製程作業狀態模型（SEMI E40）¶

1. 概述¶

製程作業（PJ）狀態模型定義了製程作業的生命週期，依據 SEMI E40（製程作業管理）規範。製程作業代表使用特定配方處理特定基板的請求。

2. 製程作業狀態圖¶

stateDiagram-v2 [*] --> QUEUED: Create Job QUEUED --> SETTING_UP: Start command QUEUED --> [*]: Abort / Cancel SETTING_UP --> WAITING_FOR_START: Setup complete SETTING_UP --> PROCESSING: Auto-start SETTING_UP --> ABORTING: Abort command SETTING_UP --> QUEUED: Setup failed WAITING_FOR_START --> PROCESSING: Start command WAITING_FOR_START --> ABORTING: Abort command PROCESSING --> PROCESS_COMPLETE: All substrates done PROCESSING --> PAUSING: Pause command PROCESSING --> ABORTING: Abort command PROCESSING --> STOPPING: Stop command PAUSING --> PAUSED: Pause complete PAUSED --> PROCESSING: Resume command PAUSED --> ABORTING: Abort command STOPPING --> QUEUED: Stop complete ABORTING --> QUEUED: Abort complete (partial) ABORTING --> [*]: Abort complete (full) PROCESS_COMPLETE --> [*]: Job removed

3. 狀態定義¶

狀態	說明
QUEUED	作業已建立，等待啟動
SETTING_UP	作業準備中（載入配方、保留資源）
WAITING_FOR_START	設定完成，等待明確啟動
PROCESSING	作業正在處理基板
PAUSING	作業正在轉換至暫停狀態
PAUSED	作業已暫停，可恢復或中止
PROCESS_COMPLETE	所有基板處理完成
STOPPING	作業正在安全點停止
ABORTING	作業正在中止

4. 轉換表¶

#	原狀態	觸發條件	目標狀態	動作
1	-	PRCreateJob	QUEUED	建立作業實例
2	QUEUED	PRStart	SETTING_UP	開始設定
3	QUEUED	PRAbort	(已移除)	刪除作業
4	SETTING_UP	Setup done	WAITING_FOR_START	等待啟動
5	SETTING_UP	Auto-start	PROCESSING	開始處理
6	SETTING_UP	PRAbort	ABORTING	中止作業
7	SETTING_UP	Fail	QUEUED	回報錯誤
8	WAITING_FOR_START	PRStart	PROCESSING	開始處理
9	WAITING_FOR_START	PRAbort	ABORTING	中止作業
10	PROCESSING	Complete	PROCESS_COMPLETE	全部完成
11	PROCESSING	PRPause	PAUSING	暫停處理
12	PROCESSING	PRStop	STOPPING	在安全點停止
13	PROCESSING	PRAbort	ABORTING	中止處理
14	PAUSING	Paused	PAUSED	處理已暫停
15	PAUSED	PRResume	PROCESSING	恢復處理
16	PAUSED	PRAbort	ABORTING	中止作業
17	STOPPING	Stopped	QUEUED	準備重新啟動
18	ABORTING	Aborted	QUEUED/removed	處理中止

5. 製程作業屬性¶

屬性	類型	說明
PRJobID	A	唯一製程作業識別碼
PRState	U1	目前狀態值
PRMtlNameList	L	待處理基板 ID 清單
RecID	A	配方識別碼
PRMtlType	U1	材料類型（載具/基板）
PRProcessStart	Boolean	設定後立即啟動
PRPauseEvent	L	觸發暫停的事件
CarrierInputSpec	L	輸入載具規格
MtrlOutSpec	L	輸出規格

5.1 製程作業狀態值¶

值	狀態
1	QUEUED
2	SETTING_UP
3	WAITING_FOR_START
4	PROCESSING
5	PAUSING
6	PAUSED
7	PROCESS_COMPLETE
8	STOPPING
9	ABORTING

6. 相關訊息¶

訊息	方向	說明
S16F11	H→E	PRCreateJob - 建立製程作業
S16F12	E→H	PRCreateJob 確認
S16F15	H→E	PRMultiCreate - 建立多個作業
S16F16	E→H	PRMultiCreate 確認
S16F17	H→E	PRJobStateChange - 作業命令
S16F18	E→H	PRJobStateChange 確認
S16F19	H→E	PRGetAllJobs - 取得作業清單
S16F20	E→H	PRGetAllJobs 資料
S16F21	H→E	PRGetJobInfo - 取得作業詳情
S16F22	E→H	PRGetJobInfo 資料

6.1 S16F11 - PRCreateJob¶

結構：

S16F11 W
<L[n]
  <DATAID>
  <PRJOBID>
  <PRMTLTYPE>          // 0=Carrier, 1=Substrate
  <L[m]                // 材料名稱清單
    <CARRIERID> or <SUBSTRATEID>
    ...
  >
  <L[k]                // 製程作業屬性
    <L[2]
      <ATTRID>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

6.2 S16F12 - PRCreateJob 確認¶

結構：

S16F12
<L[2]
  <PRJOBID>
  <ACKA>               // 0=成功, 1=失敗
>

6.3 S16F17 - PRJobStateChange¶

結構：

S16F17 W
<L[3]
  <PRCMD>              // 命令
  <L[n]                // 作業清單
    <PRJOBID>
    ...
  >
  <L[m]                // 命令參數
    <L[2]
      <CPNAME>
      <CPVAL>
    >
    ...
  >
>

PRCMD 值：

值	命令	說明
1	START	啟動作業
2	PAUSE	暫停作業
3	RESUME	恢復作業
4	CANCEL	取消作業（從 QUEUED）
5	DEQUEUE	從佇列移除作業
6	ABORT	中止作業
7	STOP	在安全點停止作業

7. 製程作業建立序列¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S16F11 W (PRCreateJob) Note right of Host: PRJobID="JOB001"<br/>RecID="RECIPE001"<br/>MtlList=[SubID1, SubID2] Note over Equipment: 驗證作業參數 Note over Equipment: 建立作業實例 Equipment-->>Host: S16F12 (ACKA=0, Success) Note over Equipment: 狀態：QUEUED Equipment->>Host: S6F11 (ProcessJobCreated) Host-->>Equipment: S6F12

8. 製程作業執行序列¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Note over Equipment: 狀態：QUEUED Host->>Equipment: S16F17 W (PRCMD=START) Equipment-->>Host: S16F18 (Success) Note over Equipment: 狀態：SETTING_UP Equipment->>Host: S6F11 (PRJobStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: 載入配方，準備資源 Note over Equipment: 狀態：PROCESSING Equipment->>Host: S6F11 (PRJobStateChange) Host-->>Equipment: S6F12 loop 每個基板 Note over Equipment: 處理基板 Equipment->>Host: S6F11 (SubstrateProcessed) Host-->>Equipment: S6F12 end Note over Equipment: 狀態：PROCESS_COMPLETE Equipment->>Host: S6F11 (PRJobComplete) Host-->>Equipment: S6F12

9. 材料輸出規格（MtrlOutSpec）¶

定義已處理基板的去向：

欄位	說明
DestPort	目的地裝載埠
DestCarrier	目的地載具
DestSlot	目的地槽位

10. 相關收集事件¶

CEID	名稱	說明
`[7001]`	PRJobCreated	製程作業已建立
`[7002]`	PRJobStateChange	製程作業狀態變更
`[7003]`	PRJobComplete	製程作業已完成
`[7004]`	PRJobAborted	製程作業已中止
`[7005]`	PRJobPaused	製程作業已暫停
`[7006]`	PRJobResumed	製程作業已恢復

11. 相關狀態變數¶

SVID	名稱	類型	說明
`[7001]`	ActivePRJobCount	U2	啟動中的製程作業數量
`[7002]`	PRJobList	L	啟動中的作業 ID 清單

12. 錯誤處理¶

錯誤條件	回應
無效配方	S16F12 ACKA=1
無效基板 ID	S16F12 ACKA=1
超過作業限制	S16F12 ACKA=1
命令狀態錯誤	S16F18 含錯誤