SECS/GEM 介面手冊¶
符合 SEMI E30.8 標準
SECS/GEM 介面
規格說明
適用於半導體與面板顯示器製造的企業級設備通訊平台
面板顯示設備
100%
GEM 相容
12+
SECS 訊息流
100+
變數定義
80+
事件定義
適用對象¶
文件讀者
本手冊為半導體及面板顯示器設備整合商、製程工程師、以及主機系統開發者所撰寫，適用於使用 SECS/GEM 協定進行設備通訊整合的場景。
整合工程師
在 Fab MES、SCADA、設備控制系統中實作 HOST 端或 Equipment 端的 SECS/GEM 介面。
設備製造商
設計符合 SECS/GEM 的設備，並驗證 GEM 200 / GEM 300 與 SEMI 標準之相容性。
技術評估／採購
評估 Gather System Technology 的 SECS/GEM 實作能力，作為專案競標或合作評估依據。
從哪裡開始¶
依你的目的選擇起點：
技術能力¶
HSMS
高速通訊協定
5+
狀態模型
100+
警報定義
PP
配方管理
核心模組¶
SEMI 標準¶
E5
SECS-II 訊息
E30
GEM 標準
E37
HSMS 協定
E40
製程工作
E87
載具管理
E90
基板追蹤
E94
控制工作
E116
EPT 服務
GEM 200 功能¶
| 功能 | 說明 | 狀態 |
|---|---|---|
| GEM 相容性 | 完整的 SEMI E30 相容性矩陣，涵蓋所有功能項目 | 支援 |
| 控制狀態 | Online/Offline/Local/Remote 狀態管理 | 必需 |
| 加工狀態 | 設備加工生命週期管理 | 必需 |
| 緩衝機制 | 通訊中斷時的訊息緩衝 | 支援 |
| 變數 | 100+ SV、EC、DV 定義 | 必需 |
| 收集事件 | 80+ 事件與可設定報告 | 必需 |
| 警報 | 8 類別、100+ 警報定義 | 必需 |
| 遠端命令 | 透過 S2F41 由主機發起之設備控制 | 必需 |
| 製程程式 | 配方上傳／下載管理 | 必需 |
GEM 300 擴充¶
| 功能 | 標準 | 說明 | 狀態 |
|---|---|---|---|
| 載具管理 | E87 | FOUP/匣盒處理與狀態追蹤 | 支援 |
| 載入埠控制 | E87 | 載入埠狀態與存取管理 | 支援 |
| 存取模式 | E87 | 手動／自動存取控制 | 支援 |
| 製程工作 | E40 | 製程工作生命週期管理 | 支援 |
| 控制工作 | E94 | 控制工作排程與執行 | 支援 |
| 基板追蹤 | E90 | 個別基板位置追蹤 | 支援 |
| 終端服務 | E116 | 操作員終端訊息服務 | 支援 |
訊息情境¶
通訊架構¶
sequenceDiagram
participant Host as 主機
participant Equipment as 設備
rect rgba(6, 182, 212, 0.1)
Note over Host,Equipment: HSMS 層
Host->>Equipment: TCP Connect (Port 5000)
Host->>Equipment: Select.req
Equipment-->>Host: Select.rsp (Status=0)
end
rect rgba(59, 130, 246, 0.1)
Note over Host,Equipment: SECS-II 層
Host->>Equipment: S1F13 W (建立通訊)
Equipment-->>Host: S1F14 (COMMACK=0)
Host->>Equipment: S1F17 W (請求上線)
Equipment-->>Host: S1F18 (ONLACK=0)
end
rect rgba(139, 92, 246, 0.1)
Note over Host,Equipment: GEM 操作
Host->>Equipment: S2F41 W (遠端命令)
Equipment-->>Host: S2F42 (HCACK=0)
Equipment->>Host: S6F11 W (事件回報)
Host-->>Equipment: S6F12 (ACKC6=0)
end
技術堆疊¶
TCP/IP
HSMS
SECS-II
GEM
E87 CMS
E40/E94
文件資訊¶
| 屬性 | 值 |
|---|---|
| 文件編號 | SECSGEM-IF-001 |
| 版本 | 1.0 |
| GEM 標準 | SEMI E30.8-0817 |
| HSMS 標準 | SEMI E37.1-0109 |
| 狀態 | 已發布 |
表示慣例¶
| 符號 | 意義 |
|---|---|
S1F1 |
SECS-II Stream 1, Function 1 |
<L> |
List 資料型別 |
<A> |
ASCII 字串 |
<U4> |
無號 4-byte 整數 |
<B> |
二進位資料 |
<F4> |
4-byte 浮點數 |
| H→E | 主機至設備 |
| E→H | 設備至主機 |
| W | Wait bit（需回覆） |
狀態標示¶
- 必需 — SEMI 標準規定必備
- 支援 — 已實作之功能
- 選用 — 可依需求提供
- 新增 — 近期新增項目
關於本手冊¶
公版範本聲明
本網站公開發布 Gather System Technology 的 SECS/GEM 介面規格之公版範本。此公開發布之目的為技術參考、對半導體社群的知識貢獻、以及展示本公司實作方法論。
技術章節中以 {EQUIPMENT_MODEL} 等標記的 Placeholder 欄位為刻意留空，實際客戶交付時會依專案需求填入具體的設備型號、軟體版本與相容性聲明。
封面中展示的範例值（如 GST-SECSGEM-Reference、GST-SGM-REF-2026）僅為示範用途，不代表實際產品。
完整法律條款、準據法、SEMI 標準歸屬與版權細節，請參閱免責聲明。
聯絡資訊¶
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| 業務與授權 | sales@gathertech.com.tw |
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