開始
402	RecipeCompleted	配方執行完成	配方正常結束
403	RecipeAborted	配方執行中止	配方終止
404	RecipeUploaded	配方已上傳至主機	S7F26 完成
405	RecipeDownloaded	配方已從主機下載	S7F3 完成
406	RecipeDeleted	配方已刪除	S7F17 完成
407	RecipeCreated	已建立新配方	配方已儲存
408	RecipeModified	配方已修改	配方已編輯
409	RecipeVerified	配方驗證完成	校驗和已驗證
410	RecipeVerificationFailed	配方驗證失敗	校驗和不符

2.7 作業事件 (CEID 500-599)

CEID	事件名稱	說明	觸發條件
500	ProcessJobCreated	製程作業已建立	PRJob 已接收
501	ProcessJobQueued	製程作業已排隊	PRJob 已接受
502	ProcessJobStarted	製程作業已開始	PRJob 執行開始
503	ProcessJobCompleted	製程作業已完成	PRJob 正常結束
504	ProcessJobAborted	製程作業已中止	PRJob 終止
505	ProcessJobPaused	製程作業已暫停	PRJob 保持
506	ProcessJobResumed	製程作業已恢復	PRJob 重新啟動
507	ProcessJobStateChange	製程作業狀態變更	任何狀態轉換
510	ControlJobCreated	控制作業已建立	CJob 已接收
511	ControlJobQueued	控制作業已排隊	CJob 已接受
512	ControlJobStarted	控制作業已開始	CJob 執行開始
513	ControlJobCompleted	控制作業已完成	CJob 正常結束
514	ControlJobAborted	控制作業已中止	CJob 終止
515	ControlJobStateChange	控制作業狀態變更	任何狀態轉換

2.8 設備狀態事件 (CEID 600-699)

CEID	事件名稱	說明	觸發條件
600	EquipmentConstantChange	設備常數已變更	EC 值已修改
601	ClockSync	時鐘已同步	時間更新完成
602	SoftwareVersionChange	軟體版本已變更	軟體更新
603	ConfigurationChange	組態已變更	組態檔已修改
604	InitializationComplete	設備初始化完成	開機序列完成
605	ShutdownInitiated	設備關機已啟動	關機命令
610	LoadPortStateChange	Load Port 狀態變更	LP 狀態變更
611	RobotStatusChange	機器人狀態變更	機器人狀態變更
612	ChamberStatusChange	腔體狀態變更	腔體狀態變更
613	TemperatureChange	已達到溫度限制	溫度閾值
614	PressureChange	已達到壓力限制	壓力閾值
615	UtilityStatusChange	公用設施狀態變更	公用設施警報

---

3. 報告定義

3.1 系統報告 (RPTID 1-9)

RPTID	報告名稱	變數 (VIDs)
1	RPT_SystemState	Clock, ControlState, ProcessState, PreviousControlState
2	RPT_ControlState	Clock, ControlState, PreviousControlState
3	RPT_CommState	Clock, CommunicationState, ConnectedTime
4	RPT_SpoolState	Clock, SpoolState, SpoolCount, SpoolFullFlag
5	RPT_EquipmentStatus	Clock, ControlState, ProcessState, AlarmCount

3.2 操作員報告 (RPTID 10-19)

RPTID	報告名稱	變數 (VIDs)
10	RPT_Operator	Clock, OperatorID, OperatorLevel
11	RPT_OperatorCmd	Clock, OperatorID, CommandID, CommandParam
12	RPT_OperatorRecipe	Clock, OperatorID, RecipeID, RecipeVersion
13	RPT_OperatorMaint	Clock, OperatorID, MaintenanceCode

3.3 加工報告 (RPTID 20-39)

RPTID	報告名稱	變數 (VIDs)
20	RPT_ProcessState	Clock, ProcessState, PreviousProcessState
21	RPT_ProcessStart	Clock, ProcessJobID, RecipeID, LotID, StartSubstrateCount
22	RPT_ProcessEnd	Clock, ProcessJobID, RecipeID, LotID, ProcessTime, ProcessResult, ProcessedCount, GoodCount, BadCount
23	RPT_ProcessStep	Clock, ProcessJobID, StepNumber, StepName, StepTime
24	RPT_ProcessCycle	Clock, CycleNumber, CycleTime, CycleResult
25	RPT_ProcessParam	Clock, ProcessTemp, ProcessPressure, ProcessPower, ProcessTime

3.4 物料報告 (RPTID 40-59)

RPTID	報告名稱	變數 (VIDs)
40	RPT_Material	Clock, CarrierID, LotID, PortID, MaterialStatus
41	RPT_SlotMap	Clock, CarrierID, PortID, SlotMap, SlotCount, SubstrateCount
42	RPT_Carrier	Clock, CarrierID, CarrierType, CarrierState, ContentMap
43	RPT_Substrate	Clock, SubstrateID, SubstrateType, SlotNumber, SubstrateState
44	RPT_SubstrateLoc	Clock, SubstrateID, PreviousLocation, CurrentLocation
45	RPT_SubstrateProc	Clock, SubstrateID, ProcessResult, ProcessData

3.5 警報報告 (RPTID 60-69)

RPTID	報告名稱	變數 (VIDs)
60	RPT_Alarm	Clock, ALID, ALCD, ALTX, AlarmState
61	RPT_AlarmDetail	Clock, ALID, ALCD, ALTX, AlarmSetTime, AlarmSource, AlarmAction
62	RPT_AlarmSummary	Clock, ActiveAlarmCount, AlarmList

3.6 配方報告 (RPTID 70-79)

RPTID	報告名稱	變數 (VIDs)
70	RPT_Recipe	Clock, RecipeID, RecipeVersion, RecipeStatus
71	RPT_RecipeTransfer	Clock, RecipeID, TransferDirection, TransferResult
72	RPT_RecipeVerify	Clock, RecipeID, VerifyResult, Checksum

3.7 作業報告 (RPTID 80-99)

RPTID	報告名稱	變數 (VIDs)
80	RPT_ProcessJob	Clock, ProcessJobID, ProcessJobState, RecipeID, MtrlOrder
81	RPT_ControlJob	Clock, ControlJobID, ControlJobState, ProcessingCtrlSpec
82	RPT_JobComplete	Clock, JobID, JobType, JobResult, JobTime, ProcessedCount

---

4. 事件-報告連結（預設設定）

4.1 系統事件連結

CEID	事件名稱	連結的 RPTIDs
1	EquipmentOffline	1, 2
2	EquipmentOnlineLocal	1, 2
3	EquipmentOnlineRemote	1, 2
4	ControlStateChange	2
5	CommunicationEstablished	3
6	CommunicationLost	3
7	SpoolingActivated	4
8	SpoolingDeactivated	4

4.2 加工事件連結

CEID	事件名稱	連結的 RPTIDs
100	ProcessStateChange	20
101	ProcessStarted	20, 21
102	ProcessCompleted	20, 22
103	ProcessAborted	20, 22
106	ProcessStepChange	23

4.3 物料事件連結

CEID	事件名稱	連結的 RPTIDs
200	MaterialReceived	40
201	MaterialRemoved	40
202	SlotMapRead	41
208	CarrierIDRead	42
220	SubstrateLocationChange	44

---

5. 事件設定訊息

5.1 S2F33 - 定義報告

定義報告中包含哪些變數。

S2F33 W
  <L[n]                         // 要定義的 n 個報告
    <L[2]
      <RPTID>                   // 報告 ID
      <L[m]                     // 報告中的 m 個變數
        <VID>                   // 變數 ID
        ...
      >
    >
    ...
  >
.

範例 - 定義自訂加工報告：

S2F33 W
  <L[1]
    <L[2]
      <U4 100>                  // RPTID = 100（自訂）
      <L[6]
        <U4 1>                  // Clock
        <U4 201>                // RecipeID
        <U4 301>                // ProcessTemp
        <U4 302>                // ProcessPressure
        <U4 303>                // ProcessTime
        <U4 210>                // ProcessResult
      >
    >
  >
.

5.2 S2F34 - 定義報告確認

S2F34
  <DRACK>                       // 定義報告確認碼
.

DRACK	說明
0x00	OK，已接受
0x01	空間不足
0x02	格式無效
0x03	RPTID 已定義
0x04	VID 不存在

5.3 S2F35 - 連結事件報告

將報告連結到收集事件。

S2F35 W
  <L[n]                         // 要設定的 n 個事件
    <L[2]
      <CEID>                    // 收集事件 ID
      <L[m]                     // 要連結的 m 個報告
        <RPTID>
        ...
      >
    >
    ...
  >
.

範例 - 將報告連結到加工完成：

S2F35 W
  <L[1]
    <L[2]
      <U4 102>                  // CEID = ProcessCompleted
      <L[2]
        <U4 20>                 // RPT_ProcessState
        <U4 100>                // 自訂加工報告
      >
    >
  >
.

5.4 S2F36 - 連結事件報告確認

S2F36
  <LRACK>                       // 連結報告確認碼
.

LRACK	說明
0x00	OK，已接受
0x01	空間不足
0x02	格式無效
0x03	CEID 不存在
0x04	RPTID 不存在

5.5 S2F37 - 啟用/停用事件報告

S2F37 W
  <L[2]
    <CEED>                      // 0=停用，1=啟用
    <L[n]                       // n 個事件（空=全部）
      <CEID>
      ...
    >
  >
.

範例 - 啟用特定事件：

S2F37 W
  <L[2]
    <Boolean 1>                 // 啟用
    <L[5]
      <U4 101>                  // ProcessStarted
      <U4 102>                  // ProcessCompleted
      <U4 200>                  // MaterialReceived
      <U4 201>                  // MaterialRemoved
      <U4 300>                  // AlarmSet
    >
  >
.

範例 - 啟用所有事件：

S2F37 W
  <L[2]
    <Boolean 1>                 // 啟用
    <L[0]>                      // 空 = 所有事件
  >
.

5.6 S2F38 - 啟用/停用事件報告確認

S2F38
  <ERACK>                       // 事件報告確認碼
.

ERACK	說明
0x00	OK，已接受
0x01	CEID 不存在

---

6. 事件通知 (S6F11/S6F12)

6.1 S6F11 - 事件報告傳送

S6F11 W
  <L[3]
    <DATAID>                    // 資料 ID（交易 ID）
    <CEID>                      // 收集事件 ID
    <L[n]                       // n 個連結的報告
      <L[2]
        <RPTID>                 // 報告 ID
        <L[m]                   // m 個變數
          <V>                   // 變數值
          ...
        >
      >
      ...
    >
  >
.

6.2 S6F11 範例

範例 1 - 加工完成事件：

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 12345>                          // DATAID
    <U4 102>                            // CEID = ProcessCompleted
    <L[2]
      <L[2]
        <U4 20>                         // RPTID = RPT_ProcessState
        <L[2]
          <A[14] "20250101143022">      // Clock
          <U1 1>                        // ProcessState = IDLE
        >
      >
      <L[2]
        <U4 22>                         // RPTID = RPT_ProcessEnd
        <L[9]
          <A[14] "20250101143022">      // Clock
          <A[20] "PJOB_20250101_001">   // ProcessJobID
          <A[20] "RECIPE_PROD_A">       // RecipeID
          <A[20] "LOT_2025_0001">       // LotID
          <U4 3600>                     // ProcessTime（秒）
          <U1 0>                        // ProcessResult（0=OK）
          <U4 25>                       // ProcessedCount
          <U4 24>                       // GoodCount
          <U4 1>                        // BadCount
        >
      >
    >
  >
.

範例 2 - 物料接收事件：

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 12346>                          // DATAID
    <U4 200>                            // CEID = MaterialReceived
    <L[1]
      <L[2]
        <U4 40>                         // RPTID = RPT_Material
        <L[5]
          <A[14] "20250101090000">      // Clock
          <A[20] "CARRIER_001">         // CarrierID
          <A[20] "LOT_2025_0002">       // LotID
          <U1 1>                        // PortID
          <U1 1>                        // MaterialStatus（1=存在）
        >
      >
    >
  >
.

範例 3 - 警報設定事件：

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 12347>                          // DATAID
    <U4 300>                            // CEID = AlarmSet
    <L[1]
      <L[2]
        <U4 60>                         // RPTID = RPT_Alarm
        <L[5]
          <A[14] "20250101102530">      // Clock
          <U4 3001>                     // ALID
          <B[1] 0x86>                   // ALCD（設定 + 類別 6）
          <A[30] "Temperature High Warning">  // ALTX
          <U1 1>                        // AlarmState（1=啟用）
        >
      >
    >
  >
.

6.3 S6F12 - 事件報告確認

S6F12
  <ACKC6>                       // 確認碼
.

ACKC6	說明
0x00	已接受
0x01-0x3F	錯誤（請參閱附錄 B）

---

7. 事件查詢訊息

7.1 S6F15 - 事件報告請求

請求事件連結變數的目前值。

S6F15 W
  <CEID>                        // 收集事件 ID
.

7.2 S6F16 - 事件報告資料

S6F16
  <L[3]
    <DATAID>
    <CEID>
    <L[n]                       // 報告資料（與 S6F11 相同）
      <L[2]
        <RPTID>
        <L[m]
          <V>
          ...
        >
      >
      ...
    >
  >
.

---

8. 事件流程序列

8.1 初始事件設定

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: 通訊建立後 H->>E: S2F33 W（定義報告） E-->>H: S2F34（DRACK=0） H->>E: S2F35 W（連結事件到報告） E-->>H: S2F36（LRACK=0） H->>E: S2F37 W（啟用事件） E-->>H: S2F38（ERACK=0） Note over H,E: 事件現在已啟用

8.2 加工完成事件流程

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over E: 加工完成 E->>H: S6F11 W（CEID=102，ProcessCompleted） Note right of E: 包含：<br/>- ProcessJobID<br/>- RecipeID<br/>- ProcessResult<br/>- ProcessTime H-->>E: S6F12（ACKC6=0） Note over H: 主機記錄結果<br/>並更新 MES

8.3 載具到達事件流程

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over E: 載具放置於 Port E->>H: S6F11 W（CEID=200，MaterialReceived） H-->>E: S6F12（ACKC6=0） E->>H: S6F11 W（CEID=208，CarrierIDRead） Note right of E: 包含 CarrierID H-->>E: S6F12（ACKC6=0） E->>H: S6F11 W（CEID=202，SlotMapRead） Note right of E: 包含 SlotMap H-->>E: S6F12（ACKC6=0）

---

9. 實作指南

9.1 事件啟用狀態

預設狀態	事件
永遠啟用	ControlStateChange, AlarmSet, AlarmCleared
啟用	ProcessStarted, ProcessCompleted, MaterialReceived
停用	ProcessStepChange, SubstrateLocationChange

9.2 事件佇列管理

參數	典型值	說明
MaxQueueSize	1000	最大排隊事件數
QueueOverflowAction	DropOldest	佇列滿時的處理方式
EventTimeout	45 秒	S6F12 的 T3 逾時

9.3 多報告事件

單一事件可以觸發多個報告。這適用於： - 結合狀態資料與加工資料 - 包含摘要和詳細資訊 - 支援不同的主機需求

9.4 追蹤資料替代方案

對於高頻資料收集（>1 Hz），使用追蹤資料（S2F23/S6F1）而非收集事件，以避免訊息氾濫。

---

10. 實作檢查清單

功能	必要	備註
S6F11/F12 事件傳送	是	核心事件報告
S2F33/F34 定義報告	是	報告設定
S2F35/F36 連結事件	是	事件-報告連結
S2F37/F38 啟用事件	是	事件啟用/停用
S6F15/F16 事件查詢	選用	隨選查詢
事件佇列	是	主機延遲時的緩衝
Spool 支援	是	通訊中斷時的事件
預設事件集	是	工廠預設設定