存取模式（SEMI E87）¶

1. 概述¶

存取模式決定誰有權限在裝載埠發起載具/基板操作。這類似於 GEM 200 中的控制狀態（本地/遠端）概念，但應用在裝載埠層級。

2. 存取模式狀態¶

模式	說明
MANUAL	操作員擁有控制權。主機命令被拒絕。
AUTO	主機擁有控制權。允許自動操作。

3. 存取模式狀態圖¶

stateDiagram-v2 [*] --> MANUAL MANUAL --> AUTO: 主機請求 AUTO<br/>且操作員核准 AUTO --> MANUAL: 操作員請求 MANUAL<br/>或主機請求 MANUAL

4. 存取模式行為¶

4.1 MANUAL 模式¶

在 MANUAL 模式下： - 操作員控制載具裝載/卸載 - 主機無法發起載具操作 - 主機仍可讀取狀態和事件 - 操作員可手動啟動處理

4.2 AUTO 模式¶

在 AUTO 模式下： - 主機控制載具操作 - AMHS 整合啟動 - 自動載具裝載/卸載 - 主機透過工作發起處理

5. 存取模式轉換¶

5.1 手動轉自動¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment participant Operator Note over Equipment: 模式：MANUAL Host->>Equipment: S3F21 W (Request AUTO, Port=1) opt 需要操作員核准 Equipment->>Operator: 請求模式變更 Operator->>Equipment: 核准 end Equipment-->>Host: S3F22 (Success) Note over Equipment: 模式：AUTO Equipment->>Host: S6F11 (AccessModeChange) Host-->>Equipment: S6F12

5.2 自動轉手動¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment participant Operator Note over Equipment: 模式：AUTO alt 主機發起 Host->>Equipment: S3F21 W (Request MANUAL) Equipment-->>Host: S3F22 (Success) else 操作員發起 Operator->>Equipment: 切換至 MANUAL end Note over Equipment: 模式：MANUAL Equipment->>Host: S6F11 (AccessModeChange) Host-->>Equipment: S6F12

6. 相關訊息¶

6.1 S3F21 - 埠存取模式變更請求¶

結構：

S3F21 W
<L[3]
  <DATAID>
  <ACCESSMODE>         // 0=MANUAL, 1=AUTO
  <L[n]                // 埠清單
    <PORTID>
    ...
  >
>

6.2 S3F22 - 埠存取模式變更確認¶

結構：

S3F22
<L[2]
  <ACCESSMODERESULT>   // 整體結果
  <L[n]                // 每埠結果
    <L[2]
      <PORTID>
      <PORTRESULT>
    >
    ...
  >
>

ACCESSMODERESULT 值：

值	說明
0	成功
1	至少一個埠失敗
2	所有埠失敗

7. 命令接受矩陣¶

命令	MANUAL	AUTO
主機裝載請求	拒絕	接受
主機卸載請求	拒絕	接受
操作員裝載	接受	接受
操作員卸載	接受	接受
狀態查詢	接受	接受
事件報告	啟動	啟動

8. 相關狀態變數¶

SVID	名稱	類型	說明
`[9101]`	Port1AccessMode	U1	LP1 存取模式（0=MANUAL, 1=AUTO）
`[9102]`	Port2AccessMode	U1	LP2 存取模式

9. 相關收集事件¶

CEID	名稱	說明
`[9101]`	AccessModeChange	存取模式變更
`[9102]`	AccessModeManual	變更為 MANUAL
`[9103]`	AccessModeAuto	變更為 AUTO

10. 預設配置¶

參數	值
初始存取模式	`[MANUAL/AUTO]`
AUTO 需要操作員核准	`[是/否]`
每埠 vs. 整機	每埠

11. 錯誤處理¶

錯誤條件	回應
載具操作進行中	模式變更被拒絕
操作員不核准	模式變更被拒絕
無效埠	S3F22 中的埠特定錯誤

12. 與控制狀態的整合¶

存取模式與設備控制狀態協同運作：

控制狀態	存取模式	行為
ONLINE REMOTE	AUTO	完全主機自動化
ONLINE REMOTE	MANUAL	主機遠端，但 LP 手動
ONLINE LOCAL	AUTO	操作員控制，LP 自動
ONLINE LOCAL	MANUAL	完全操作員控制