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Stream 1 - 設備狀態

概述

Stream 1 訊息處理設備狀態請求、上線/離線控制及通訊建立。這些是主機與設備通訊的基礎訊息。

訊息摘要

訊息 名稱 方向 W-Bit 說明
S1F1/F2 Are You There H↔E W 通訊驗證
S1F3/F4 Selected Equipment Status H→E W 請求特定 SV 值
S1F11/F12 Status Variable Namelist H→E W 請求 SV 定義
S1F13/F14 Establish Communications H↔E W 建立 SECS-II 連線
S1F15/F16 Request Off-Line H→E W 轉換至離線
S1F17/F18 Request On-Line H→E W 轉換至上線

S1F1 - Are You There Request

屬性 值
方向 H↔E（雙向）
回覆 S1F2
W-Bit 必要
多區塊 否

訊息結構

S1F1 W
  <L[0]>
.

資料項目

無資料項目 - 空列表

說明

用於驗證通訊對象是否有回應。此訊息常用於： - 通訊心跳/保活 - HSMS 建立後的初始連線測試 - 通訊逾時後的恢復檢查

實作注意事項

時序要求

  • 設備必須在 T3 逾時內回覆 S1F2（通常為 45 秒）
  • 建議心跳間隔：30-60 秒
  • 未收到回覆時應觸發通訊恢復

S1F2 - On Line Data（回覆）

屬性 值
方向 H↔E（雙向）
回覆對象 S1F1
W-Bit 非必要
多區塊 否

訊息結構

S1F2
  <L[2]
    <MDLN>                    // 設備機型
    <SOFTREV>                 // 軟體版本代碼
  >
.

資料項目

項目 格式 長度 說明
MDLN A 1-20 設備機型識別碼
SOFTREV A 1-20 設備軟體版本

範例

S1F2
  <L[2]
    <A[12] "GST-PNL-2000">    // 機型：面板顯示設備
    <A[8] "V2.1.045">         // 軟體版本
  >
.

零長度回覆

若設備無法提供機型資訊： 

S1F2
  <L[0]>
.

S1F3 - Selected Equipment Status Request

屬性 值
方向 H→E
回覆 S1F4
W-Bit 必要
多區塊 可能（多個 SVID 時）

訊息結構

S1F3 W
  <L[n]                       // n = 請求的 SV 數量
    <SVID>                    // 狀態變數 ID 1
    <SVID>                    // 狀態變數 ID 2
    ...
    <SVID>                    // 狀態變數 ID n
  >
.

資料項目

項目 格式 長度 說明
SVID U1/U2/U4/U8 1/2/4/8 狀態變數 ID

請求所有 SV

空列表請求所有已定義的狀態變數： 

S1F3 W
  <L[0]>
.

範例 - 特定 SV

S1F3 W
  <L[8]
    <U4 1>                    // Clock
    <U4 2>                    // ControlState
    <U4 3>                    // ProcessState
    <U4 100>                  // EquipmentTemp
    <U4 101>                  // ChamberPressure
    <U4 102>                  // GasFlow
    <U4 200>                  // WaferCount
    <U4 201>                  // CurrentRecipe
  >
.

S1F4 - Selected Equipment Status Data（回覆）

屬性 值
方向 E→H
回覆對象 S1F3
W-Bit 非必要
多區塊 可能

訊息結構

S1F4
  <L[n]                       // 與請求相同的 n
    <SV>                      // SVID 1 的值
    <SV>                      // SVID 2 的值
    ...
    <SV>                      // SVID n 的值
  >
.

資料項目

項目 格式 長度 說明
SV 不定 不定 狀態變數值（類型依 SV 定義而定）

回應範例

S1F4
  <L[8]
    <A[14] "20250101120000">  // Clock（YYYYMMDDHHmmss）
    <U1 5>                    // ControlState = ONLINE-REMOTE
    <U1 1>                    // ProcessState = IDLE
    <F4 23.5>                 // EquipmentTemp = 23.5°C
    <F4 760.2>                // ChamberPressure = 760.2 Torr
    <F4 100.0>                // GasFlow = 100.0 sccm
    <U4 1250>                 // WaferCount = 1250
    <A[20] "RECIPE_PROD_001"> // CurrentRecipe
  >
.

錯誤處理

若找不到 SVID，在該位置回傳空項目： 

S1F4
  <L[3]
    <A[14] "20250101120000">  // SVID 1：有效
    <L[0]>                    // SVID 2：找不到（空）
    <U1 1>                    // SVID 3：有效
  >
.

S1F11 - Status Variable Namelist Request

屬性 值
方向 H→E
回覆 S1F12
W-Bit 必要
多區塊 可能

訊息結構

S1F11 W
  <L[n]
    <SVID>                    // 查詢的 SVID
    ...
  >
.

請求所有 SV 定義

S1F11 W
  <L[0]>                      // 空 = 請求全部
.

範例 - 特定 SVID

S1F11 W
  <L[4]
    <U4 1>                    // Clock
    <U4 2>                    // ControlState
    <U4 100>                  // Temperature
    <U4 200>                  // WaferCount
  >
.

S1F12 - Status Variable Namelist Reply

屬性 值
方向 E→H
回覆對象 S1F11
W-Bit 非必要
多區塊 是（通常）

訊息結構

S1F12
  <L[n]
    <L[3]
      <SVID>                  // 狀態變數 ID
      <SVNAME>                // 狀態變數名稱
      <UNITS>                 // 單位
    >
    ...
  >
.

資料項目

項目 格式 長度 說明
SVID U1/U2/U4/U8 1/2/4/8 狀態變數 ID
SVNAME A 1-40 狀態變數名稱
UNITS A 0-20 計量單位（不適用時為空）

回應範例

S1F12
  <L[10]
    <L[3]
      <U4 1>
      <A[5] "Clock">
      <A[0] "">
    >
    <L[3]
      <U4 2>
      <A[12] "ControlState">
      <A[0] "">
    >
    <L[3]
      <U4 3>
      <A[12] "ProcessState">
      <A[0] "">
    >
    <L[3]
      <U4 100>
      <A[15] "EquipmentTemp">
      <A[4] "degC">
    >
    <L[3]
      <U4 101>
      <A[15] "ChamberPressure">
      <A[4] "Torr">
    >
    <L[3]
      <U4 102>
      <A[7] "GasFlow">
      <A[4] "sccm">
    >
    <L[3]
      <U4 200>
      <A[10] "WaferCount">
      <A[3] "pcs">
    >
    <L[3]
      <U4 201>
      <A[13] "CurrentRecipe">
      <A[0] "">
    >
    <L[3]
      <U4 202>
      <A[12] "ProcessTime">
      <A[3] "sec">
    >
    <L[3]
      <U4 203>
      <A[10] "LotID">
      <A[0] "">
    >
  >
.

S1F13 - Establish Communications Request

屬性 值
方向 H↔E（雙向）
回覆 S1F14
W-Bit 必要
多區塊 否

訊息結構

S1F13 W
  <L[0]>
.

說明

HSMS 連線建立後交換的第一個 SECS-II 訊息。主機或設備皆可發起。

通訊流程

sequenceDiagram participant H as Host participant E as Equipment Note over H,E: HSMS 連線已建立 H->>E: S1F13 W（建立通訊請求） E-->>H: S1F14（COMMACK=0，已接受） Note over H,E: SECS-II 通訊已建立 H->>E: S1F17 W（請求上線） E-->>H: S1F18（ONLACK=0，已接受） Note over H,E: 設備已上線

實作注意事項

關鍵訊息

  • 必須是 HSMS Select.req/rsp 後的第一個 SECS-II 訊息
  • 主機和設備都應準備好接收 S1F13
  • 若在 T3 逾時內未收到回應，應重試

S1F14 - Establish Communications Acknowledge

屬性 值
方向 H↔E（雙向）
回覆對象 S1F13
W-Bit 非必要
多區塊 否

訊息結構

S1F14
  <L[2]
    <COMMACK>                 // 通訊確認碼
    <L[2]
      <MDLN>                  // 設備機型
      <SOFTREV>               // 軟體版本
    >
  >
.

資料項目

項目 格式 長度 說明
COMMACK B 1 通訊確認碼
MDLN A 1-20 設備機型
SOFTREV A 1-20 軟體版本

COMMACK 值

值 名稱 說明
0x00 OK 通訊已接受
0x01 DENIED 拒絕，通訊未就緒
0x02 BUSY 已與其他主機通訊中

範例 - 已接受

S1F14
  <L[2]
    <B[1] 0x00>               // COMMACK = 已接受
    <L[2]
      <A[12] "GST-PNL-2000">  // 機型
      <A[8] "V2.1.045">       // 版本
    >
  >
.

範例 - 拒絕

S1F14
  <L[2]
    <B[1] 0x01>               // COMMACK = 拒絕
    <L[2]
      <A[0] "">               // 拒絕時無機型資訊
      <A[0] "">
    >
  >
.

S1F15 - Request Off-Line

屬性 值
方向 H→E
回覆 S1F16
W-Bit 必要
多區塊 否

訊息結構

S1F15 W
  <L[0]>
.

說明

主機請求設備從 ONLINE 轉換至 OFFLINE 狀態。

狀態轉換

ONLINE-LOCAL ──┐
               ├──► S1F15 ──► OFFLINE
ONLINE-REMOTE ─┘

S1F16 - Off-Line Acknowledge

屬性 值
方向 E→H
回覆對象 S1F15
W-Bit 非必要
多區塊 否

訊息結構

S1F16
  <OFLACK>
.

資料項目

項目 格式 長度 說明
OFLACK B 1 離線確認碼

OFLACK 值

值 名稱 說明
0x00 OK 離線轉換已接受

範例

S1F16
  <B[1] 0x00>                 // OFLACK = 已接受
.

S1F17 - Request On-Line

屬性 值
方向 H→E
回覆 S1F18
W-Bit 必要
多區塊 否

訊息結構

S1F17 W
  <L[0]>
.

說明

主機請求設備從 OFFLINE 轉換至 ONLINE 狀態。若接受，設備轉換至 ONLINE-REMOTE。

狀態轉換

OFFLINE ──► S1F17 ──► ONLINE-REMOTE

S1F18 - On-Line Acknowledge

屬性 值
方向 E→H
回覆對象 S1F17
W-Bit 非必要
多區塊 否

訊息結構

S1F18
  <ONLACK>
.

資料項目

項目 格式 長度 說明
ONLACK B 1 上線確認碼

ONLACK 值

值 名稱 說明
0x00 OK 上線轉換已接受
0x01 ALREADY 設備已上線
0x02 NOT_READY 設備未就緒（互鎖、維護）

範例 - 已接受

S1F18
  <B[1] 0x00>                 // ONLACK = 已接受
.

範例 - 未就緒

S1F18
  <B[1] 0x02>                 // ONLACK = 未就緒
.

錯誤情境

情境 ONLACK 處理方式
正常轉換 0x00 設備現在為 ONLINE-REMOTE
已上線 0x01 無狀態變更
維護模式 0x02 先解除維護
安全互鎖 0x02 先解除互鎖

實作檢查清單

功能 必要 備註
S1F1/F2 支援 ✓ 心跳驗證
S1F3/F4 支援 ✓ 狀態變數請求
S1F11/F12 支援 ✓ SV 定義查詢
S1F13/F14 支援 ✓ 通訊建立
S1F15/F16 支援 ✓ 離線轉換
S1F17/F18 支援 ✓ 上線轉換
多區塊 S1F4 ○ 請求多個 SV 時
T3 逾時處理 ✓ 回覆逾時
COMMACK 錯誤處理 ✓ 通訊拒絕
ONLACK 錯誤處理 ✓ 上線拒絕

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