處理程式管理¶
1. 概述¶
處理程式(配方)管理使主機能夠在設備上傳輸、管理和控制配方。這遵循 SEMI E30(GEM)並使用 Stream 7 訊息。
2. 處理程式概念¶
2.1 術語¶
| 術語 | 說明 |
|---|---|
| PPID | 處理程式 ID - 唯一的配方識別碼 |
| PPBODY | 處理程式主體 - 配方內容/資料 |
| Formatted PP | 格式化處理程式 - 具有定義參數的結構化配方 |
| Unformatted PP | 非格式化處理程式 - 二進位/專有配方格式 |
2.2 配方格式¶
本設備使用:[Formatted / Unformatted / Both]
3. 配方儲存¶
| 參數 | 值 |
|---|---|
| 最大配方數 | [100] |
| 最大 PPID 長度 | [64] 字元 |
| 最大 PPBODY 大小 | [1 MB] |
| 儲存類型 | 非揮發性 |
4. 相關訊息¶
| 訊息 | 方向 | 說明 |
|---|---|---|
| S7F1 | H→E | 處理程式載入詢問 |
| S7F2 | E→H | 處理程式載入授權 |
| S7F3 | H→E | 處理程式發送 |
| S7F4 | E→H | 處理程式確認 |
| S7F5 | H→E | 處理程式請求 |
| S7F6 | E→H | 處理程式資料 |
| S7F17 | H→E | 刪除處理程式發送 |
| S7F18 | E→H | 刪除處理程式確認 |
| S7F19 | H→E | 目前 EPPD 請求 |
| S7F20 | E→H | 目前 EPPD 資料 |
| S7F23 | H→E | 格式化處理程式發送 |
| S7F24 | E→H | 格式化處理程式確認 |
| S7F25 | H→E | 格式化處理程式請求 |
| S7F26 | E→H | 格式化處理程式資料 |
5. 配方下載(主機到設備)¶
5.1 非格式化配方下載¶
sequenceDiagram
participant Host
participant Equipment
Note over Host,Equipment: 詢問階段
Host->>Equipment: S7F1 (PPID, Length)
Equipment-->>Host: S7F2 (PPGNT=0, OK)
Note over Host,Equipment: 傳輸階段
Host->>Equipment: S7F3 (PPID, PPBODY)
Equipment-->>Host: S7F4 (ACKC7=0)
Note over Equipment: 配方已儲存
5.2 S7F1 - 處理程式載入詢問¶
結構:
5.3 S7F2 - 處理程式載入授權¶
結構:
PPGNT 值:
| 值 | 說明 |
|---|---|
| 0 | OK |
| 1 | 已存在 |
| 2 | 空間不足 |
| 3 | 無效的 PPID |
| 4 | 忙碌,稍後再試 |
| 5 | 不接受 |
5.4 S7F3 - 處理程式發送¶
結構:
5.5 S7F4 - 處理程式確認¶
結構:
ACKC7 值:
| 值 | 說明 |
|---|---|
| 0 | 已接受 |
| 1 | 未授權 |
| 2 | 長度錯誤 |
| 3 | 矩陣溢位 |
| 4 | PPID 未找到 |
| 5 | 模式不支援 |
| 6 | 非同步完成 |
6. 配方上傳(設備到主機)¶
6.1 非格式化配方上傳¶
sequenceDiagram
participant Host
participant Equipment
Host->>Equipment: S7F5 (PPID)
Equipment-->>Host: S7F6 (PPID, PPBODY)
6.2 S7F5 - 處理程式請求¶
結構:
6.3 S7F6 - 處理程式資料¶
結構:
如果 PPID 未找到,回傳:
7. 格式化配方傳輸¶
7.1 格式化配方結構¶
格式化配方使用標準化的參數結構:
7.2 格式化配方參數¶
| 參數 | 類型 | 說明 |
|---|---|---|
[Param1] |
[類型] |
[說明] |
[Param2] |
[類型] |
[說明] |
8. 配方刪除¶
8.1 S7F17 - 刪除處理程式發送¶
結構:
刪除所有配方:<L[0]>
8.2 S7F18 - 刪除處理程式確認¶
結構:
9. 配方清單查詢¶
9.1 S7F19 - 目前 EPPD 請求¶
請求已儲存配方清單:
結構:
9.2 S7F20 - 目前 EPPD 資料¶
結構:
10. 配方選擇¶
配方透過以下方式選擇執行:
- 遠端指令:S2F41 使用 RCMD="PP_SELECT" 或 START 並帶 RecipeID
- 操作員選擇:本地操作員介面
11. 配方流程序列¶
11.1 完整配方管理流程¶
sequenceDiagram
participant Host
participant Equipment
Note over Host,Equipment: 1. 查詢現有配方
Host->>Equipment: S7F19 (清單請求)
Equipment-->>Host: S7F20 (PPID 清單)
Note over Host,Equipment: 2. 下載新配方
Host->>Equipment: S7F1 (詢問)
Equipment-->>Host: S7F2 (授權)
Host->>Equipment: S7F3 (發送配方)
Equipment-->>Host: S7F4 (確認)
Note over Host,Equipment: 3. 選擇並啟動
Host->>Equipment: S2F41 (START, RecipeID)
Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0)
Note over Host,Equipment: 4. 上傳以驗證
Host->>Equipment: S7F5 (請求)
Equipment-->>Host: S7F6 (配方資料)
12. 相關狀態變數¶
| SVID | 名稱 | 類型 | 說明 |
|---|---|---|---|
[7001] |
SelectedRecipe | A | 目前選擇的配方 ID |
[7002] |
RecipeCount | U2 | 已儲存的配方數量 |
[7003] |
RecipeSpaceAvailable | U4 | 可用儲存空間(位元組) |
13. 相關收集事件¶
| CEID | 名稱 | 說明 |
|---|---|---|
| 400 | RecipeSelected | 已選擇配方進行處理 |
| 401 | RecipeUploaded | 配方已上傳至主機 |
| 402 | RecipeDownloaded | 配方已從主機下載 |
| 403 | RecipeDeleted | 配方已刪除 |
14. 錯誤處理¶
14.1 下載錯誤¶
| 情境 | 回應 |
|---|---|
| 儲存空間已滿 | S7F2 (PPGNT=2) |
| 無效的 PPID | S7F2 (PPGNT=3) |
| 傳輸錯誤 | S7F4 (ACKC7=2) |
14.2 上傳錯誤¶
| 情境 | 回應 |
|---|---|
| 配方未找到 | S7F6 回傳空清單 |
14.3 配方驗證¶
設備驗證下載的配方: - 語法正確性 - 參數範圍 - 設備相容性 - 版本相容性
驗證錯誤將導致 S7F4(ACKC7≠0)。