設備終端服務（SEMI E116）¶

1. 概述¶

設備終端服務（ETS）提供主機到設備終端通訊的功能，包括操作員訊息和顯示服務，依據 SEMI E116 規範並使用 Stream 10 訊息。

2. 終端服務功能¶

功能	說明
Terminal Display	向操作員顯示訊息
Terminal Input	請求操作員輸入
Multi-line Display	顯示格式化的多行訊息
Broadcast Messages	向所有終端發送訊息

3. 終端概念¶

概念	說明
TID	終端 ID - 識別顯示終端
TEXT	要顯示的訊息文字
ACKC10	終端操作的確認碼

4. 相關訊息¶

訊息	方向	說明
S10F1	H→E	終端請求
S10F2	E→H	終端請求確認
S10F3	H→E	終端顯示，單行
S10F4	E→H	終端顯示，單行確認
S10F5	H→E	終端顯示，多區塊
S10F6	E→H	終端顯示確認
S10F7	E→H	終端輸入請求
S10F8	H→E	終端輸入回應
S10F9	H→E	廣播訊息
S10F10	E→H	廣播確認

5. 終端顯示¶

5.1 單行顯示（S10F3/S10F4）¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S10F3 W Note right of Host: TID=0 TEXT="Process complete" Note over Equipment: 顯示訊息 Equipment-->>Host: S10F4 (ACKC10=0)

S10F3 結構：

S10F3 W
<L[2]
  <TID>                // 終端 ID（0 = 預設）
  <TEXT>               // 訊息文字
>

S10F4 結構：

S10F4
<ACKC10>               // 0=成功

5.2 多行顯示（S10F5/S10F6）¶

S10F5 結構：

S10F5 W
<L[2]
  <TID>
  <L[n]                // 多行
    <TEXT>             // 第 1 行
    <TEXT>             // 第 2 行
    ...
  >
>

5.3 廣播訊息（S10F9/S10F10）¶

發送到所有終端：

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S10F9 W Note right of Host: TEXT="Emergency shutdown" Note over Equipment: 在所有終端顯示 Equipment-->>Host: S10F10 (ACKC10=0)

6. 終端輸入¶

6.1 請求操作員輸入¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment participant Operator Equipment->>Host: S10F7 W Note left of Equipment: TID=0 TEXT="Enter lot ID:" Note over Host: 等待輸入 Operator->>Host: "LOT001" Host-->>Equipment: S10F8 Note right of Host: TEXT="LOT001"

S10F7 結構：

S10F7 W
<L[2]
  <TID>                // 終端 ID
  <TEXT>               // 提示文字
>

S10F8 結構：

S10F8
<TEXT>                 // 操作員輸入

7. ACKC10 回應碼¶

值	說明
0	已接受，顯示完成
1	終端不可用
2	訊息未顯示
3	未知的終端 ID

8. 終端類型¶

TID	終端	說明
0	Default	主設備終端
1	Operator Panel	操作員介面
2	Engineering	工程終端
`[n]`	Custom	設備特定終端

9. 顯示格式¶

9.1 支援的字元¶

字元集	支援
ASCII（7 位元）	必要
Extended ASCII	選用
Unicode	選用

9.2 顯示限制¶

參數	限制
行長度	`[80]` 字元
最大行數（多行）	`[25]` 行
訊息逾時	`[可設定]` 秒

10. 訊息優先權¶

優先權	說明	行為
Normal	標準訊息	忙碌時排隊
High	重要訊息	中斷目前顯示
Critical	緊急	立即顯示 + 警報

11. 使用案例¶

11.1 操作員引導¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S10F5 W Note right of Host: "=== Recipe Change Required ===" "Current: RECIPE_A" "New: RECIPE_B" "Press CONFIRM to proceed" Equipment-->>Host: S10F6 (ACKC10=0)

11.2 警報通知¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment Host->>Equipment: S10F9 W Note right of Host: "*** ALARM ***" "Chamber pressure out of range" "Action required" Equipment-->>Host: S10F10 (ACKC10=0)

11.3 操作員輸入請求¶

sequenceDiagram participant Host participant Equipment participant Operator Note over Equipment: 需要操作員確認 Equipment->>Host: S10F7 W Note left of Equipment: "Confirm recipe change (Y/N):" Host->>Operator: 顯示提示 Operator->>Host: "Y" Host-->>Equipment: S10F8 (TEXT="Y")

12. 相關收集事件¶

CEID	名稱	說明
`[5001]`	MessageDisplayed	訊息已在終端顯示
`[5002]`	OperatorInput	操作員已提供輸入
`[5003]`	DisplayTimeout	訊息顯示逾時

13. 相關狀態變數¶

SVID	名稱	類型	說明
`[5001]`	TerminalCount	U1	終端數量
`[5002]`	TerminalAvailable	Boolean	終端可供顯示

14. 實作注意事項¶

14.1 訊息佇列¶

終端忙碌時設備應將訊息排入佇列
佇列深度：[10] 則訊息
一般優先權採用 FIFO 處理

14.2 逾時處理¶

顯示逾時：預設 [30] 秒
輸入逾時：預設 [120] 秒
逾時導致 S10F8 含空 TEXT

14.3 與警報的整合¶

終端訊息可與警報報告協調：

設備觸發警報（S5F1）
主機發送終端訊息（S10F3）提供引導
操作員在設備上確認
設備清除警報（S5F1 clear）