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GEM 300 訊息串流

概述

GEM 300 使用額外的訊息串流來處理載具管理、基板追蹤、物件服務和作業管理。

串流摘要

串流 說明 相關標準
S3 物料狀態 E87 (CMS)
S12 晶圓映射 E87/E90
S14 物件服務 E39/E94
S16 製程作業 E40

Stream 3 - 物料狀態 (E87)

主要訊息

訊息 名稱 方向 說明
S3F17 Carrier Action Request H→E 載具動作命令
S3F18 Carrier Action Acknowledge E→H 動作回應
S3F21 Port Access Mode Change H→E 變更存取模式
S3F22 Port Access Mode Ack E→H 模式變更回應
S3F23 Port Action Request H→E 埠動作命令
S3F24 Port Action Acknowledge E→H 動作回應
S3F25 Carrier ID Verify H→E 驗證載具 ID
S3F26 Carrier ID Verify Ack E→H 驗證回應
S3F27 Carrier ID Report E→H 報告載具 ID
S3F28 Carrier ID Report Ack H→E 報告確認

S3F17 - Carrier Action Request

結構

S3F17 W
<L[5]
  <DATAID U4>
  <CARRIERACTION U1>
  <CARRIERID A>
  <PORTID U1>
  <L[n]              // 屬性
    <L[2]
      <ATTRID A>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

CARRIERACTION 值

值 動作
1 BIND
2 CANCEL_BIND
3 PROCEED_WITH_CARRIER
4 CANCEL_CARRIER_AT_PORT
5 CANCEL_CARRIER_NOTIFICATION

S3F21 - Port Access Mode Change

結構

S3F21 W
<L[3]
  <DATAID U4>
  <ACCESSMODE U1>    // 0=MANUAL, 1=AUTO
  <L[n]
    <PORTID U1>
    ...
  >
>

S3F27 - Carrier ID Report

結構

S3F27 W
<L[4]
  <PORTID U1>
  <CARRIERID A>
  <IDREADSTATUS U1>  // 0=成功, 1=失敗
  <L[n]              // 附加屬性
    <L[2]
      <ATTRID A>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

Stream 12 - 晶圓映射

主要訊息

訊息 名稱 方向 說明
S12F1 Map Data Type 1 Request H→E 請求分類摘要
S12F2 Map Data Type 1 E→H 返回分類摘要
S12F3 Map Data Type 2 Request H→E 請求槽位映射
S12F4 Map Data Type 2 E→H 返回槽位映射
S12F5 Map Data Type 3 Request H→E 請求晶粒映射
S12F6 Map Data Type 3 E→H 返回晶粒映射
S12F7 Map Data Send Type 1 E→H 發送分類摘要
S12F8 Map Data Ack Type 1 H→E 確認
S12F9 Map Data Send Type 2 E→H 發送槽位映射
S12F10 Map Data Ack Type 2 H→E 確認

S12F4 - Map Data Type 2 (槽位映射)

結構

S12F4
<L[4]
  <MID A>            // 物料 ID
  <IDTYP U1>         // ID 類型
  <FNLOC U2>         // 功能位置
  <L[n]              // 槽位狀態（n 個槽位）
    <SLOTSTATUS U1>  // 每個槽位的狀態
    ...
  >
>

SLOTSTATUS 值

值 狀態
0 空
1 已佔用
2 雙重插槽
3 交叉插槽
4 未知

Stream 14 - 物件服務 (E39/E94)

主要訊息

訊息 名稱 方向 說明
S14F1 Get Attributes Request H→E 查詢物件屬性
S14F2 Get Attributes Data E→H 返回屬性
S14F3 Object Command H→E 物件命令
S14F4 Object Command Ack E→H 命令回應
S14F9 Create Object Request H→E 建立物件 (CJ)
S14F10 Create Object Ack E→H 建立回應

S14F3 - Object Command (控制作業)

結構

S14F3 W
<L[3]
  <OBJSPEC A>        // 物件指定器
  <CJCMD U1>         // 命令
  <L[n]              // 參數
    <L[2]
      <CPNAME A>
      <CPVAL>
    >
    ...
  >
>

CJCMD 值

值 命令
1 SELECT
2 DESELECT
3 START
4 PAUSE
5 RESUME
6 ABORT
7 STOP
8 DELETE
9 HOLD

S14F9 - Create Object Request

結構

S14F9 W
<L[2]
  <OBJSPEC A>
  <L[n]              // 屬性
    <L[2]
      <ATTRID A>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

Stream 16 - 製程作業 (E40)

主要訊息

訊息 名稱 方向 說明
S16F11 PRCreateJob H→E 建立製程作業
S16F12 PRCreateJob Ack E→H 建立回應
S16F15 PRMultiCreate H→E 建立多個作業
S16F16 PRMultiCreate Ack E→H 多重建立回應
S16F17 PRJobCommand H→E 作業命令
S16F18 PRJobCommand Ack E→H 命令回應
S16F19 PRGetAllJobs H→E 取得作業清單
S16F20 PRGetAllJobs Data E→H 返回作業清單
S16F21 PRGetJobInfo H→E 取得作業詳情
S16F22 PRGetJobInfo Data E→H 返回作業詳情

S16F11 - PRCreateJob

結構

S16F11 W
<L[5]
  <DATAID U4>
  <PRJOBID A>        // 製程作業 ID
  <PRMTLTYPE U1>     // 0=載具, 1=基板
  <L[n]              // 物料清單
    <MTLID A>
    ...
  >
  <L[m]              // 屬性
    <L[2]
      <ATTRID A>
      <ATTRDATA>
    >
    ...
  >
>

常用屬性

屬性 說明
RecID 配方 ID
PRProcessStart 自動啟動旗標
CarrierInputSpec 輸入載具規格
MtrlOutSpec 物料輸出規格

S16F17 - PRJobCommand

結構

S16F17 W
<L[3]
  <PRCMD U1>         // 命令
  <L[n]              // 作業清單
    <PRJOBID A>
    ...
  >
  <L[m]              // 參數
    <L[2]
      <CPNAME A>
      <CPVAL>
    >
    ...
  >
>

PRCMD 值

值 命令
1 START
2 PAUSE
3 RESUME
4 CANCEL
5 DEQUEUE
6 ABORT
7 STOP

S16F18 - PRJobCommand Acknowledge

結構

S16F18
<L[2]
  <ACKA B[1]>        // 0=成功, 1=失敗
  <L[n]              // 每個作業的結果
    <L[2]
      <PRJOBID A>
      <PRJOBRESULT U1>
    >
    ...
  >
>

常見回應碼

OBJACK (物件確認)

值 說明
0 成功
1 無效的物件類型
2 找不到物件
3 無效的屬性
4 唯讀屬性
5 無效的格式

ACKA (確認 A)

值 說明
0 成功
1 失敗