控制作業狀態模型（SEMI E94）¶

1. 概述¶

控制作業（CJ）狀態模型定義了控制作業的生命週期，依據 SEMI E94（控制作業管理）規範。控制作業是較高層級的作業，管理一個或多個製程作業並提供排程控制。

2. 控制作業 vs 製程作業¶

面向	控制作業（E94）	製程作業（E40）
層級	較高（排程）	較低（執行）
範圍	多個 PJ	單一配方執行
用途	排程、分組	實際處理
包含	1..n 製程作業	基板

3. 控制作業狀態圖¶

stateDiagram-v2 [*] --> QUEUED: Create Job QUEUED --> SELECTED: Select command QUEUED --> [*]: Delete SELECTED --> EXECUTING: Start / Auto-start SELECTED --> QUEUED: Deselect SELECTED --> [*]: Delete EXECUTING --> PAUSED: Pause command EXECUTING --> COMPLETED: All PJs complete EXECUTING --> WAITING_FOR_START: Hold PAUSED --> EXECUTING: Resume command PAUSED --> WAITING_FOR_START: Hold WAITING_FOR_START --> EXECUTING: Start command WAITING_FOR_START --> PAUSED: Pause COMPLETED --> [*]: Job removed

4. 狀態定義¶

狀態	說明
QUEUED	作業已建立但未被選取執行
SELECTED	作業已選取，準備啟動
WAITING_FOR_START	作業保留中，等待明確啟動
EXECUTING	作業執行中（製程作業執行中）
PAUSED	作業執行已暫停
COMPLETED	所有製程作業已完成

5. 轉換表¶

#	原狀態	觸發條件	目標狀態	動作
1	-	CJCreate	QUEUED	建立作業實例
2	QUEUED	CJSelect	SELECTED	選取執行
3	QUEUED	CJDelete	(已移除)	刪除作業
4	SELECTED	CJStart	EXECUTING	啟動製程作業
5	SELECTED	Auto-start	EXECUTING	自動啟動
6	SELECTED	CJDeselect	QUEUED	取消選取作業
7	SELECTED	CJDelete	(已移除)	刪除作業
8	EXECUTING	CJPause	PAUSED	暫停處理
9	EXECUTING	All PJs done	COMPLETED	作業完成
10	EXECUTING	CJHold	WAITING_FOR_START	保留執行
11	PAUSED	CJResume	EXECUTING	恢復處理
12	PAUSED	CJHold	WAITING_FOR_START	保留執行
13	WAITING_FOR_START	CJStart	EXECUTING	恢復執行
14	WAITING_FOR_START	CJPause	PAUSED	暫停作業

6. 控制作業屬性¶

屬性	類型	說明
CJObjID	A	唯一控制作業識別碼
CJState	U1	目前狀態值
ProcessingCtrlSpec	L	處理控制規格
PRJobList	L	包含的製程作業 ID 清單
StartMethod	U1	手動/自動啟動
DataCollectionPlan	A	關聯的資料收集計畫
MtrlOutSpec	L	材料輸出規格

6.1 控制作業狀態值¶

值	狀態
1	QUEUED
2	SELECTED
3	WAITING_FOR_START
4	EXECUTING
5	PAUSED
6	COMPLETED

7. CJ-PJ 關係¶

flowchart TD subgraph ControlJob["Control Job: CJ001"] CJS[State: EXECUTING] end subgraph ProcessJobs["Process Jobs"] PJ1[PJ001<br/>PROCESSING] PJ2[PJ002<br/>QUEUED] PJ3[PJ003<br/>QUEUED] end ControlJob --> PJ1 ControlJob --> PJ2 ControlJob --> PJ3

8. 相關訊息¶

訊息	方向	說明
S14F9	H→E	CJCreate - 建立控制作業
S14F10	E→H	CJCreate 確認
S14F1	H→E	CJGetAttr - 取得作業屬性
S14F2	E→H	CJGetAttr 資料
S14F3	H→E	CJCmd - 控制作業命令
S14F4	E→H	CJCmd 確認

8.1 S14F9 - CJCreate¶

結構：

S14F9 W
<L[n]
  <OBJSPEC>            // 物件指定器
  <L[m]                // 屬性
    <L[2]
      <ATTRID>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

8.2 S14F3 - CJCmd（控制作業命令）¶

結構：

S14F3 W
<L[n]
  <CJCMD>              // 命令
  <L[m]                // 作業清單
    <CJOBJID>
    ...
  >
  <L[k]                // 參數
    ...
  >
>

CJCMD 值：

值	命令	說明
1	SELECT	選取作業執行
2	DESELECT	取消選取作業
3	START	啟動作業執行
4	PAUSE	暫停作業
5	RESUME	恢復作業
6	ABORT	中止作業
7	STOP	在安全點停止作業
8	DELETE	刪除作業
9	HOLD	保留作業

9. 控制作業執行序列¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S14F9 W (CJCreate) Note right of Host: CJObjID="CJ001"<br/>ProcessJobs=[PJ001, PJ002] Equipment-->>Host: S14F10 (Success) Note over Equipment: CJ 狀態：QUEUED Host->>Equipment: S14F3 W (SELECT) Equipment-->>Host: S14F4 (Success) Note over Equipment: CJ 狀態：SELECTED Host->>Equipment: S14F3 W (START) Equipment-->>Host: S14F4 (Success) Note over Equipment: CJ 狀態：EXECUTING Note over Equipment: 啟動 PJ001 Equipment->>Host: S6F11 (PRJobStarted) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: PJ001 完成，啟動 PJ002 Equipment->>Host: S6F11 (PRJobComplete) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: PJ002 完成 Equipment->>Host: S6F11 (PRJobComplete) Host-->>Equipment: S6F12 Note over Equipment: CJ 狀態：COMPLETED Equipment->>Host: S6F11 (CJComplete) Host-->>Equipment: S6F12

10. 作業排程¶

10.1 優先權¶

控制作業可指定排程優先權：

優先權	說明
1	最高優先權
2-9	一般優先權
10	最低優先權

10.2 佇列管理¶

命令	效果
SELECT	從 QUEUED 移至 SELECTED
DESELECT	從 SELECTED 移至 QUEUED
Move Up	提高佇列優先權
Move Down	降低佇列優先權

11. 相關收集事件¶

CEID	名稱	說明
`[8001]`	CJCreated	控制作業已建立
`[8002]`	CJStateChange	控制作業狀態變更
`[8003]`	CJSelected	控制作業已選取
`[8004]`	CJStarted	控制作業已啟動
`[8005]`	CJCompleted	控制作業已完成
`[8006]`	CJPaused	控制作業已暫停
`[8007]`	CJResumed	控制作業已恢復
`[8008]`	CJAborted	控制作業已中止

12. 相關狀態變數¶

SVID	名稱	類型	說明
`[8001]`	ActiveCJCount	U2	啟動中的控制作業數量
`[8002]`	SelectedCJID	A	目前選取的控制作業
`[8003]`	ExecutingCJID	A	目前執行中的控制作業

13. 錯誤處理¶

錯誤條件	回應
無效作業 ID	OBJACK 錯誤
命令狀態錯誤	S14F4 含錯誤
PJ 建立失敗	CJ 建立失敗
佇列已滿	S14F10 含錯誤