SECS/GEM 介面手冊¶

符合 SEMI E30.8 標準

SECS/GEM 介面
規格說明

適用於半導體與面板顯示器製造的企業級設備通訊平台

面板顯示設備

100% GEM 相容

12+ SECS 訊息流

100+ 變數定義

80+ 事件定義

技術能力¶

🔗

HSMS

高速通訊協定

⚙️

5+

狀態模型

🔔

100+

警報定義

📄

PP

配方管理

核心模組¶

🔗

HSMS 通訊

高速 SECS 訊息服務，支援可設定的計時器（T3-T8）、多工作階段、自動重連及強健的錯誤處理機制。

查看設定 →

⚙️

狀態管理

完整的狀態模型，包含控制狀態（線上/離線）、加工狀態及緩衝機制，附有完整的狀態轉換表和序列圖。

探索狀態 →

📊

資料收集

完整的變數系統，包含狀態變數（SV）、設備常數（EC）、資料變數（DV），以及透過 S6F11 進行即時事件回報。

查看變數 →

📋

配方管理

完整的製程程式管理，支援 S7 訊息流進行上傳、下載、驗證、刪除，以及主機端配方執行控制。

了解更多 →

SEMI 標準¶

E5

SECS-II 訊息

E30

GEM 標準

E37

HSMS 協定

E40

製程工作

E87

載具管理

E90

基板追蹤

E94

控制工作

E116

EPT 服務

文件資訊¶

屬性	值
文件編號	SECSGEM-IF-001
版本	1.0
GEM 標準	SEMI E30.8-0817
HSMS 標準	SEMI E37.1-0109
狀態	已發布

程邦系統科技有限公司

本文件包含專有及機密資訊。