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遠端指令

1. 概述

遠端指令(RCMD)允許主機控制設備操作。指令透過 S2F41 發送,並透過 S2F42 確認。

2. 指令執行要求

2.1 先決條件

遠端指令被接受的條件: - 設備必須處於 ON-LINE REMOTE 控制狀態 - 設備必須處於適當的處理狀態 - 無安全連鎖啟動

2.2 指令拒絕

指令被拒絕(HCACK ≠ 0)的情況: - 設備處於 ON-LINE LOCAL 或 OFF-LINE 狀態 - 設備不在該指令的有效處理狀態 - 無效的指令名稱或參數 - 安全或連鎖違規

3. 遠端指令定義

3.1 製程控制指令

RCMD 說明 有效狀態 參數
START 開始處理 IDLE RecipeID(選用)
STOP 在安全點停止 EXECUTING
ABORT 立即中止 EXECUTING、PAUSED、SETTING UP
PAUSE 暫停處理 EXECUTING
RESUME 從暫停恢復 PAUSED

3.2 配方指令

RCMD 說明 有效狀態 參數
PP_SELECT 選擇處理程式 IDLE RecipeID
PP_CLEAR 清除選擇的配方 IDLE

3.3 設備指令

RCMD 說明 有效狀態 參數
INIT 初始化設備 任何
RESET 重置設備 任何
HOME 所有軸回原點 IDLE

3.4 自訂指令

RCMD 說明 有效狀態 參數
[CMD1] [說明] [狀態] [參數]
[CMD2] [說明] [狀態] [參數]

4. 指令參數

4.1 START 指令參數

CPNAME 類型 必要 說明
RecipeID A 要執行的配方(未指定則使用目前配方)
LotID A 批次識別碼,用於追蹤
[自訂參數] [類型] [是/否] [說明]

4.2 PP_SELECT 指令參數

CPNAME 類型 必要 說明
RecipeID A 要選擇的配方識別碼

5. 相關訊息

5.1 S2F41 - 主機指令發送

結構:

S2F41 W
<L[2]
  <RCMD>              // 遠端指令名稱
  <L[n]               // 指令參數
    <L[2]
      <CPNAME>        // 參數名稱
      <CPVAL>         // 參數值
    >
    ...
  >
>

5.2 S2F42 - 主機指令確認

結構:

S2F42
<L[2]
  <HCACK>             // 指令確認代碼
  <L[n]               // 參數確認(每個參數)
    <L[2]
      <CPNAME>
      <CPACK>         // 參數確認代碼
    >
    ...
  >
>

6. 回應代碼

6.1 HCACK - 主機指令確認

說明
0 確認,指令已接受
1 拒絕,無效指令
2 拒絕,目前無法執行
3 拒絕,參數錯誤
4 確認,指令將稍後執行
5 拒絕,已在所需狀態
6 拒絕,無此物件

6.2 CPACK - 指令參數確認

說明
1 參數名稱無效
2 CPVAL 值非法
3 CPVAL 值超出範圍

7. 指令執行序列

7.1 START 指令

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: 狀態:IDLE Host->>Equipment: S2F41 (RCMD="START", RecipeID="RECIPE001") Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: 狀態:SETTING UP Equipment->>Host: S6F11 (ProcessStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: 狀態:EXECUTING Equipment->>Host: S6F11 (ProcessStarted) Host-->>Equipment: S6F12

7.2 PAUSE 和 RESUME

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: 狀態:EXECUTING Host->>Equipment: S2F41 (RCMD="PAUSE") Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: 狀態:PAUSED Equipment->>Host: S6F11 (ProcessPaused) Host-->>Equipment: S6F12 Host->>Equipment: S2F41 (RCMD="RESUME") Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: 狀態:EXECUTING Equipment->>Host: S6F11 (ProcessResumed) Host-->>Equipment: S6F12

7.3 ABORT 指令

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: 狀態:EXECUTING Host->>Equipment: S2F41 (RCMD="ABORT") Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0) Note over Equipment: 狀態:ABORTING Equipment->>Host: S6F11 (ProcessStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: 中止完成 Note over Equipment: 狀態:IDLE Equipment->>Host: S6F11 (ProcessAborted) Host-->>Equipment: S6F12

7.4 指令被拒絕

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: 狀態:EXECUTING(無法 START) Host->>Equipment: S2F41 (RCMD="START") Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=2, 目前無法執行) Note over Equipment: 無狀態變更

8. 指令狀態矩陣

RCMD IDLE SETTING UP READY EXECUTING PAUSED ABORTING
START v - - - - -
STOP - - - v - -
ABORT - v v v v -
PAUSE - - - v - -
RESUME - - - - v -
PP_SELECT v - - - - -
INIT v v v v v v
RESET v - - - - -

v = 指令接受,- = 指令拒絕(HCACK=2)

9. 相關收集事件

CEID 名稱 說明
[6001] RemoteCommandReceived 從主機收到遠端指令
[6002] RemoteCommandCompleted 遠端指令執行完成
[6003] RemoteCommandFailed 遠端指令執行失敗

10. 實作注意事項

10.1 指令佇列

  • 預設將指令排入佇列
  • 如果指令無法立即執行,則被拒絕(HCACK=2)
  • 例外:HCACK=4 表示指令將稍後執行

10.2 非同步執行

  • S2F42 確認指令收到,而非完成
  • 指令完成透過收集事件指示
  • 主機應監控事件以取得指令狀態

10.3 指令逾時

指令 典型逾時 備註
START 30 秒 直到 EXECUTING 狀態
STOP 60 秒 直到 IDLE 狀態
ABORT 10 秒 直到 IDLE 狀態
PAUSE 30 秒 直到 PAUSED 狀態