訊息情境¶

概述¶

本章提供常見 SECS/GEM 操作的完整訊息流程情境。每個情境包含完整的訊息序列、資料結構和預期回應。

情境 1：通訊建立¶

1.1 說明¶

從 HSMS 連線到線上操作的完整序列，包括通訊建立、狀態查詢和線上轉換。

1.2 先決條件¶

設備已通電並就緒
網路連線可用
HSMS 參數已配置

1.3 訊息流程¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: 階段 1：HSMS 連線 H->>E: HSMS Select.req E-->>H: HSMS Select.rsp (Status=0) Note over H,E: 階段 2：SECS-II 通訊 H->>E: S1F13 W (Establish Comm) E-->>H: S1F14 (COMMACK=0, Model, Version) Note over H,E: 階段 3：初始狀態查詢 H->>E: S1F1 W (Are You There) E-->>H: S1F2 (MDLN, SOFTREV) H->>E: S1F3 W (Selected Equipment Status) E-->>H: S1F4 (Status Variables) Note over H,E: 階段 4：警報查詢 H->>E: S5F5 W (List All Alarms) E-->>H: S5F6 (Alarm Definitions) H->>E: S5F7 W (List Enabled Alarms) E-->>H: S5F8 (Active Alarm List) Note over H,E: 階段 5：事件配置 H->>E: S2F33 W (Define Reports) E-->>H: S2F34 (DRACK=0) H->>E: S2F35 W (Link Events) E-->>H: S2F36 (LRACK=0) H->>E: S2F37 W (Enable Events) E-->>H: S2F38 (ERACK=0) Note over H,E: 階段 6：線上轉換 H->>E: S1F17 W (Request Online) E-->>H: S1F18 (ONLACK=0) Note over H,E: 設備現在為 ONLINE-REMOTE E->>H: S6F11 W (CEID=3, EquipmentOnlineRemote) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

1.4 詳細訊息¶

S1F13 - 建立通訊請求：

S1F13 W
  <L[0]>
.

S1F14 - 建立通訊確認：

S1F14
  <L[2]
    <B[1] 0x00>                     // COMMACK = 已接受
    <L[2]
      <A[15] "GST-PANEL-2000">      // 設備型號
      <A[10] "V3.2.1.045">          // 軟體版本
    >
  >
.

S1F3 - 請求關鍵狀態變數：

S1F3 W
  <L[6]
    <U4 1>                          // Clock
    <U4 2>                          // ControlState
    <U4 3>                          // ProcessState
    <U4 500>                        // ActiveAlarmCount
    <U4 100>                        // EquipmentTemperature
    <U4 200>                        // WaferCount
  >
.

S1F4 - 狀態變數回應：

S1F4
  <L[6]
    <A[14] "20250101090000">        // Clock
    <U1 2>                          // ControlState = ONLINE-LOCAL
    <U1 1>                          // ProcessState = IDLE
    <U2 0>                          // ActiveAlarmCount = 0
    <F4 23.5>                       // Temperature = 23.5°C
    <U4 0>                          // WaferCount = 0
  >
.

S1F17 - 請求線上：

S1F17 W
  <L[0]>
.

S1F18 - 線上確認：

S1F18
  <B[1] 0x00>                       // ONLACK = 已接受
.

1.5 錯誤處理¶

錯誤	COMMACK/ONLACK	動作
設備未就緒	0x01	等待並重試 S1F13
已在通訊中	0x02	使用現有連線
維護模式	0x02	等待維護完成
聯鎖啟動	0x02	先解決聯鎖

情境 2：配方下載¶

2.1 說明¶

主機將製程配方下載到設備以供稍後執行。

2.2 先決條件¶

設備 ONLINE-REMOTE
配方儲存空間可用
有效的配方格式

2.3 訊息流程¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: 階段 1：查詢（可選） H->>E: S7F19 W (Request PP List) E-->>H: S7F20 (PP Directory) Note over H,E: 階段 2：下載配方 H->>E: S7F3 W (Process Program Send) E-->>H: S7F4 (ACKC7=0) Note over H,E: 階段 3：驗證 H->>E: S7F5 W (Request PP Data) E-->>H: S7F6 (PP Data) Note over H,E: 階段 4：確認事件 E->>H: S6F11 W (CEID=405, RecipeDownloaded) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

2.4 詳細訊息¶

S7F19 - 製程程式清單請求：

S7F19 W
  <L[0]>                            // 空 = 所有配方
.

S7F20 - 製程程式清單回覆：

S7F20
  <L[5]
    <A[20] "RECIPE_PROD_001">
    <A[20] "RECIPE_PROD_002">
    <A[20] "RECIPE_TEST_001">
    <A[20] "RECIPE_MAINT_001">
    <A[20] "RECIPE_QUAL_001">
  >
.

S7F3 - 製程程式傳送（下載）：

name="__codelineno-8-1" href="#__codelineno-8-1">S7F3 W <L[2] <A[20] "RECIPE_PROD_003"> // 配方 ID <L[10] // 配方本體（步驟） <L[4] // 步驟 1 <U4 1> // 步驟編號 <A[20] "PREHEAT"> // 步驟名稱 <L[5] // 參數 <L[2] <A[15] "TEMP_SETPOINT"> <F4 150.0> // 150°C > <L[2] <A[15] "RAMP_RATE"> <F4 10.0> // 10°C/min > <L[2] <A[15] "HOLD_TIME"> <U4 60> // 60 秒 > <L[2] <A[15] "PRESSURE"> <F4 760.0> // 760 Torr > <L[2] <A[15] "GAS_FLOW"> <F4 100.0> // 100 sccm > > <U4 120> // 步驟時間（秒） > <L[4] // 步驟 2 <U4 2> // 步驟編號 <A[20] "PROCESS"> // 步驟名稱 <L[6] // 參數 <L[2] <A[15] "TEMP_SETPOINT"> <F4 200.0> // 200°C > <L[2] <A[15] "PRESSURE"> <F4 0.1> // 0.1 Torr（真空） > <L[2] <A[15] "RF_POWER"> <F4 500.0> // 500 W > <L[2] <A[15] "GAS1_FLOW"> <F4 50.0> // 50 sccm > <L[2] <A[15] "GAS2_FLOW"> <F4 25.0> // 25 sccm > <L[2] <A[15] "HOLD_TIME"> <U4 300> // 300 秒 > > <U4 360> // 步驟時間（秒） > // ... 其他步驟 ... > > .

S7F4 - 製程程式確認：

S7F4
  <B[1] 0x00>                       // ACKC7 = 已接受
.

2.5 ACKC7 錯誤碼¶

ACKC7	說明	恢復動作
0x00	已接受	無
0x01	權限被拒	檢查存取模式
0x02	長度錯誤	檢查配方大小
0x03	矩陣溢位	刪除未使用的配方
0x04	PP 語法錯誤	修正配方格式
0x05	重複的 PP ID	使用不同名稱或先刪除
0x06	驗證錯誤	重試下載

情境 3：配方上傳¶

3.1 說明¶

主機從設備請求製程配方。

3.2 訊息流程¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment H->>E: S7F5 W (Request PP Data) E-->>H: S7F6 (PP Data) Note over H,E: 可選：確認收到 E->>H: S6F11 W (CEID=404, RecipeUploaded) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

3.3 詳細訊息¶

S7F5 - 製程程式請求：

S7F5 W
  <A[20] "RECIPE_PROD_001">          // 要上傳的配方 ID
.

S7F6 - 製程程式資料：

S7F6
  <L[2]
    <A[20] "RECIPE_PROD_001">        // 配方 ID
    <L[n]                            // 配方本體
      // ... 配方內容 ...
    >
  >
.

情境 4：主機啟動製程執行¶

4.1 說明¶

主機在設備上啟動製程作業，監控執行並接收完成通知。

4.2 先決條件¶

設備 ONLINE-REMOTE
配方已載入
物料已在裝載埠

4.3 訊息流程¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: 階段 1：配方選擇 H->>E: S2F41 W (RCMD=PP-SELECT, Recipe ID) E-->>H: S2F42 (HCACK=0) E->>H: S6F11 W (CEID=400, RecipeSelected) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H,E: 階段 2：開始製程 H->>E: S2F41 W (RCMD=START) E-->>H: S2F42 (HCACK=0) E->>H: S6F11 W (CEID=101, ProcessStarted) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H,E: 階段 3：製程執行 loop 每個步驟 E->>H: S6F11 W (CEID=106, ProcessStepChange) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) end Note over H,E: 階段 4：製程完成 E->>H: S6F11 W (CEID=102, ProcessCompleted) Note right of E: 包含製程結果、<br/>時間、計數 H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

4.4 詳細訊息¶

S2F41 - 遠端命令（PP-SELECT）：

S2F41 W
  <L[2]
    <A[10] "PP-SELECT">             // 遠端命令
    <L[1]
      <L[2]
        <A[8] "RecipeID">           // 參數名稱
        <A[20] "RECIPE_PROD_001">   // 要選擇的配方
      >
    >
  >
.

S2F42 - 遠端命令確認：

S2F42
  <L[2]
    <B[1] 0x00>                     // HCACK = 已接受
    <L[0]>                          // 無附加狀態
  >
.

S2F41 - 遠端命令（START）：

S2F41 W
  <L[2]
    <A[5] "START">                  // 遠端命令
    <L[2]
      <L[2]
        <A[5] "LotID">
        <A[20] "LOT_2025_0001">
      >
      <L[2]
        <A[10] "SubstrateCount">
        <U4 25>
      >
    >
  >
.

S6F11 - 製程開始事件：

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 10001>                      // DATAID
    <U4 101>                        // CEID = ProcessStarted
    <L[1]
      <L[2]
        <U4 21>                     // RPTID = RPT_ProcessStart
        <L[5]
          <A[14] "20250101100000">  // Clock
          <A[20] "PJOB_001">        // ProcessJobID
          <A[20] "RECIPE_PROD_001"> // RecipeID
          <A[20] "LOT_2025_0001">   // LotID
          <U4 25>                   // SubstrateCount
        >
      >
    >
  >
.

S6F11 - 製程完成事件：

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 10002>                      // DATAID
    <U4 102>                        // CEID = ProcessCompleted
    <L[2]
      <L[2]
        <U4 20>                     // RPTID = RPT_ProcessState
        <L[2]
          <A[14] "20250101103000">  // Clock
          <U1 1>                    // ProcessState = IDLE
        >
      >
      <L[2]
        <U4 22>                     // RPTID = RPT_ProcessEnd
        <L[9]
          <A[14] "20250101103000">  // Clock
          <A[20] "PJOB_001">        // ProcessJobID
          <A[20] "RECIPE_PROD_001"> // RecipeID
          <A[20] "LOT_2025_0001">   // LotID
          <U4 1800>                 // ProcessTime（30 分鐘）
          <U1 0>                    // ProcessResult = OK
          <U4 25>                   // ProcessedCount
          <U4 24>                   // GoodCount
          <U4 1>                    // BadCount
        >
      >
    >
  >
.

情境 5：製程中止¶

5.1 說明¶

主機或操作員中止正在執行的製程。

5.2 訊息流程¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over E: 製程執行中 H->>E: S2F41 W (RCMD=ABORT) E-->>H: S2F42 (HCACK=0) Note over E: 設備安全停止製程 E->>H: S6F11 W (CEID=103, ProcessAborted) Note right of E: 包含部分結果 H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) E->>H: S6F11 W (CEID=110, ProcessIdleEntered) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

5.3 詳細訊息¶

S2F41 - 遠端命令（ABORT）：

S2F41 W
  <L[2]
    <A[5] "ABORT">                  // 遠端命令
    <L[0]>                          // 無參數
  >
.

S6F11 - 製程中止事件：

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 10003>                      // DATAID
    <U4 103>                        // CEID = ProcessAborted
    <L[1]
      <L[2]
        <U4 22>                     // RPTID = RPT_ProcessEnd
        <L[9]
          <A[14] "20250101101500">  // Clock
          <A[20] "PJOB_001">        // ProcessJobID
          <A[20] "RECIPE_PROD_001"> // RecipeID
          <A[20] "LOT_2025_0001">   // LotID
          <U4 900>                  // ProcessTime（部分）
          <U1 2>                    // ProcessResult = Aborted
          <U4 12>                   // ProcessedCount（部分）
          <U4 11>                   // GoodCount
          <U4 1>                    // BadCount
        >
      >
    >
  >
.

情境 6：載具處理（裝載/卸載）¶

6.1 說明¶

從到達到離開的完整載具（FOUP/卡匣）處理序列。

6.2 訊息流程¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: 階段 1：載具到達 Note over E: 載具放置在裝載埠 1 E->>H: S6F11 W (CEID=200, MaterialReceived) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H,E: 階段 2：載具 ID 讀取 E->>H: S6F11 W (CEID=208, CarrierIDRead) Note right of E: 包含 CarrierID H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H,E: 階段 3：插槽映射 E->>H: S6F11 W (CEID=202, SlotMapRead) Note right of E: 包含插槽映射 H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H,E: 階段 4：主機驗證載具 H->>E: S3F17 W (Carrier Action - PROCEED) E-->>H: S3F18 (CAACK=0) Note over H,E: 階段 5：處理基板 Note over E: ... 處理中 ... Note over H,E: 階段 6：載具完成 H->>E: S3F17 W (Carrier Action - CARRIER_OUT) E-->>H: S3F18 (CAACK=0) E->>H: S6F11 W (CEID=201, MaterialRemoved) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

6.3 詳細訊息¶

S6F11 - 物料接收事件：

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 20001>                      // DATAID
    <U4 200>                        // CEID = MaterialReceived
    <L[1]
      <L[2]
        <U4 40>                     // RPTID = RPT_Material
        <L[5]
          <A[14] "20250101080000">  // Clock
          <A[20] "">                // CarrierID（尚未讀取）
          <A[20] "">                // LotID（尚未知道）
          <U1 1>                    // PortID = 1
          <U1 1>                    // MaterialStatus = Present
        >
      >
    >
  >
.

S6F11 - 載具 ID 讀取事件：

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 20002>                      // DATAID
    <U4 208>                        // CEID = CarrierIDRead
    <L[1]
      <L[2]
        <U4 42>                     // RPTID = RPT_Carrier
        <L[5]
          <A[14] "20250101080010">  // Clock
          <A[20] "FOUP_A001">       // CarrierID
          <A[10] "FOUP-300">        // CarrierType
          <U1 2>                    // CarrierState = ID_VERIFIED
          <L[0]>                    // ContentMap（在映射前為空）
        >
      >
    >
  >
.

S6F11 - 插槽映射讀取事件：

S6F11 W
  <L[3]
    <U4 20003>                      // DATAID
    <U4 202>                        // CEID = SlotMapRead
    <L[1]
      <L[2]
        <U4 41>                     // RPTID = RPT_SlotMap
        <L[5]
          <A[14] "20250101080030">  // Clock
          <A[20] "FOUP_A001">       // CarrierID
          <U1 1>                    // PortID
          <L[25]                    // SlotMap（25 個插槽）
            <U1 3>                  // 插槽 1：有基板
            <U1 3>                  // 插槽 2：有基板
            <U1 3>                  // 插槽 3：有基板
            <U1 1>                  // 插槽 4：空
            <U1 3>                  // 插槽 5：有基板
            // ... 剩餘插槽 ...
            <U1 1>                  // 插槽 25：空
          >
          <U4 20>                   // SubstrateCount = 20
        >
      >
    >
  >
.

6.4 插槽映射值¶

值	說明
0	未定義
1	空
2	非空（未確認）
3	正確佔用
4	雙插槽
5	交叉插槽

情境 7：警報處理¶

7.1 說明¶

從偵測到清除的完整警報生命週期。

7.2 訊息流程¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over E: 溫度超過警告限制 E->>H: S5F1 W (Alarm Set: Temp High Warning) H-->>E: S5F2 (ACKC5=0) E->>H: S6F11 W (CEID=300, AlarmSet) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H: 主機向操作員顯示警報 Note over H,E: 查詢啟用警報 H->>E: S5F7 W (List Enabled Alarms) E-->>H: S5F8 (Active Alarm List) Note over E: 條件恢復正常 E->>H: S5F1 W (Alarm Clear: Temp High Warning) H-->>E: S5F2 (ACKC5=0) E->>H: S6F11 W (CEID=301, AlarmCleared) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

7.3 詳細訊息¶

S5F1 - 警報設定：

S5F1 W
  <L[3]
    <B[1] 0x83>                     // ALCD = 設定 + 類別 3（警告）
    <U4 3001>                       // ALID = 溫度過高警告
    <A[45] "Temperature High Warning: Zone 1 = 175.5C (Limit: 170C)">
  >
.

S5F1 - 警報清除：

S5F1 W
  <L[3]
    <B[1] 0x03>                     // ALCD = 清除 + 類別 3
    <U4 3001>                       // ALID
    <A[35] "Temperature Normal: Zone 1 = 165.2C">
  >
.

情境 8：設備常數修改¶

8.1 說明¶

主機修改設備配置參數。

8.2 訊息流程¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: 階段 1：查詢目前值 H->>E: S2F13 W (Equipment Constant Request) E-->>H: S2F14 (Current EC Values) Note over H,E: 階段 2：修改值 H->>E: S2F15 W (New Equipment Constant) E-->>H: S2F16 (EAC=0, Accepted) Note over H,E: 階段 3：確認變更 E->>H: S6F11 W (CEID=600, EquipmentConstantChange) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

8.3 詳細訊息¶

S2F13 - 設備常數請求：

S2F13 W
  <L[4]
    <U4 100>                        // ECID: T3 逾時
    <U4 101>                        // ECID: T6 逾時
    <U4 102>                        // ECID: T7 逾時
    <U4 200>                        // ECID: 製程溫度限制
  >
.

S2F14 - 設備常數資料：

S2F14
  <L[4]
    <U4 45>                         // T3 = 45 秒
    <U4 5>                          // T6 = 5 秒
    <U4 10>                         // T7 = 10 秒
    <F4 200.0>                      // 溫度限制 = 200°C
  >
.

S2F15 - 新設備常數：

S2F15 W
  <L[2]
    <L[2]
      <U4 100>                      // ECID: T3 逾時
      <U4 60>                       // 新值：60 秒
    >
    <L[2]
      <U4 200>                      // ECID: 製程溫度限制
      <F4 220.0>                    // 新值：220°C
    >
  >
.

S2F16 - 新設備常數確認：

S2F16
  <B[1] 0x00>                       // EAC = 已接受
.

8.4 EAC 錯誤碼¶

EAC	說明
0x00	正常
0x01	EC 不存在
0x02	值超出範圍
0x03	忙碌，稍後重試

情境 9：時鐘同步¶

9.1 說明¶

主機同步設備時鐘。

9.2 訊息流程¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: 查詢目前時間 H->>E: S2F17 W (Date and Time Request) E-->>H: S2F18 (Current Time) Note over H: 主機計算偏移 Note over H,E: 設定新時間 H->>E: S2F31 W (Date and Time Set) E-->>H: S2F32 (TIACK=0) E->>H: S6F11 W (CEID=601, ClockSync) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

9.3 詳細訊息¶

S2F17 - 日期和時間請求：

S2F17 W
  <L[0]>
.

S2F18 - 日期和時間資料：

S2F18
  <A[14] "20250101120530">          // YYYYMMDDHHmmss
.

S2F31 - 日期和時間設定：

S2F31 W
  <A[14] "20250101120600">          // 要設定的新時間
.

S2F32 - 日期和時間設定確認：

S2F32
  <B[1] 0x00>                       // TIACK = 正常
.

情境 10：終端服務（操作員訊息）¶

10.1 說明¶

主機發送訊息到設備操作員顯示器。

10.2 訊息流程¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment H->>E: S10F3 W (Terminal Display, Single) E-->>H: S10F4 (ACKC10=0) Note over E: 訊息顯示在<br/>操作員終端 Note over E: 操作員確認 E->>H: S10F1 (Terminal Request) H-->>E: S10F2 (Acknowledgement)

10.3 詳細訊息¶

S10F3 - 終端顯示，單一：

S10F3 W
  <L[2]
    <U1 0>                          // TID = 終端 0（主終端）
    <A[80] "ATTENTION: Lot LOT_2025_0001 requires visual inspection before continuing.">
  >
.

S10F4 - 終端顯示，單一確認：

S10F4
  <B[1] 0x00>                       // ACKC10 = 已接受
.

S10F5 - 終端顯示，多區塊：

S10F5 W
  <L[2]
    <U1 0>                          // TID
    <L[3]
      <A[60] "=== MAINTENANCE NOTIFICATION ===">
      <A[60] "PM #3 is due in 100 wafers.">
      <A[60] "Please schedule maintenance window.">
    >
  >
.

情境 11：通訊中斷期間的緩衝¶

11.1 說明¶

設備在主機通訊中斷期間緩衝訊息，並在連線恢復時傳送。

11.2 訊息流程¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: 正常操作 E->>H: S6F11 W (CEID=102) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) Note over H,E: 通訊中斷 Note over E: 設備偵測到 T3 逾時 Note over E: 啟動緩衝 E->>H: S6F11 W (CEID=102) Note right of E: 無回應 - 緩衝訊息 Note over E: 事件持續緩衝... Note over H,E: 通訊恢復 H->>E: S1F13 W (Establish Comm) E-->>H: S1F14 (COMMACK=0) Note over H,E: 查詢緩衝狀態 H->>E: S2F43 W (Reset Spooling) E-->>H: S2F44 (RSPACK=0) Note over H,E: 傳送緩衝資料 H->>E: S6F23 W (Request Spooled Data) E-->>H: S6F24 (RSDC=0) loop 每個緩衝訊息 E->>H: S6F11 W (Spooled Event) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0) end E->>H: S6F11 W (CEID=8, SpoolingDeactivated) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

11.3 詳細訊息¶

S2F43 - 重設緩衝：

S2F43 W
  <L[2]
    <U1 1>                          // RSESSION: 1=重設串流
    <L[0]>                          // 空 = 所有串流
  >
.

S6F23 - 請求緩衝資料：

S6F23 W
  <U1 1>                            // RSDC: 1=傳送
.

情境 12：多區塊訊息處理¶

12.1 說明¶

使用 S13 多區塊查詢/授權協定處理超過單一區塊大小的大型訊息。

12.2 訊息流程¶

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over E: 設備有大量資料要傳送 E->>H: S13F1 W (Send Multi-Block Inquire) H-->>E: S13F2 (Grant=0, OK to send) E->>H: S6F11 W (Large Event Data) H-->>E: S6F12 (ACKC6=0)

12.3 詳細訊息¶

S13F1 - 傳送多區塊查詢：

S13F1 W
  <L[4]
    <U4 12345>                      // DATAID
    <U1 6>                          // DESSION = Stream 6
    <U1 11>                         // DESSION = Function 11
    <U4 50000>                      // MLENGTH = 50000 位元組
  >
.

S13F2 - 傳送多區塊授權：

S13F2
  <B[1] 0x00>                       // GRANT = 正常
.

GRANT	說明
0x00	正常，傳送多區塊訊息
0x01	拒絕，忙碌稍後重試
0x02	拒絕，空間不足

情境摘要表¶

情境	主要訊息	方向	複雜度
通訊建立	S1F13/14, S1F17/18	H→E	基本
配方下載	S7F3/4	H→E	中等
配方上傳	S7F5/6	H←E	中等
製程執行	S2F41/42, S6F11/12	H↔E	進階
製程中止	S2F41/42	H→E	中等
載具處理	S6F11/12, S3F17/18	H↔E	進階
警報處理	S5F1/2, S6F11/12	E→H	中等
設備常數	S2F13/14, S2F15/16	H→E	基本
時鐘同步	S2F17/18, S2F31/32	H→E	基本
終端服務	S10F3/4	H→E	基本
緩衝	S2F43/44, S6F23/24	H↔E	進階
多區塊	S13F1/2	E→H	中等