SECS/GEM インターフェースマニュアル¶

SEMI E30.8 準拠

SECS/GEM インターフェース
仕様書

半導体・フラットパネルディスプレイ製造向けエンタープライズ級装置通信プラットフォーム

パネルディスプレイ装置

100% GEM準拠

12+ SECSストリーム

100+ 変数定義

80+ イベント定義

技術機能¶

🔗

HSMS

高速プロトコル

⚙️

5+

状態モデル

🔔

100+

アラーム定義

📄

PP

レシピ管理

コアモジュール¶

🔗

HSMS通信

設定可能なタイマー（T3-T8）、マルチセッション対応、自動再接続、堅牢なエラー処理を備えた高速SECSメッセージサービス。

設定を見る →

⚙️

状態管理

制御状態（オンライン/オフライン）、処理状態、スプーリングを含む完全な状態モデル。状態遷移表とシーケンス図付き。

状態を探る →

📊

データ収集

ステータス変数（SV）、装置定数（EC）、データ変数（DV）を含む包括的な変数システム。S6F11によるリアルタイムイベントレポート対応。

変数を見る →

📋

レシピ管理

S7ストリームによるアップロード、ダウンロード、検証、削除、およびホスト管理のレシピ実行制御をサポートする完全なプロセスプログラム管理。

詳細を見る →

SEMI規格¶

E5

SECS-IIメッセージ

E30

GEM規格

E37

HSMSプロトコル

E40

プロセスジョブ

E87

キャリア管理

E90

基板追跡

E94

コントロールジョブ

E116

EPTサービス

ドキュメント情報¶

項目	値
ドキュメントID	SECSGEM-IF-001
バージョン	1.0
GEM規格	SEMI E30.8-0817
HSMS規格	SEMI E37.1-0109
ステータス	リリース済

Gathertech Co., Ltd.

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