SECS/GEM インターフェースマニュアル¶
SEMI E30.8 準拠
SECS/GEM インターフェース
仕様書
半導体・フラットパネルディスプレイ製造向けエンタープライズ級装置通信プラットフォーム
パネルディスプレイ装置
100%
GEM準拠
12+
SECSストリーム
100+
変数定義
80+
イベント定義
想定読者¶
対象読者
本マニュアルは、SECS/GEM プロトコルを使用する半導体およびパネルディスプレイ装置のインテグレータ、プロセスエンジニア、ホストシステム開発者向けに執筆されています。
インテグレーションエンジニア
ファブ MES、SCADA、装置制御システムにおいて、HOST 側または Equipment 側の SECS/GEM インターフェースを実装。
装置メーカー
SECS/GEM 準拠の装置を設計し、GEM 200 / GEM 300 の SEMI 規格への準拠を検証。
技術評価・購買担当者
プロジェクト入札やパートナーシップ検討のため、Gather System Technology の SECS/GEM 実装能力を評価。
クイックスタート¶
目的に応じて出発点を選択してください：
技術機能¶
HSMS
高速プロトコル
5+
状態モデル
100+
アラーム定義
PP
レシピ管理
コアモジュール¶
SEMI規格¶
E5
SECS-IIメッセージ
E30
GEM規格
E37
HSMSプロトコル
E40
プロセスジョブ
E87
キャリア管理
E90
基板追跡
E94
コントロールジョブ
E116
EPTサービス
GEM 200 機能¶
| 機能 | 説明 | ステータス |
|---|---|---|
| GEM 準拠 | 全機能を含む SEMI E30 準拠マトリックス | サポート |
| 制御状態 | Online/Offline/Local/Remote 状態管理 | 必須 |
| 処理状態 | 装置処理のライフサイクル管理 | 必須 |
| スプーリング | 通信断絶時のメッセージスプール | サポート |
| 変数 | 100+ SV、EC、DV 定義 | 必須 |
| 収集イベント | 80+ イベントと設定可能なレポート | 必須 |
| アラーム | 8 カテゴリ、100+ アラーム定義 | 必須 |
| リモートコマンド | S2F41 によるホスト発起の装置制御 | 必須 |
| プロセスプログラム | レシピのアップロード／ダウンロード管理 | 必須 |
GEM 300 拡張¶
| 機能 | 規格 | 説明 | ステータス |
|---|---|---|---|
| キャリア管理 | E87 | FOUP/カセットの取扱いと状態追跡 | サポート |
| ロードポート制御 | E87 | ロードポート状態とアクセス管理 | サポート |
| アクセスモード | E87 | 手動／自動アクセス制御 | サポート |
| プロセスジョブ | E40 | プロセスジョブのライフサイクル管理 | サポート |
| コントロールジョブ | E94 | コントロールジョブのスケジュールと実行 | サポート |
| 基板追跡 | E90 | 個別基板の位置追跡 | サポート |
| ターミナルサービス | E116 | オペレータ端末メッセージング | サポート |
メッセージシナリオ¶
通信アーキテクチャ¶
sequenceDiagram
participant Host as ホスト
participant Equipment as 装置
rect rgba(6, 182, 212, 0.1)
Note over Host,Equipment: HSMS 層
Host->>Equipment: TCP Connect (Port 5000)
Host->>Equipment: Select.req
Equipment-->>Host: Select.rsp (Status=0)
end
rect rgba(59, 130, 246, 0.1)
Note over Host,Equipment: SECS-II 層
Host->>Equipment: S1F13 W (通信確立)
Equipment-->>Host: S1F14 (COMMACK=0)
Host->>Equipment: S1F17 W (オンライン要求)
Equipment-->>Host: S1F18 (ONLACK=0)
end
rect rgba(139, 92, 246, 0.1)
Note over Host,Equipment: GEM 操作
Host->>Equipment: S2F41 W (リモートコマンド)
Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0)
Equipment->>Host: S6F11 W (イベントレポート)
Host-->>Equipment: S6F12 (ACKC6=0)
end
技術スタック¶
TCP/IP
HSMS
SECS-II
GEM
E87 CMS
E40/E94
ドキュメント情報¶
| 項目 | 値 |
|---|---|
| ドキュメントID | SECSGEM-IF-001 |
| バージョン | 1.0 |
| GEM規格 | SEMI E30.8-0817 |
| HSMS規格 | SEMI E37.1-0109 |
| ステータス | リリース済 |
表記規則¶
| 記号 | 意味 |
|---|---|
S1F1 |
SECS-II Stream 1, Function 1 |
<L> |
リストデータ型 |
<A> |
ASCII 文字列 |
<U4> |
符号なし 4 バイト整数 |
<B> |
バイナリデータ |
<F4> |
4 バイト浮動小数点 |
| H→E | ホストから装置 |
| E→H | 装置からホスト |
| W | Wait ビット（応答期待） |
ステータス表示¶
- 必須 — SEMI 規格により必須
- サポート — 実装済み機能
- オプション — 要求に応じて提供
- 新規 — 最近追加された項目
本マニュアルについて¶
汎用テンプレートのお知らせ
本ウェブサイトは Gather System Technology の SECS/GEM インターフェース仕様書の公開汎用テンプレートを公開しています。技術参考、半導体コミュニティへの知識貢献、および当社の実装方法論の提示を目的として公開されています。
技術章内で {EQUIPMENT_MODEL} などの記法で示された Placeholder フィールドは意図的に未記入です。実際の顧客納品では、プロジェクトごとに特定の装置モデル、ソフトウェアバージョン、準拠宣言でカスタマイズされます。
表紙に示されている例示値（例：GST-SECSGEM-Reference、GST-SGM-REF-2026）は説明目的のみであり、実際の製品を表すものではありません。
完全な法的条件、準拠法、SEMI 規格の帰属、著作権の詳細については、免責事項をご覧ください。
お問い合わせ¶
| 技術サポート | support@gathertech.com.tw |
| 営業・ライセンス | sales@gathertech.com.tw |
| ドキュメントに関する問題 | docs@gathertech.com.tw |
| 法的問い合わせ | legal@gathertech.com.tw |
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